Probe shape evaluation method for a scanning probe microscope
Номер патента: US8621660B2
Опубликовано: 31-12-2013
Автор(ы): Hiroumi Momota, Masafumi Watanabe
Принадлежит: Hitachi High Tech Science Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 31-12-2013
Автор(ы): Hiroumi Momota, Masafumi Watanabe
Принадлежит: Hitachi High Tech Science Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Probe shape evaluation method for a scanning probe microscope
Номер патента: US20130180019A1. Автор: Masafumi Watanabe,Hiroumi Momota. Владелец: SII NanoTechnology Inc. Дата публикации: 2013-07-11.