移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法
Номер патента: CN112965345A
Опубликовано: 15-06-2021
Автор(ы): 青木保夫
Принадлежит: Nikon Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 15-06-2021
Автор(ы): 青木保夫
Принадлежит: Nikon Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Movable body drive system and movable body drive method, pattern formation apparatus and method, exposure apparatus and method, device manufacturing method, and decision-making method
Номер патента: US09568844B2. Автор: Yuichi Shibazaki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2017-02-14.