ION IMPLANTATION TOOL AND ION IMPLANTATION METHOD
Номер патента: US20170125214A1
Опубликовано: 04-05-2017
Автор(ы): Lee Sheng-Wei
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-05-2017
Автор(ы): Lee Sheng-Wei
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
ION IMPLANTATION APPARATUS, BEAM PARALLELIZING APPARATUS, AND ION IMPLANTATION METHOD
Номер патента: US20150064888A1. Автор: SASAKI Haruka,Yagita Takanori,Kabasawa Mitsuaki. Владелец: SEN CORPORATION. Дата публикации: 2015-03-05.