Optical deflector including meander-type piezoelectric actuators coupled by crossing bars therebetween
Номер патента: EP2781948B1
Опубликовано: 27-09-2017
Автор(ы): Masano Tani
Принадлежит: Stanley Electric Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-09-2017
Автор(ы): Masano Tani
Принадлежит: Stanley Electric Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Optical deflector including meander-type piezoelectric actuators and ill-balanced mirror structure
Номер патента: US09436000B2. Автор: Akio Ogawa,Keiichi Ikegami. Владелец: Stanley Electric Co Ltd. Дата публикации: 2016-09-06.