Nanosheet with graded silicon germanium layer under isolation region and with buried tapered inner spacer
Номер патента: US20240145238A1
Опубликовано: 02-05-2024
Автор(ы): Julien Frougier, Ravikumar Ramachandran, Reinaldo Vega, Ruilong Xie, Shogo Mochizuki
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-05-2024
Автор(ы): Julien Frougier, Ravikumar Ramachandran, Reinaldo Vega, Ruilong Xie, Shogo Mochizuki
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Nanosheet FET with wrap-around inner spacer
Номер патента: US09842914B1. Автор: Chen Zhang,Chun W. Yeung. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-12-12.