Illumination System, Inspection Apparatus Including Such an Illumination System, Inspection Method and Manufacturing Method
Номер патента: US20180088347A1
Опубликовано: 29-03-2018
Автор(ы): EBERT Martin, Jak Martin Jacobus Johan, Van Der Zouw Gerbrand
Принадлежит: ASML Netherlands B.V.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 29-03-2018
Автор(ы): EBERT Martin, Jak Martin Jacobus Johan, Van Der Zouw Gerbrand
Принадлежит: ASML Netherlands B.V.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Foreign matter inspection apparatus, foreign matter inspection method, processing apparatus, and article manufacturing method
Номер патента: US20220291144A1. Автор: Yuichi Fujita,Shinichiro Hirai. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2022-09-15.