THIN FILM FORMATION APPARATUS, SPUTTERING CATHODE, AND METHOD OF FORMING THIN FILM
Номер патента: US20150284842A1
Опубликовано: 08-10-2015
Автор(ы): HAYASHI Tatsuya, Jiang Yousong, Miyauchi Mitsuhiro, Murata Takanori, Nagae Ekishu, Shiono Ichiro, SUGAWARA Takuya
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 08-10-2015
Автор(ы): HAYASHI Tatsuya, Jiang Yousong, Miyauchi Mitsuhiro, Murata Takanori, Nagae Ekishu, Shiono Ichiro, SUGAWARA Takuya
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Thin film deposition by sputtering
Номер патента: CA1209953A. Автор: Henry T. Hidler,Lawrence L. Hope,Ernest A. Davey. Владелец: GTE Products Corp. Дата публикации: 1986-08-19.