Flexible Merge Scheme for Source/Drain Epitaxy Regions
Номер патента: US20190109141A1
Опубликовано: 11-04-2019
Автор(ы): Chen Yen-Ming, Lee Kai-Hsuan, Wang Sheng-Chen, Yang Cheng-Yu, Yang Feng-Cheng, Yeong Sai-Hooi, YU Chia-Ta
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-04-2019
Автор(ы): Chen Yen-Ming, Lee Kai-Hsuan, Wang Sheng-Chen, Yang Cheng-Yu, Yang Feng-Cheng, Yeong Sai-Hooi, YU Chia-Ta
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Flexible Merge Scheme for Source/Drain Epitaxy Regions
Номер патента: US20180308852A1. Автор: Chen Yen-Ming,Yang Feng-Cheng,Wang Sheng-Chen,Yeong Sai-Hooi,Lee Kai-Hsuan,YU Chia-Ta,Yang Cheng-Yu. Владелец: . Дата публикации: 2018-10-25.