METHOD AND APPARATUS FOR FORMING A PATTERNED LAYER OF MATERIAL
Номер патента: US20210079519A1
Опубликовано: 18-03-2021
Автор(ы): De Jager Pieter Willem Herman, DOLGOV Alexandr, DRUZHININA Tamara, KASTRUP Bernardo, KURGANOVA Evgenia, MAAS Ruben Cornelis, Overkamp Jim Vincent, POLYAKOV Alexey Olegovich, Van Kampen Maarten, VAN LARE Marie-Claire, VORONINA Victoria, Wuister Sander Frederik
Принадлежит: ASML Netherlands B.V.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-03-2021
Автор(ы): De Jager Pieter Willem Herman, DOLGOV Alexandr, DRUZHININA Tamara, KASTRUP Bernardo, KURGANOVA Evgenia, MAAS Ruben Cornelis, Overkamp Jim Vincent, POLYAKOV Alexey Olegovich, Van Kampen Maarten, VAN LARE Marie-Claire, VORONINA Victoria, Wuister Sander Frederik
Принадлежит: ASML Netherlands B.V.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Closure for pharmaceutical preparations and method and rotary deposition apparatus for manufacturing therefor
Номер патента: WO2024051936A1. Автор: NEIL Morrison,Jose Manuel Dieguez-Campo,Vibhas SINGH. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-03-14.