EXTREME ULTRAVIOLET GENERATION DEVICE AND EXPOSURE SYSTEM INCLUDING THE SAME
Номер патента: US20170059998A1
Опубликовано: 02-03-2017
Автор(ы): Heo Jinseok, KIM Hoyeon, KIM Insung
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-03-2017
Автор(ы): Heo Jinseok, KIM Hoyeon, KIM Insung
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Collector mirror and apparatus for creating extreme ultraviolet light including the same
Номер патента: US11698590B2. Автор: Injae Lee,SungHyup KIM,Jeonggil KIM,Hoseok SONG. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-07-11.