Movable body drive system and movable body drive method, pattern formation apparatus and method, exposure apparatus and method, device manufacturing method, and decision-making method
Номер патента: US09568844B2
Опубликовано: 14-02-2017
Автор(ы): Yuichi Shibazaki
Принадлежит: Nikon Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-02-2017
Автор(ы): Yuichi Shibazaki
Принадлежит: Nikon Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Movable body drive system and movable body drive method, pattern formation apparatus and method, exposure apparatus and method, device manufacturing method, and decision-making method
Номер патента: US10073359B2. Автор: Yuichi Shibazaki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2018-09-11.