支援情報表示方法、基板処理装置の保守支援方法、支援情報表示制御装置、基板処理システム及びプログラム
Номер патента: JP2014164482A
Опубликовано: 08-09-2014
Автор(ы): Hiroshi Nakamura, Kazuya Uoyama, Norihisa Kobayashi, Takeshi Ikeda, Toru Yamauchi, Toshiaki Kodama, 仙尚 小林, 俊昭 兒玉, 博 中村, 和哉 魚山, 岳 池田, 徹 山内
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 08-09-2014
Автор(ы): Hiroshi Nakamura, Kazuya Uoyama, Norihisa Kobayashi, Takeshi Ikeda, Toru Yamauchi, Toshiaki Kodama, 仙尚 小林, 俊昭 兒玉, 博 中村, 和哉 魚山, 岳 池田, 徹 山内
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Support information display method, maintenance support method of substrate processing apparatus, support information display control apparatus, substrate processing system and recording medium
Номер патента: US09810905B2. Автор: Hiroshi Nakamura,Toru Yamauchi,Toshiaki Kodama,Sensho Kobayashi,Kazuya Uoyama,Gaku Ikeda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-11-07.