Dielectric barrier discharge plasma generator
Номер патента: EP4380319A1
Опубликовано: 05-06-2024
Автор(ы): Kensuke Nakamura, Takahiro Hiraoka
Принадлежит: Ushio Denki KK
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-06-2024
Автор(ы): Kensuke Nakamura, Takahiro Hiraoka
Принадлежит: Ushio Denki KK
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
ECR plasma generator and an ECR system using the generator
Номер патента: US6155200A. Автор: Yasuhiro Horiike,Kohei Kawamura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2000-12-05.