SCANNING PROBE MICROSCOPE AND SETTING METHOD THEREOF
Номер патента: US20210293849A1
Опубликовано: 23-09-2021
Автор(ы): Higa Kunihito, Shigeno Masatsugu, Shikakura Yoshiteru, YAMAMOTO Hiroyoshi
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 23-09-2021
Автор(ы): Higa Kunihito, Shigeno Masatsugu, Shikakura Yoshiteru, YAMAMOTO Hiroyoshi
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Scanning probe microscope and setting method thereof
Номер патента: US11391755B2. Автор: Masatsugu Shigeno,Hiroyoshi Yamamoto,Yoshiteru Shikakura,Kunihito Higa. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2022-07-19.