Semiconductor structures with deep trench capacitor and methods of manufacture
Номер патента: US20200051984A1
Опубликовано: 13-02-2020
Автор(ы): Babar A. Khan, Effendi Leobandung, Kevin K. Chan, Masaharu Kobayashi, Sivananda K. Kanakasabapathy, Theodorus E. Standaert, Xinhui Wang
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 13-02-2020
Автор(ы): Babar A. Khan, Effendi Leobandung, Kevin K. Chan, Masaharu Kobayashi, Sivananda K. Kanakasabapathy, Theodorus E. Standaert, Xinhui Wang
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Semiconductor structures with deep trench capacitor and methods of manufacture
Номер патента: US20150021610A1. Автор: Effendi Leobandung,Theodorus E. Standaert,Masaharu Kobayashi,Xinhui Wang,Kevin K. Chan,Sivananda K. Kanakasabapathy,Babar A. Khan. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2015-01-22.