Remote exposure of workpieces using a one atmosphere uniform glow discharge plasma
Номер патента: WO1999040758A3
Опубликовано: 06-01-2000
Автор(ы): J Reece Roth
Принадлежит: J Reece Roth, Univ Tennessee Res Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-01-2000
Автор(ы): J Reece Roth
Принадлежит: J Reece Roth, Univ Tennessee Res Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Remote exposure of workpieces using a one atmosphere uniform glow discharge plasma
Номер патента: WO1999040758A9. Автор: J Reece Roth. Владелец: J Reece Roth. Дата публикации: 1999-10-21.