Micromechanical sensor with a guard band electrode and fabrication technique therefor
Номер патента: WO1997010698A3
Опубликовано: 17-04-1997
Автор(ы): Jerome B Sohn, Paul Greiff
Принадлежит: Draper Lab Charles S
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-04-1997
Автор(ы): Jerome B Sohn, Paul Greiff
Принадлежит: Draper Lab Charles S
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Micromechanical sensor with a guard band electrode and fabrication technique therefor
Номер патента: WO1997010698A2. Автор: Paul Greiff,Jerome B. Sohn. Владелец: THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC.. Дата публикации: 1997-03-27.