Extreme ultraviolet light generating apparatus
Номер патента: US20200133137A1
Опубликовано: 30-04-2020
Автор(ы): Katsuhiko Sugisawa
Принадлежит: GIGAPHOTON INC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-04-2020
Автор(ы): Katsuhiko Sugisawa
Принадлежит: GIGAPHOTON INC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Extreme ultraviolet light generation apparatus and maintenance method
Номер патента: US20200142311A1. Автор: Katsuhiko Wakana. Владелец: GIGAPHOTON INC. Дата публикации: 2020-05-07.