Method for semiconductor device fabrication with improved source drain epitaxy
Номер патента: US09748389B1
Опубликовано: 29-08-2017
Автор(ы): Feng-Cheng Yang, Ting-Yeh Chen, Tzu-Hsiang HSU, Wei-Yang Lee
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 29-08-2017
Автор(ы): Feng-Cheng Yang, Ting-Yeh Chen, Tzu-Hsiang HSU, Wei-Yang Lee
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for forming a semiconductor device comprising a selectively grown graphene layer
Номер патента: US10121872B2. Автор: Ming Zhou. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2018-11-06.