A flow sensor, a mass flow meter and a mass flow controller using the same, and a production method of a flow sensor
Номер патента: US20160231155A1
Опубликовано: 11-08-2016
Автор(ы): KATAYAMA Yoshio, SASAKI Ryu, TAKASUGI Satoshi
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-08-2016
Автор(ы): KATAYAMA Yoshio, SASAKI Ryu, TAKASUGI Satoshi
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Mass flow sensor assembly and method of manufacturing a mass flow sensor assembly
Номер патента: US11821776B2. Автор: Armin Arnold,Juergen Wiedemann,Andreas Doerr,Tanja Hertweck,Jan MAGNUSSEN,Frederic Heinrich. Владелец: Burkert SAS. Дата публикации: 2023-11-21.