MINIMIZING SHORTING BETWEEN FINFET EPITAXIAL REGIONS
Номер патента: US20160358824A1
Опубликовано: 08-12-2016
Автор(ы): Cheng Kangguo, Pranatharthiharan Balasubramanian, Reznicek Alexander, Surisetty Charan V.
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 08-12-2016
Автор(ы): Cheng Kangguo, Pranatharthiharan Balasubramanian, Reznicek Alexander, Surisetty Charan V.
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Minimizing shorting between FinFET epitaxial regions
Номер патента: US09985024B2. Автор: BALASUBRAMANIAN Pranatharthiharan,Kangguo Cheng,Alexander Reznicek,Charan V. Surisetty. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-05-29.