Electron beam inspection apparatus
Номер патента: US20230113062A1
Опубликовано: 13-04-2023
Автор(ы): Atsushi Ando, Takahiro Murata
Принадлежит: Nuflare Technology Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 13-04-2023
Автор(ы): Atsushi Ando, Takahiro Murata
Принадлежит: Nuflare Technology Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and system of image-forming multi-electron beams
Номер патента: WO2023235145A1. Автор: Jeong Ho Lee,Michael Steigerwald,Christopher Sears,Sameet K. Shriyan,Xinrong Jiang,Ralph Nyffenegger,Youfei JIANG. Владелец: KLA Corporation. Дата публикации: 2023-12-07.