IMPRINT APPARATUS, CONTROL METHOD, IMPRINT METHOD AND MANUFACTURING METHOD
Номер патента: US20200033720A1
Опубликовано: 30-01-2020
Автор(ы): Khusnatdinov Niyaz, Meissl Mario Johannes
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-01-2020
Автор(ы): Khusnatdinov Niyaz, Meissl Mario Johannes
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Imprinting method and semiconductor device manufacturing method
Номер патента: US20200303190A1. Автор: Hirokazu Kato,Takayuki Nakamura,Kei Kobayashi. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2020-09-24.