CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SHOWER HEAD FOR UNIFORM GAS DISTRIBUTION
Номер патента: US20190376184A1
Опубликовано: 12-12-2019
Автор(ы): BORTH Andrew James, Madsen Eric, Selep Michael John, SLEVIN Damien Martin, Wiltse John Michael
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-12-2019
Автор(ы): BORTH Andrew James, Madsen Eric, Selep Michael John, SLEVIN Damien Martin, Wiltse John Michael
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Gas distribution showerhead with high emissivity surface
Номер патента: WO2012027009A2. Автор: Liang-Yuh Chen,Wei-Yung Hsu,Hiroji Hanawa,Jie Cui,David Bour,Hua Chung,Kyawwin Maung. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-03-01.