Extreme ultraviolet light generation system and electronic device manufacturing method
Номер патента: NL2028521A
Опубликовано: 21-03-2022
Автор(ы): Honda Yoshiyuki, HOSODA Hirokazu, KOBAYASHI Takanari
Принадлежит: GIGAPHOTON INC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 21-03-2022
Автор(ы): Honda Yoshiyuki, HOSODA Hirokazu, KOBAYASHI Takanari
Принадлежит: GIGAPHOTON INC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Extreme ultraviolet light generation system and electronic device manufacturing method
Номер патента: US20220035249A1. Автор: Yoshiyuki Honda,Hirokazu HOSODA,Takanari KOBAYASHI. Владелец: GIGAPHOTON INC. Дата публикации: 2022-02-03.