Thin film formation for device sensitive to environment
Номер патента: WO2014176077A1
Опубликовано: 30-10-2014
Автор(ы): Sang In LEE
Принадлежит: Veeco ALD Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-10-2014
Автор(ы): Sang In LEE
Принадлежит: Veeco ALD Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Encapsulating thin film, production method thereof, and method for encapsulating display panel
Номер патента: US20190165307A1. Автор: Yang Xu,Tao Jin,Jianhui Zhang,Yong Cui,Biao TIAN,Tianfeng Pan,Jieshu Wu,Lihao ZHAO. Владелец: Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2019-05-30.