Multi-showerhead chemical vapor deposition reactor, process and products
Номер патента: EP3931368A4
Опубликовано: 09-11-2022
Автор(ы): Abhijit Rao, Douglas Llewellyn Butler, John Alan Langstrand, Kladias, Nagaraja Shashidhar, Rajaram Bhat
Принадлежит: Corning Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-11-2022
Автор(ы): Abhijit Rao, Douglas Llewellyn Butler, John Alan Langstrand, Kladias, Nagaraja Shashidhar, Rajaram Bhat
Принадлежит: Corning Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Multi-showerhead chemical vapor deposition reactor, process and products
Номер патента: EP3931368A1. Автор: Rajaram Bhat. Владелец: Corning Inc. Дата публикации: 2022-01-05.