Structure with self aligned resist layer on an insulating surface and method of making same
Номер патента: US7993817B2
Опубликовано: 09-08-2011
Автор(ы): Daniel C. Edelstein, Elbert E. Huang, Robert D. Miller
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-08-2011
Автор(ы): Daniel C. Edelstein, Elbert E. Huang, Robert D. Miller
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Structure with self aligned resist layer on an interconnect surface and method of making same
Номер патента: US20160056106A1. Автор: Daniel C. Edelstein,Elbert E. Huang,Robert D. Miller. Владелец: Globalfoundries Inc. Дата публикации: 2016-02-25.