Chemical mechanical planarization of low dielectric constant materials
Номер патента: US6416685B1
Опубликовано: 09-07-2002
Автор(ы): Dan Towery, Fan Zhang, Feng Liu
Принадлежит: Honeywell International Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-07-2002
Автор(ы): Dan Towery, Fan Zhang, Feng Liu
Принадлежит: Honeywell International Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Stable chemical mechanical planarization polishing compositions and methods for high rate silicon oxide removal
Номер патента: WO2023178003A1. Автор: LU Gan,Maitland GRAHAM,Ramon BERNASCONI,Maxwell WARNEKE. Владелец: Versum Materials US, LLC. Дата публикации: 2023-09-21.