Positive type resist composition and resist pattern formation method using same
Номер патента: US20060134552A1
Опубликовано: 22-06-2006
Автор(ы): Hideo Hada, Miwa Miyairi, Naotaka Kubota, Satoshi Fujimura, Takeshi Iwai
Принадлежит: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 22-06-2006
Автор(ы): Hideo Hada, Miwa Miyairi, Naotaka Kubota, Satoshi Fujimura, Takeshi Iwai
Принадлежит: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Chemically amplified positive resist composition and resist pattern forming process
Номер патента: EP4325292A1. Автор: Satoshi Watanabe,Masahiro Fukushima,Kenji Funatsu,Masaaki Kotake,yuta Matsuzawa,Keichii MASUNAGA. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-21.