Extreme ultraviolet light generation system and electronic device manufacturing method
Номер патента: US11219116B1
Опубликовано: 04-01-2022
Автор(ы): Takayuki Yabu, Yoshifumi Ueno, Yuichi Nishimura, Yuta TAKASHIMA
Принадлежит: GIGAPHOTON INC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-01-2022
Автор(ы): Takayuki Yabu, Yoshifumi Ueno, Yuichi Nishimura, Yuta TAKASHIMA
Принадлежит: GIGAPHOTON INC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Extreme ultraviolet light generation apparatus, target control method, and electronic device manufacturing method
Номер патента: US20210349400A1. Автор: Toru Abe. Владелец: GIGAPHOTON INC. Дата публикации: 2021-11-11.