Charged particle beam scanning method and charged particle beam apparatus
Номер патента: US7935925B2
Опубликовано: 03-05-2011
Автор(ы): Makoto Ezumi, Makoto Nishihara, Toshiaki Yanokura, Tsutomu Kawai, Yuko Sasaki
Принадлежит: Hitachi High Technologies Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-05-2011
Автор(ы): Makoto Ezumi, Makoto Nishihara, Toshiaki Yanokura, Tsutomu Kawai, Yuko Sasaki
Принадлежит: Hitachi High Technologies Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Charged particle beam scanning method and charged particle beam apparatus
Номер патента: US20110174975A1. Автор: Tsutomu Kawai,Yuko Sasaki,Makoto Ezumi,Makoto Nishihara,Toshiaki Yanokura. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2011-07-21.