• Главная
  • Chemical mechanical planarization of low dielectric constant materials

Chemical mechanical planarization of low dielectric constant materials

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Silicon nitride chemical mechanical polishing slurry with silicon nitride removal rate enhancers and methods of use thereof

Номер патента: US11999877B2. Автор: Jimmy Granstrom. Владелец: Fujimi Inc. Дата публикации: 2024-06-04.

Chemical mechanical planarization using amino-polyorganosiloxane-coated abrasives

Номер патента: WO2023178286A1. Автор: Gerhard Jonschker,Matthias Stender,René LUTZ. Владелец: Versum Materials US, LLC. Дата публикации: 2023-09-21.

Chemical-mechanical polishing composition for heavily-doped boron silicon films

Номер патента: WO2024081201A1. Автор: Brian Reiss,Elliot KNAPTON,Alex Villani-Gale. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2024-04-18.

Polishing liquid and chemical mechanical polishing method

Номер патента: US12098301B2. Автор: Tetsuya Kamimura. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2024-09-24.

Chemical-mechanical polishing composition for heavily-doped boron silicon films

Номер патента: US20240117220A1. Автор: Brian Reiss,Elliot KNAPTON,Alex Villani-Gale. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2024-04-11.

Chemical mechanical planarization polishing for shallow trench isolation

Номер патента: EP4413088A1. Автор: Xiaobo Shi,Hongjun Zhou,Krishna P. Murella,Joseph D. ROSE. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2024-08-14.

Chemical mechanical planarization for shallow trench isolation

Номер патента: WO2024173029A1. Автор: Xiaobo Shi,Hongjun Zhou,LU Gan,Krishna P. Murella,Joseph D. ROSE. Владелец: Versum Materials US, LLC. Дата публикации: 2024-08-22.

Chemical-mechanical polishing composition and method for using the same

Номер патента: IL176669A0. Автор: . Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2006-10-31.

Suspension for chemical mechanical planarization (cmp) and method employing the same

Номер патента: EP4314179A1. Автор: Sridevi R. ALETY,Mark CYFFKA,Niraj Mahadev. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2024-02-07.

Composition for chemical mechanical polishing and method for polishing

Номер патента: US20230203344A1. Автор: Kouhei Yoshio,Yuuya YAMADA. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2023-06-29.

Chemical mechanical polishing solution

Номер патента: US11746257B2. Автор: JIAN Ma,Kai Song,Ying Yao,Jianfen JING,Xinyuan CAI,Guohao WANG,Junya YANG,Pengcheng BIAN. Владелец: Anji Microelectronics Shanghai Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-05.

Slurry for chemical mechanical polishing

Номер патента: US20040021125A1. Автор: Yasuaki Tsuchiya,Shin Sakurai,Kenichi Aoyagi,Toshiji Taiji,Tomoyuki Ito. Владелец: NEC Electronics Corp. Дата публикации: 2004-02-05.

Slurry composition for chemical mechanical polishing

Номер патента: US20230104949A1. Автор: Sangkyun Kim,Hyosan Lee,Sanghyun Park,Yearin BYUN,Inkwon KIM,Wonki HUR. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-04-06.

Selective high dielectric constant material etchant

Номер патента: EP1828070A2. Автор: John Starzynski. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2007-09-05.

Tungsten chemical mechanical polishing slurries

Номер патента: EP4441158A1. Автор: Bradley Brennan,Agnes Derecskei,Matthias Stender. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2024-10-09.

Composition for chemical mechanical polishing

Номер патента: KR20010096326A. Автор: 김석진,이길성,이재석,장두원. Владелец: 안복현. Дата публикации: 2001-11-07.

Polishing liquid and chemical mechanical polishing method

Номер патента: US12006446B2. Автор: Tetsuya Kamimura. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2024-06-11.

Polishing slurry and method for chemical-mechanical polishing

Номер патента: US20020098700A1. Автор: James Alwan,Craig Carpenter. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-07-25.

Composition for chemical-mechanical polishing and chemical-mechanical polishing method

Номер патента: US12104087B2. Автор: Pengyu Wang,Yasutaka Kamei,Norihiko Sugie,Yuuya YAMADA. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2024-10-01.

Chemical mechanical polishing composition and polishing method

Номер патента: US20240254365A1. Автор: Yasutaka Kamei,Kohei Nishimura,Koki Ishimaki,Shuhei Nakamura. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2024-08-01.

Polishing liquid and chemical mechanical polishing method

Номер патента: US20200354609A1. Автор: Tetsuya Kamimura. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2020-11-12.

Chemical mechanical polishing apparatus, slurry, and method of using the same

Номер патента: US11351648B2. Автор: Hsun-Chung KUANG,Tung-He Chou. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2022-06-07.

Ultra low dielectric layer

Номер патента: US20170092534A1. Автор: Willi Volksen,Teddie P. Magbitang,Hiroyuki Miyazoe,Geraud J. Dubois,Robert L. Bruce,Gregory Fritz. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-03-30.

Compositions of low-k dielectric sols containing nonmetallic catalysts

Номер патента: EP2915185A1. Автор: Mark L.F. Phillips,Travis Savage. Владелец: SBA Materials Inc. Дата публикации: 2015-09-09.

Compositions of low-k dielectric sols containing nonmetallic catalysts

Номер патента: US20160111275A1. Автор: Mark L.F. Phillips,Travis Savage. Владелец: SBA Materials Inc. Дата публикации: 2016-04-21.

Low dielectric constant materials and method

Номер патента: US6051321A. Автор: HUI Wang,Chung J. Lee,Giovanni Antonio Foggiato. Владелец: Quester Technology Inc. Дата публикации: 2000-04-18.

Polycarbosilane adhesion promoters for low dielectric constant polymeric materials

Номер патента: EP1243003A1. Автор: Tian-An Chen,Hui-Jung Wu,Anna M. George,Lau S. Y. Kreistler. Владелец: AlliedSignal Inc. Дата публикации: 2002-09-25.

Composition for forming low dielectric constant resin, low dielectric member, and electronic device using same

Номер патента: EP4239000A1. Автор: Takeshi Fujiwara,Koki Sago. Владелец: JNC Corp. Дата публикации: 2023-09-06.

Chemical mechanical polishing slurry

Номер патента: US20020100895A1. Автор: Ting-Chang Chang,Cheng-Jer Yang,Huang-Chung Cheng. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2002-08-01.

Hydrophobic Low-Dielectric-Constant Film and Preparation Method Therefor

Номер патента: MY196443A. Автор: Jian Zong. Владелец: Jiangsu Favored Nanotechnology Co Ltd. Дата публикации: 2023-04-11.

SILOXANE EPOXY POLYMERS FOR LOW-κ DIELECTRIC APPLICATIONS

Номер патента: WO2005105894A2. Автор: Shyam P. Murarka,Ramkrishna Ghoshal,Toh-Ming Lu,Pei-I Wang. Владелец: Polyset Company, Inc.. Дата публикации: 2005-11-10.

Low κ dielectric inorganic/organic hybrid films and method of making

Номер патента: US7153580B2. Автор: John Felts,Peter Rose,Eugene Lopata. Владелец: Aviza Technology Inc. Дата публикации: 2006-12-26.

Antenna cover including a polymer composition having a low dielectric constant and dissipation factor

Номер патента: WO2021096577A1. Автор: XIANG Yuan,Young Shin Kim,Xiao Xun Xie. Владелец: Ticona LLC. Дата публикации: 2021-05-20.

Antenna cover including a polymer composition having a low dielectric constant and dissipation factor

Номер патента: EP4059089A1. Автор: XIANG Yuan,Young Shin Kim,Xiao Xun Xie. Владелец: Ticona LLC. Дата публикации: 2022-09-21.

Amphiphilic abrasive particles and their use for chemical mechanical planarization

Номер патента: WO2024129435A1. Автор: Gerhard Jonschker. Владелец: Versum Materials US, LLC. Дата публикации: 2024-06-20.

Chemical mechanical polishing slurry

Номер патента: US09718991B2. Автор: Song Yuan Chang,Ming Hui Lu,Ming Che Ho,Wen Cheng Liu,Yi Han Yang. Владелец: Uwiz Technology Co Ltd. Дата публикации: 2017-08-01.

Titanium dioxide chemical-mechanical polishing composition for polishing nickel substrates

Номер патента: US20240174891A1. Автор: Cheng-Yuan Ko,Jin-Hao JHANG. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2024-05-30.

Titanium dioxide chemical-mechanical polishing composition for polishing nickel substrates

Номер патента: WO2024107316A1. Автор: Cheng-Yuan Ko,Jin-Hao JHANG. Владелец: ENTEGRIS, INC.. Дата публикации: 2024-05-23.

Chemical-mechanical processing slurry and methods for processing a nickel substrate surface

Номер патента: MY199592A. Автор: TONG Li,Hon Wu Lau. Владелец: Cmc Mat Llc. Дата публикации: 2023-11-08.

Electron beam modification of CVD deposited films, forming low dielectric constant materials

Номер патента: US7309514B2. Автор: Matthew Ross,Jingjun Yang,Heike Thompson. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2007-12-18.

Method of forming low dielectric constant insulation film for semiconductor device

Номер патента: US20030124874A1. Автор: Nobuo Matsuki. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-07-03.

Low dielectric organosilicate polymer composite

Номер патента: WO2005019303A1. Автор: Moonhor Ree,Weontae Oh,Byeongdu Lee,Yong-Taek Hwang. Владелец: Postech Foundation. Дата публикации: 2005-03-03.

Detergent composition and chemical-mechanical polishing composition

Номер патента: US20230174892A1. Автор: Yuichi Sakanishi. Владелец: Daicel Corp. Дата публикации: 2023-06-08.

Method And Apparatus For Deposition Of Low-K Films

Номер патента: US20180301333A1. Автор: Ning Li,Li-Qun Xia,Mihaela Balseanu,Mark Saly,Bhaskar Jyoti Bhuyan,Zhelin SUN. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-10-18.

Low dielectric constant curable compositions

Номер патента: US12116494B2. Автор: John P. Baetzold,Claire Hartmann-Thompson,Evan L Schwartz. Владелец: 3M Innovative Properties Co. Дата публикации: 2024-10-15.

Bi-layer capping of low-k dielectric films

Номер патента: WO2008036810A2. Автор: Christopher Dennis Bencher,Ping Xu. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2008-03-27.

Method for forming low dielectric constant fluorine-doped layers

Номер патента: US7579271B2. Автор: Ting Cheong Ang. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2009-08-25.

INTEGRATION OF LOW ⊂ THIN FILMS AND Ta INTO Cu DAMASCENE

Номер патента: WO2002069395B1. Автор: Chung J Lee. Владелец: Dielectric Systems Inc. Дата публикации: 2004-07-08.

Chemical vapor deposition of low density silicon dioxide films

Номер патента: US6054206A. Автор: Thomas Weller Mountsier. Владелец: Novellus Systems Inc. Дата публикации: 2000-04-25.

Solvent systems for low dielectric constant polymeric materials

Номер патента: WO1999038910A1. Автор: Tian-An Chen,Kreisler S. Y. Lau,Qiang Zhao. Владелец: Alliedsignal, Inc.. Дата публикации: 1999-08-05.

Very low dielectric constant plasma-enhanced CVD films

Номер патента: US20050153574A1. Автор: Robert Mandal. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-07-14.

Systems and methods for depositing low-κ dielectric films

Номер патента: WO2022060613A1. Автор: Yijun Liu,Li-Qun Xia,Bo Xie,Ruitong Xiong,Sure Ngo,Kang S. Yim. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-03-24.

Method for reducing dielectric constant of film using direct plasma of hydrogen

Номер патента: US20130029498A1. Автор: Akinori Nakano. Владелец: ASM Japan KK. Дата публикации: 2013-01-31.

Silicon carbide electrical insulator material of low dielectric constant

Номер патента: US4544642A. Автор: Kunihiro Maeda,Tadahiko Miyoshi. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1985-10-01.

Low dielectric constant film and preparation method thereof

Номер патента: US11904352B2. Автор: Jian Zong. Владелец: Jiangsu Favored Nanotechnology Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-20.

Low dielectric constant ceramic substrate

Номер патента: US4891344A. Автор: Masahiro Sugimoto,Yasumasa Wakasugi. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 1990-01-02.

Chemical-mechanical polishing solution

Номер патента: US11898063B2. Автор: Wenting Zhou. Владелец: Anji Microelectronics Shanghai Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-13.

Chemical mechanical polishing pad and polishing method

Номер патента: US11813713B2. Автор: Teresa Brugarolas Brufau,Bryan E. Barton. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2023-11-14.

Deposition of rutile films with very high dielectric constant

Номер патента: US9222170B2. Автор: Dipankar Pramanik,Sergey Barabash. Владелец: Intermolecular Inc. Дата публикации: 2015-12-29.

Temperature-stable, low-dielectric constant material with an ultra-low loss tangent

Номер патента: US12065381B2. Автор: Michael David Hill,Srinivas Polisetty. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2024-08-20.

High dielectric constant type ceramic composition

Номер патента: CA1108842A. Автор: Hitoshi Tanaka,Kiyoshi Furukawa,Nobuaki Kikuchi,Shinobu Fujiwara,Osamu Iizawa. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 1981-09-15.

Enhanced Q high dielectric constant material for microwave applications

Номер патента: US09755293B2. Автор: Michael David Hill. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2017-09-05.

Silicon nitride having low dielectric constant

Номер патента: US4708943A. Автор: Howard Mizuhara,Martin Y. Hsieh. Владелец: GTE Products Corp. Дата публикации: 1987-11-24.

Glass ceramic materials having controllable temperature coefficients of dielectric constant

Номер патента: US4396721A. Автор: William N. Lawless. Владелец: Individual. Дата публикации: 1983-08-02.

Electrical connector formed from a polymer composition having a low dielectric constant and dissipation factor

Номер патента: WO2021050220A1. Автор: Young Shin Kim,Xinyu Zhao. Владелец: Ticona LLC. Дата публикации: 2021-03-18.

Enhanced q high dielectric constant material for microwave applications

Номер патента: US20150158771A1. Автор: Michael David Hill. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2015-06-11.

Enhanced q high dielectric constant material for microwave applications

Номер патента: EP3077349A1. Автор: Michael David Hill. Владелец: Skyworks Solutions Inc. Дата публикации: 2016-10-12.

Enhanced q high dielectric constant material for microwave applications

Номер патента: WO2015085270A1. Автор: Michael David Hill. Владелец: SKYWORKS SOLUTIONS, INC.. Дата публикации: 2015-06-11.

Elastomer composites with high dielectric constant

Номер патента: US20200035376A1. Автор: Evangelos Manias,Bo Li,David Eric RYAN. Владелец: Eaton Intelligent Power Ltd. Дата публикации: 2020-01-30.

Elastomer composites with high dielectric constant

Номер патента: PH12018502267A1. Автор: Evangelos Manias,Bo Li,David Eric RYAN. Владелец: Eaton Intelligent Power Ltd. Дата публикации: 2019-09-23.

High dielectric constant ceramic material and method of manufacturing the same

Номер патента: US4767732A. Автор: Osamu Furukawa,Seiichi Yoshida,Motomasa Imai,Mitsuo Harata. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1988-08-30.

Planarization of organic silicon low dielectric constant material by chemical mechanical polishing

Номер патента: TW462085B. Автор: Ding-Jang Jang,Bo-Tsuen Liou. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2001-11-01.

Liquid Crystalline Polymer Composition having a Low Dielectric Constant

Номер патента: US20230407181A1. Автор: Xiaowei Zhang,Xinyu Zhao. Владелец: Ticona LLC. Дата публикации: 2023-12-21.

Liquid crystalline polymer composition having a low dielectric constant

Номер патента: WO2023249878A1. Автор: Xiaowei Zhang,Xinyu Zhao. Владелец: Ticona LLC. Дата публикации: 2023-12-28.

Production Method of Low Dimensional Nano-Material

Номер патента: US20200062599A1. Автор: Wei-Hung Chiang,Hao-Hsuan Chien. Владелец: National Taiwan University of Science and Technology NTUST. Дата публикации: 2020-02-27.

Production method of low dimensional nano-material

Номер патента: US10947120B2. Автор: Wei-Hung Chiang,Hao-Hsuan Chien. Владелец: National Taiwan University of Science and Technology NTUST. Дата публикации: 2021-03-16.

Downhole fluids with high dielectric constant and high dielectric strength

Номер патента: MY183665A. Автор: Paul F Rodney. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2021-03-07.

Downhole fluids with high dielectric constant and high dielectric strength

Номер патента: CA2982556C. Автор: Paul F. Rodney. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2021-03-02.

Downhole fluids with high dielectric constant and high dielectric strength

Номер патента: CA2982556A1. Автор: Paul F. Rodney. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2016-11-17.

Optically clear pressure sensitive adhesives with a low dielectric constant

Номер патента: WO2024110817A1. Автор: Sung-Tso LIN. Владелец: 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY. Дата публикации: 2024-05-30.

Method for improving Uniformity of Chemical-Mechanical Planarization Process

Номер патента: US20130273669A1. Автор: Tao Yang,Chao Zhao,Junfeng Li. Владелец: Institute of Microelectronics of CAS. Дата публикации: 2013-10-17.

Method for stabilizing low dielectric constant materials

Номер патента: US20020115305A1. Автор: Teng-Chun Tsai,Ming-Sheng Yang,Yung-Tsung Wei,Cheng-Yuan Tsai. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-08-22.

Method for fabricating a low dielectric constant material layer

Номер патента: US20020182849A1. Автор: Cheng-Yuan Tsai,Tsung-Tans Hsieh. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2002-12-05.

Systems and methods for chemical mechanical planarization with photo-current detection

Номер патента: US09754845B2. Автор: I-Shuo Liu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-09-05.

Minimizing coating defects in low dielectric constant films

Номер патента: US6667249B1. Автор: Tien-I Bao,Yu-Hui Chen,Yao-Yi Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2003-12-23.

Method for forming interconnect structure with low dielectric constant

Номер патента: US20030119306A1. Автор: Ming-Sheng Yang,Chih-Chien Liu. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-06-26.

Restoring low dielectric constant film properties

Номер патента: US20090317971A1. Автор: May Yu,Alexandros T. Demos,Mehul Naik,Zhenjiang Cui. Владелец: Individual. Дата публикации: 2009-12-24.

Method for forming low dielectric constant layer

Номер патента: US20020132494A1. Автор: Wen-Yi Hsieh. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2002-09-19.

Techniques for improved low dielectric constant film processing

Номер патента: US11756796B2. Автор: Qi Gao,Martin Seamons,Shan Tang,Kyuha Shim,Rajesh Prasad,Deven Raj Mittal. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-09-12.

Bias plasma deposition for selective low dielectric insulation

Номер патента: US5990557A. Автор: Steven Avanzino,Darrell M. Erb,Robin Cheung,Rich Klein,Pervaiz Sultan. Владелец: Advanced Micro Devices Inc. Дата публикации: 1999-11-23.

Low-dielectric constant cryptocrystal layers and nanostructures

Номер патента: CA2602365C. Автор: Seref Kalem. Владелец: Scientific and Technological Research Council of Turkey TUBITAK. Дата публикации: 2017-05-09.

Method for etch-based planarization of a substrate

Номер патента: US09991133B2. Автор: Lior HULI,Cheryl Pereira,Nihar Mohanty. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-06-05.

Chemical mechanical polishing apparatus and method using the same

Номер патента: US20230191555A1. Автор: Hoyoung Kim,Jinyoung Park,Jaehyug LEE,Chaelyoung KIM. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-06-22.

Chemical-mechanical polishing proximity correction method and correction pattern thereof

Номер патента: US7138654B2. Автор: Tu-Hao Yu,Yu-Chia Chen,Pai-Hsuan Sun. Владелец: Winbond Electronics Corp. Дата публикации: 2006-11-21.

Chemical mechanical polishing method

Номер патента: US20240308021A1. Автор: Chi-Hung Liao,Wei-Chang Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-09-19.

Capacitor with high dielectric constant materials

Номер патента: US20030011015A1. Автор: Sam Yang,Gurtej Sandhu,Cem Basceri. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-01-16.

Low dielectric insulator and semiconductor structures

Номер патента: GB2371043A. Автор: Susan Clay Vitkavage,Kurt George Steiner. Владелец: Agere Systems Guardian Corp. Дата публикации: 2002-07-17.

Method for producing low dielectric coatings from hydrogen silsequioxane resin

Номер патента: US5906859A. Автор: Jeffrey Nicholas Bremmer,Youfan Liu. Владелец: Dow Corning Corp. Дата публикации: 1999-05-25.

Chemical-mechanical polishing method and apparatus using ultrasound applied to the carrier and platen

Номер патента: US5688364A. Автор: Junichi Sato. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 1997-11-18.

Chemical-mechanical polishing pad and chemical-mechanical polishing method

Номер патента: US20130189907A1. Автор: Yukio Hosaka,Takahiro Okamoto,Kotaro Kubo. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2013-07-25.

Device having a high dielectric constant material and a method of manufacture thereof

Номер патента: US20030013269A1. Автор: Avinoam Kornblit,Kalman Pelhos,Vincent Donnelly. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-01-16.

Method for chemical mechanical polishing of semiconductor device

Номер патента: KR100732308B1. Автор: 권판기,이상익. Владелец: 주식회사 하이닉스반도체. Дата публикации: 2007-06-25.

Method of chemical mechanical polishing

Номер патента: US20050070091A1. Автор: Hyo-Jong Lee,Sung-Bae Lee,Sang-Rok Ha. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2005-03-31.

Chemical-mechanical polishing (CMP) apparatus

Номер патента: US5705435A. Автор: Lai-Tuh Chen. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 1998-01-06.

Chemical-mechanical polishing for shallow trench isolation

Номер патента: US5958795A. Автор: Juan-Yuan Wu,Water Lur,Coming Chen. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 1999-09-28.

Chemical mechanical polishing method

Номер патента: US12017322B2. Автор: Chi-Hung Liao,Wei-Chang Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-06-25.

Chemical-mechanical polishing proximity correction method and correction pattern thereof

Номер патента: US20050142877A1. Автор: Tu-Hao Yu,Yu-Chia Chen,Pai-Hsuan Sun. Владелец: Winbond Electronics Corp. Дата публикации: 2005-06-30.

Pb/Bi-containing high-dielectric constant oxides using a non-P/Bi-containing perovskite as a buffer layer

Номер патента: US5393352A. Автор: Scott R. Summerfelt. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 1995-02-28.

High dielectric constant insulators and associated fabrication methods

Номер патента: US7994590B2. Автор: Thomas K. Gaylord,James D. Meindl. Владелец: Georgia Tech Research Corp. Дата публикации: 2011-08-09.

High dielectric constant insulators and associated fabrication methods

Номер патента: US20070176248A1. Автор: Thomas K. Gaylord,James D. Meindl. Владелец: Georgia Tech Research Corp. Дата публикации: 2007-08-02.

Dielectric constant reduction of gate spacer

Номер патента: US20200135887A1. Автор: Chang-Miao Liu,xu-sheng Wu,Hui-Ling SHANG. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-04-30.

Composite film comprising low-dielectric resin and para-oriented aromatic polyamide

Номер патента: CA2234317C. Автор: Tsutomu Takahashi,Hiroaki Kumada. Владелец: Sumitomo Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2008-06-17.

Low dielectric substrate for high-speed millimeter-wave communication

Номер патента: US20230247759A1. Автор: Toshio Shiobara,Yusuke Taguchi,Ryunosuke NOMURA. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-03.

Low dielectric substrate for high-speed millimeter-wave communication

Номер патента: US12035461B2. Автор: Toshio Shiobara,Yusuke Taguchi,Ryunosuke NOMURA. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-09.

Low dielectric resin composition, film and circuit board using the same

Номер патента: US10894882B2. Автор: Mao-Feng Hsu,Shou-Jui Hsiang,Ming-Jaan Ho,Szu-Hsiang SU. Владелец: Zhen Ding Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-01-19.

Low dielectric resin composition, film and circuit board using the same

Номер патента: US20180265699A1. Автор: Mao-Feng Hsu,Shou-Jui Hsiang,Ming-Jaan Ho,Szu-Hsiang SU. Владелец: Zhen Ding Technology Co Ltd. Дата публикации: 2018-09-20.

Circuit board using low dielectric resin composition

Номер патента: US20210102067A1. Автор: Mao-Feng Hsu,Shou-Jui Hsiang,Ming-Jaan Ho,Szu-Hsiang SU. Владелец: Zhen Ding Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-04-08.

Circuit board using low dielectric resin composition

Номер патента: US11261328B2. Автор: Mao-Feng Hsu,Shou-Jui Hsiang,Ming-Jaan Ho,Szu-Hsiang SU. Владелец: Zhen Ding Technology Co Ltd. Дата публикации: 2022-03-01.

Dielectric materials having low dielectric constants and methods for their manufacture

Номер патента: GB2171356B. Автор: Daniel D Johnson. Владелец: WL Gore and Associates Inc. Дата публикации: 1989-08-23.

Low dielectric glass composition, fibers, and article

Номер патента: US11739023B2. Автор: Robert Lurie HAUSRATH,Anthony Vincent Longobardo. Владелец: AGY Holding Corp. Дата публикации: 2023-08-29.

Low dielectric glass and fiber glass

Номер патента: US09598309B2. Автор: Hong Li. Владелец: PPG Industries Ohio Inc. Дата публикации: 2017-03-21.

Low dielectric glass fiber

Номер патента: CA2667439C. Автор: Douglas S. Boessneck,J. Ronald Gonterman,Oleg A. Prokhorenko. Владелец: AGY Holding Corp. Дата публикации: 2012-02-28.

Low-fire, low-dielectric ceramic compositions

Номер патента: US6136734A. Автор: Jau-Ho Jean,Shih-Chun Lin. Владелец: Advanced Ceramic X Corp. Дата публикации: 2000-10-24.

Fluorinated resins with low dielectric constant

Номер патента: US5405677A. Автор: James R. Griffith,Henry S. W. Hu. Владелец: US Department of Navy. Дата публикации: 1995-04-11.

Low dielectric glass and fiber glass for electronic applications

Номер патента: CA2672222C. Автор: Hong Li,Cheryl A. Richards. Владелец: PPG Industries Ohio Inc. Дата публикации: 2012-12-18.

Low dielectric glass composition, fibers, and article

Номер патента: US20200216351A1. Автор: Robert Lurie HAUSRATH,Anthony Vincent Longobardo. Владелец: AGY Holding Corp. Дата публикации: 2020-07-09.

System and method for removing debris during chemical mechanical planarization

Номер патента: US20230381923A1. Автор: Chun-Wei Hsu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-30.

System and method for removing debris during chemical mechanical planarization

Номер патента: US12017325B2. Автор: Chun-Wei Hsu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-06-25.

Chemical-mechanical planarization pad including patterned structural domains

Номер патента: EP2382651A1. Автор: Guangwei Wu,Paul Lefevre,David Adam Wells,Anoop Mathew,Oscar K. Hsu. Владелец: Innopad Inc. Дата публикации: 2011-11-02.

Grooved rollers for a linear chemical mechanical planarization system

Номер патента: WO2003057405A8. Автор: Xu Cangshan. Владелец: Lam Res Corp. Дата публикации: 2003-10-30.

Method and/or system for chemical mechanical planarization (CMP)

Номер патента: US09997420B2. Автор: Cheng Yen-Wei,Jong-I Mou,Yen-Di Tsen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-06-12.

Systems, methods and apparatus for post-chemical mechanical planarization substrate cleaning

Номер патента: US09844800B2. Автор: Brian J. Brown,Steven M. Zuniga. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-12-19.

Methods and apparatus for post-chemical mechanical planarization substrate cleaning

Номер патента: US09711381B2. Автор: Sen-Hou Ko,Lakshmanan Karuppiah. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-07-18.

Chemical mechanical planarization apparatus and methods

Номер патента: US09950405B2. Автор: Wufeng Deng. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2018-04-24.

Chemical mechanical polishing pad having holes and/or grooves

Номер патента: EP1417703A4. Автор: Jae-Seok Kim,In-Ha Park,Tae-Kyoung Kwon. Владелец: SKC Co Ltd. Дата публикации: 2008-04-09.

Chemical mechanical polishing pad having holes and/or grooves

Номер патента: EP1417703B1. Автор: Jae-Seok Kim,In-Ha Park,Tae-Kyoung Kwon. Владелец: SKC Co Ltd. Дата публикации: 2011-04-06.

Chemical mechanical polishing pad having holes and/or grooves

Номер патента: EP1417703A1. Автор: Jae-Seok Kim,In-Ha Park,Tae-Kyoung Kwon. Владелец: SKC Co Ltd. Дата публикации: 2004-05-12.

Grooved rollers for a linear chemical mechanical planarization system

Номер патента: EP1469971A4. Автор: Xu Cangshan. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2005-01-12.

Grooved rollers for a linear chemical mechanical planarization system

Номер патента: US20030139124A1. Автор: Cangshan Xu. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2003-07-24.

Chemical mechanical polishing apparatus and chemical mechanical polishing method

Номер патента: US20240278383A1. Автор: Dongchan Kim,Byoungho Kwon,Hwiyoung JEONG. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-08-22.

Chemical mechanical polishing pad with micro-holes

Номер патента: EP1430520A1. Автор: Jae-Seok Kim,In-Ha Park,Tae-Kyoung Kwon. Владелец: SKC Co Ltd. Дата публикации: 2004-06-23.

Chemical mechanical polishing pad with micro-holes

Номер патента: EP1430520A4. Автор: Jae-Seok Kim,In-Ha Park,Tae-Kyoung Kwon. Владелец: SKC Co Ltd. Дата публикации: 2008-04-09.

Retainer ring for chemical-mechanical polishing device

Номер патента: US20160158910A1. Автор: Jae-Bok Lee,Jun-Je LEE. Владелец: Will Be S and T Co Ltd. Дата публикации: 2016-06-09.

Chemical mechanical polishing apparatus and method of controlling the same

Номер патента: US20240217059A1. Автор: Wonkeun Cho. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-07-04.

Chemical mechanical polishing pad with clear endpoint detection window

Номер патента: US20150306730A1. Автор: Bainian Qian,Marty W. Degroot. Владелец: Dow Global Technologies LLC. Дата публикации: 2015-10-29.

Retainer ring for chemical-mechanical polishing device

Номер патента: US09827647B2. Автор: Jae-Bok Lee,Jun-Je LEE. Владелец: Will Be S and T Co Ltd. Дата публикации: 2017-11-28.

Chemical mechanical polishing pads with a disulfide bridge

Номер патента: US20240100648A1. Автор: Jaeseok Lee,Jessica Lindsay,Satish Rai,Sangcheol Kim. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2024-03-28.

Chemical mechanical polishing pads with a disulfide bridge

Номер патента: WO2024064259A1. Автор: Jaeseok Lee,Satish Rai,Sangcheol Kim,Jessica TABERT. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2024-03-28.

Chemical mechanical polishing tool with robot access to cassettes

Номер патента: SG11201901582QA. Автор: Yongqi Hu,Thomas Lawrence Terry. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-03-28.

Chemical mechanical polishing device and polishing method

Номер патента: US20240227122A9. Автор: Kai-Yao Shih,Ming-Hsiang Chen,Shih-Ci Yen. Владелец: Powerchip Semiconductor Manufacturing Corp. Дата публикации: 2024-07-11.

Chemical mechanical polishing apparatus

Номер патента: US12020946B2. Автор: Yu-Ping TSENG,Ren-Hao JHENG. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-06-25.

Chemical mechanical polishing apparatus

Номер патента: US20240304455A1. Автор: Yu-Ping TSENG,Ren-Hao JHENG. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-09-12.

Chemical mechanical polishing method suitable for highly accurate planarization

Номер патента: US6132292A. Автор: Akira Kubo. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2000-10-17.

Chemical mechanical polishing tool with robot access to cassettes

Номер патента: US20180056479A1. Автор: Yongqi Hu,Thomas Lawrence Terry. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-03-01.

Chemical mechanical polishing apparatus

Номер патента: US20180009078A1. Автор: Kyutae Park. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2018-01-11.

Chemical mechanical polishing tool with robot access to cassettes

Номер патента: EP3504731A1. Автор: Yongqi Hu,Thomas Lawrence Terry. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-07-03.

Apparatus for the chemical-mechanical polishing of wafers

Номер патента: US5964652A. Автор: Hermann Wendt,Hanno Melzner. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 1999-10-12.

Chemical mechanical polishing tool, apparatus and method

Номер патента: WO2003022518A2. Автор: In-kwon Jeong. Владелец: Oriol, Inc.. Дата публикации: 2003-03-20.

Method and system for in-situ optimization for semiconductor wafers in a chemical mechanical polishing process

Номер патента: US6159075A. Автор: Liming Zhang. Владелец: VLSI Technology Inc. Дата публикации: 2000-12-12.

Use of stop layer for chemical mechanical polishing of CU damascene

Номер патента: US6051496A. Автор: Syun-Ming Jang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2000-04-18.

Endpoint detection in chemical mechanical polishing (cmp) by substrate holder elevation detection

Номер патента: AU3761799A. Автор: Trung T. Doan. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 1999-11-16.

Real-time control of chemical-mechanical polishing processes using a shaft distortion measurement.

Номер патента: MY124028A. Автор: Li Leping,Wang Xinhui. Владелец: Ibm. Дата публикации: 2006-06-30.

Chemical mechanical polishing with multiple polishing pads

Номер патента: US20030190865A1. Автор: Sasson Somekh. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2003-10-09.

Chemical mechanical polishing method

Номер патента: US11673223B2. Автор: Shih-Ho Lin,Jen-Chieh LAI,Jheng-Si SU,Yu-chen Wei,Chun-Chieh Chan. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-06-13.

Chemical mechanical polishing using time share control

Номер патента: US11931854B2. Автор: Wei Lu,Jianshe Tang,Jimin Zhang,Brian J. Brown,Priscilla Diep LaRosa. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-03-19.

Apparatus and method for chemical mechanical polishing

Номер патента: US20200198088A1. Автор: Ilcheol Shin,Sung-Chang Park,Kyoungwoo Kim,Young-Kyun Woo,Hak-Jae Im. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2020-06-25.

Method and system for chemical mechanical polishing process

Номер патента: US20230274929A1. Автор: Yi-Chang Liu,Chih-I Peng,Hsiu-Ming Yeh. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-08-31.

Loading device of chemical mechanical polishing equipment for semiconductor wafers

Номер патента: WO2007061170A1. Автор: Young Su Heo,Chang Il Kim,Young Min Na. Владелец: Doosan Mecatec Co., Ltd.. Дата публикации: 2007-05-31.

Integrated circuits with multiple low dielectric-constant inter-metal dielectrics

Номер патента: WO2000075988A1. Автор: James Lin,Henry Chung,Shi-Qing Wang. Владелец: Alliedsignal Inc.. Дата публикации: 2000-12-14.

Spherical drive assembly for chemical mechanical planarization

Номер патента: WO2002060643A9. Автор: David G Halley. Владелец: STRASBAUGH. Дата публикации: 2003-09-12.

Method of forming FinFET with low-dielectric-constant gate electrode spacers

Номер патента: US11749755B2. Автор: Ka-Hing Fung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-09-05.

Wafer support for chemical mechanical planarization

Номер патента: WO2002053320A9. Автор: David G Halley. Владелец: STRASBAUGH. Дата публикации: 2004-03-04.

Gate insulator comprising high and low dielectric constant parts

Номер патента: WO2000049643A2. Автор: Jeffrey Lutze. Владелец: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.. Дата публикации: 2000-08-24.

Circuit Structure with Low Dielectric Constant Regions

Номер патента: US20090008791A1. Автор: Lawrence A. Clevenger,Wai-Kin Li,Louis C. Hsu,Mathew E. Colburn. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2009-01-08.

Method for shaping features of a semiconductor structure using chemical mechanical planarization (CMP)

Номер патента: US5302233A. Автор: Scott Meikle,Sung C. Kim. Владелец: Micron Semiconductor Inc. Дата публикации: 1994-04-12.

Circuit structure with low dielectric constant regions

Номер патента: US8772941B2. Автор: Lawrence A. Clevenger,Matthew E. Colburn,Wai-Kin Li,Louis C. Hsu. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2014-07-08.

Low dielectric constant insulating material in 3D memory

Номер патента: US09721964B2. Автор: Guan-Ru Lee. Владелец: Macronix International Co Ltd. Дата публикации: 2017-08-01.

Method of forming finfet with low-dielectric-constant gate electrode spacers

Номер патента: US20230361214A1. Автор: Ka-Hing Fung. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-09.

Rf switch device with a sidewall spacer having a low dielectric constant

Номер патента: US20220223714A1. Автор: Cheng-ta Wu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2022-07-14.

Low dielectric constant insulation layer for integrated circuit structure and method of making same

Номер патента: US5494859A. Автор: Ashok K. Kapoor. Владелец: LSI Logic Corp. Дата публикации: 1996-02-27.

Gate insulator comprising high and low dielectric constant parts

Номер патента: WO2000049643A3. Автор: Jeffrey Lutze. Владелец: Philips Semiconductor Inc. Дата публикации: 2001-02-15.

Variable dielectric constant materials in same layer of a package

Номер патента: US11715688B2. Автор: Aniket Patil,Hong Bok We. Владелец: Qualcomm Inc. Дата публикации: 2023-08-01.

Light sensitive chemical-mechanical polishing aggregate

Номер патента: US20010028052A1. Автор: David Carlson. Владелец: Individual. Дата публикации: 2001-10-11.

Chemical mechanical polishing apparatus and method of replacing polishing pad using the same

Номер патента: US20240217057A1. Автор: Chungki MIN,Donghoon Kwon. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-07-04.

Process for manufacturing a ceramic wiring substrate having a low dielectric constant

Номер патента: US5283081A. Автор: Yuzo Shimada,Yoshinobu Kobayashi,Keiichiro Kata. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 1994-02-01.

Rf switch device with a sidewall spacer having a low dielectric constant

Номер патента: US20240154023A1. Автор: Cheng-ta Wu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-05-09.

Equipment, apparatus and method of chemical mechanical polishing (cmp)

Номер патента: US20240227112A1. Автор: Ilyoung Yoon,Seungjun LEE,Jinoh Im. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-07-11.

RF switch device with a sidewall spacer having a low dielectric constant

Номер патента: US11901435B2. Автор: Cheng-ta Wu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-02-13.

Chemical mechanical polishing (cmp) apparatus

Номер патента: US20240157502A1. Автор: Donghoon Kwon. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-05-16.

Chemical mechanical polishing (cmp) apparatus and method of controlling thereof

Номер патента: US20240238936A1. Автор: Wonkeun Cho,Donghoon Kwon. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-07-18.

Chemical mechanical polishing apparatus

Номер патента: US20240238935A1. Автор: Gihwan KIM,Kihoon JANG,Donghoon Kwon. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-07-18.

Conditioner and chemical mechanical polishing apparatus including the same

Номер патента: US20240173820A1. Автор: Donghoon Kwon,Yeonsu Go. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-05-30.

Methods and systems for chemical mechanical polish cleaning

Номер патента: US09966281B2. Автор: Hui-Chi Huang,Chien-Ping Lee. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-05-08.

Process for chemical-mechanical polishing of iii-v semiconductor materials

Номер патента: CA1044580A. Автор: Robert J. Walsh. Владелец: Monsanto Co. Дата публикации: 1978-12-19.

Method for chemical-mechanical jet etching of semiconductor structures

Номер патента: US7037854B2. Автор: Robert Z. Bachrach,Jeffrey D. Chinn. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2006-05-02.

Light sensitive chemical-mechanical polishing method

Номер патента: US20010053606A1. Автор: David Carlson. Владелец: Individual. Дата публикации: 2001-12-20.

Retainer ring used in chemical mechanical polishing apparatus

Номер патента: KR102510720B1. Автор: 송성훈,송종석. Владелец: 피코맥스(주). Дата публикации: 2023-03-16.

Method and apparatus for controlling backside pressure during chemical mechanical polishing

Номер патента: US5925576A. Автор: Cheng-An Peng. Владелец: Promos Technologies Inc. Дата публикации: 1999-07-20.

Chemical mechanical polishing method with in-line thickness detection

Номер патента: US6117780A. Автор: Kuei-Chang Tsai,Chin-Hsiang Chang,Li-Chun Hsien,Yun-Liang Ouyang. Владелец: Mosel Vitelic Inc. Дата публикации: 2000-09-12.

Scrubber brush force control assemblies, apparatus and methods for chemical mechanical polishing

Номер патента: TWI634956B. Автор: 陳輝. Владелец: 應用材料股份有限公司. Дата публикации: 2018-09-11.

Scrubber brush force control assemblies, apparatus and methods for chemical mechanical polishing

Номер патента: TW201501820A. Автор: Hui Chen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2015-01-16.

Method of fabricating self-aligned contact pad using chemical mechanical polishing process

Номер патента: US20100124817A1. Автор: Bo-Un Yoon,Chang-ki Hong,Joon-Sang Park,Ho-Young Kim. Владелец: Individual. Дата публикации: 2010-05-20.

Chemical mechanical polishing fixture having lateral perforation structures

Номер патента: US20140342643A1. Автор: Hui-Chen Yen. Владелец: KAI FUNG TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2014-11-20.

Gas delivery pallet assembly, cleaning unit and chemical mechanical polishing system having the same

Номер патента: WO2024085975A1. Автор: Edwin Velazquez. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-04-25.

Gas delivery pallet assembly, cleaning unit and chemical mechanical polishing system having the same

Номер патента: US20240131562A1. Автор: Edwin Velazquez. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-04-25.

Gas delivery pallet assembly, cleaning unit and chemical mechanical polishing system having the same

Номер патента: US20240226970A9. Автор: Edwin Velazquez. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-07-11.

Ulsi mos with high dielectric constant gate insulator

Номер патента: MY135224A. Автор: Setton Michael. Владелец: Lam Res Corp. Дата публикации: 2008-02-29.

Semiconductor device comprising a high dielectric constant insulating film including nitrogen

Номер патента: US7872312B2. Автор: Hisashi Ogawa. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2011-01-18.

High dielectric constant metal gate mos transistor and method for making the same

Номер патента: US20220278217A1. Автор: YONG Li. Владелец: Shanghai Huali Integrated Circuit Corp. Дата публикации: 2022-09-01.

Method and apparatus for heat-treating high dielectric constant film

Номер патента: US09966254B2. Автор: Hikaru KAWARAZAKI. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-08.

Method and apparatus for heat-treating high dielectric constant film

Номер патента: US09837266B2. Автор: Hikaru KAWARAZAKI. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-12-05.

Method for manufacturing high dielectric constant metal gate for nmos and pmos

Номер патента: US20230420304A1. Автор: Wei Zhou,Weiwei Ma,Ran Huang. Владелец: Shanghai Huali Integrated Circuit Corp. Дата публикации: 2023-12-28.

Method and apparatus for wireless transfer of chemical-mechanical planarization measurements

Номер патента: US6352466B1. Автор: Scott E. Moore. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2002-03-05.

Method and apparatus for wireless transfer of chemical-mechanical planarization measurements

Номер патента: US6827630B2. Автор: Scott E. Moore. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2004-12-07.

Low dielectric constant interlayer dielectrics in spin torque magnetoresistive devices

Номер патента: US09722174B1. Автор: Sanjeev Aggarwal,Kerry Joseph NAGEL. Владелец: Everspin Technologies Inc. Дата публикации: 2017-08-01.

Semiconductor device having low-dielectric-constant film

Номер патента: US9711629B2. Автор: Yoshihiro Ikura. Владелец: Fuji Electric Co Ltd. Дата публикации: 2017-07-18.

Semiconductor device having low-dielectric-constant film

Номер патента: US09711629B2. Автор: Yoshihiro Ikura. Владелец: Fuji Electric Co Ltd. Дата публикации: 2017-07-18.

Run-to-run control for chemical mechanical planarization

Номер патента: US20130267148A1. Автор: Patrick David Noll,Madhu Sudan RAMAVAJJALA,Prakash Lakshmikanthan. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2013-10-10.

Method and apparatus for in-situ monitoring of chemical mechanical planarization (cmp) processes

Номер патента: EP4355528A2. Автор: Daniel Ray TROJAN,Jessica BRINDLEY. Владелец: AXUS Tech LLC. Дата публикации: 2024-04-24.

End point detection system for chemical mechanical polishing applications

Номер патента: EP1399294A1. Автор: Yehiel Gotkis,Mike Ravkin,Katrina A. Mikhaylich. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2004-03-24.

Low dielectric constant insulating material in 3d memory

Номер патента: US20150357342A1. Автор: Guan-Ru Lee. Владелец: Macronix International Co Ltd. Дата публикации: 2015-12-10.

Method for forming aluminum bumps by sputtering and chemical mechanical polishing

Номер патента: US20020142604A1. Автор: Cheng-Wei Lee. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2002-10-03.

Capacitor with high dielectric constant materials and method of making

Номер патента: US20030013263A1. Автор: Gurtej Sandhu,Cem Basceri,Mark Visokay. Владелец: Mark Visokay. Дата публикации: 2003-01-16.

Electrodes for high dielectric constant materials

Номер патента: US5520992A. Автор: Scott R. Summerfelt,Monte A. Douglas. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 1996-05-28.

Pre-oxidizing high-dielectric-constant material electrodes

Номер патента: US5554866A. Автор: Kyung-ho Park,Scott R. Summerfelt,Yasushiro Nishioka,Pijush Bhattacharya. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 1996-09-10.

High dielectric constant material at locations of high fields

Номер патента: US20210193791A1. Автор: Russell Croman,Stefan N. Mastovich,Dan B. Kasha,Thomas C. Fowler. Владелец: Silicon Laboratories Inc. Дата публикации: 2021-06-24.

Method of forming highly-integrated thin film capacitor with high dielectric constant layer

Номер патента: US5943547A. Автор: Shintaro Yamamichi,Pierre Yves Lesaicherre. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 1999-08-24.

Structures of low-reflectivity for attenuating electromagnetic waves

Номер патента: GB1030483A. Автор: . Владелец: Siemens and Halske AG. Дата публикации: 1966-05-25.

Low dielectric, low loss radomes

Номер патента: EP3949014A1. Автор: Douglas S. McBain,Richard N. Johnson,Hoang Dinh Do. Владелец: Laird Technologies Inc. Дата публикации: 2022-02-09.

Low dielectric, low loss radomes

Номер патента: US11848491B2. Автор: Douglas S. McBain,Richard N. Johnson,Hoang Dinh Do. Владелец: Laird Technologies Inc. Дата публикации: 2023-12-19.

Low Dielectric, Low Loss Radome

Номер патента: US20240106111A1. Автор: Richard N. Johnson,Hoang Dinh Do,Doulas S. Mcbain. Владелец: Laird Technologies Inc. Дата публикации: 2024-03-28.

Variable dielectric constant-based antenna and array

Номер патента: WO2007139736A3. Автор: Dedi David HAZIZA. Владелец: Adventenna Inc. Дата публикации: 2008-10-09.

Variable dielectric constant-based antenna and array

Номер патента: WO2007139736B1. Автор: Dedi David HAZIZA. Владелец: Adventenna Inc. Дата публикации: 2008-11-27.

Fabrication of volcano-shaped field emitters by chemical-mechanical polishing (CMP)

Номер патента: US6008064A. Автор: Heinz H. Busta. Владелец: American Energy Services Inc. Дата публикации: 1999-12-28.

Housing Having Different Dielectric Constants

Номер патента: US20230056932A1. Автор: Xiaoming Luo,Mohammad Nikfal,Hyo Chang (Chris) Yun. Владелец: TE Connectivity Germany GmbH. Дата публикации: 2023-02-23.

Adjustable dielectric constant ceramic window

Номер патента: US20240162010A1. Автор: Dan Marohl,Chin-Yi LIU. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-05-16.

3d printed electrical connector with tunable dielectric constant

Номер патента: US20220037827A1. Автор: Jessica H.B. Hemond,David Patrick Orris. Владелец: TE Connectivity Services GmbH. Дата публикации: 2022-02-03.

Enhancing dielectric constants of elastomer sheets

Номер патента: US10818433B1. Автор: Sean Jason Keller,Tristan Thomas Trutna,David R. Perek,Vincenzo Casasanta, III. Владелец: Facebook Technologies LLC. Дата публикации: 2020-10-27.

Continuous dielectric constant adaptation radome design

Номер патента: CA3125131C. Автор: Simon Mazoyer,Emmanuel Mimoun,Delphine Descloux. Владелец: Saint Gobain Performance Plastics Corp. Дата публикации: 2024-05-14.

Low dielectric constant materials from plant oils and chicken feathers

Номер патента: WO2004008498A3. Автор: Chang Kook Hong,Richard P Wool. Владелец: Richard P Wool. Дата публикации: 2004-08-12.

Chemical mechanical planarization pads with constant groove volume

Номер патента: US20240238937A1. Автор: Jaeseok Lee,Eric S. Moyer,Paul Andre Lefevre,Devin SCHMITT,Holland Hodges. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2024-07-18.

Chemical mechanical planarization pads with constant groove volume

Номер патента: US11938584B2. Автор: Jaeseok Lee,Eric S. Moyer,Paul Andre Lefevre,Devin SCHMITT,Holland Hodges. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2024-03-26.

Glass Fiber Composition with Low Dielectric Loss

Номер патента: US20240368028A1. Автор: Yanping Zhang,Zhiyao Tang,Yongyan LI,Jiafang WANG. Владелец: China National Building Material Group Co Ltd CNBM. Дата публикации: 2024-11-07.

Glass fiber composition with low dielectric loss

Номер патента: EP4431476A1. Автор: Yanping Zhang,Zhiyao Tang,Yongyan LI,Jiafang WANG. Владелец: China National Building Material Group Co Ltd CNBM. Дата публикации: 2024-09-18.

Glass material with low dielectric constant and low fiberizing temperature

Номер патента: US20220153628A1. Автор: Chia-Yu Lin. Владелец: Taiwan Glass Industry Corp. Дата публикации: 2022-05-19.

Glass material with low dielectric constant and low fiberizing temperature

Номер патента: US11713273B2. Автор: Chia-Yu Lin. Владелец: Taiwan Glass Industry Corp. Дата публикации: 2023-08-01.

Semiconductor Chemical Mechanical Polishing Sludge Recycling Device

Номер патента: US20240317621A1. Автор: Shao-Hua Hu,Hsin-Hui Chou,Ya-Min Hsieh,Wen-Ming Cheng,Hsing-Wen HSIEH,Chin-An KUAN. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-09-26.

Nanoporous low dielectric constant polymers with hollow polymer particles

Номер патента: US20020115735A1. Автор: Jim Drage. Владелец: Honeywell International Inc. Дата публикации: 2002-08-22.

Polymeric compositions with high dielectric constant and low dielectric loss

Номер патента: EP3898820A1. Автор: Yunfeng Jiao. Владелец: DuPont Polymers Inc. Дата публикации: 2021-10-27.

Polymeric compositions with high dielectric constant and low dielectric loss

Номер патента: US20220056267A1. Автор: Yunfeng Jiao. Владелец: DuPont Polymers Inc. Дата публикации: 2022-02-24.

Low dielectric constants organic-soluble polyimides, and method for manufacturing thereof

Номер патента: US20060178499A1. Автор: Yaw-Terng Chern. Владелец: Home Sun Industrial Co Ltd. Дата публикации: 2006-08-10.

Chemical mechanical machining and surface finishing

Номер патента: IL157290A. Автор: . Владелец: Rem Technologies. Дата публикации: 2007-06-03.

UV-curable resins used for chemical mechanical polishing pads

Номер патента: US11807710B2. Автор: Ping Huang,Chen-Chih Tsai,Eric S. Moyer. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2023-11-07.

Uv-curable resins for chemical mechanical polishing pads

Номер патента: US20230406984A1. Автор: Ping Huang. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2023-12-21.

Uv-curable resins used for chemical mechanical polishing pads

Номер патента: EP4229104A1. Автор: Ping Huang,Chen-Chih Tsai,Eric S. Moyer. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2023-08-23.

Dual-cure resin for preparing chemical mechanical polishing pads

Номер патента: WO2023244739A1. Автор: Chen-Chih Tsai. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2023-12-21.

Uv-curable resins for chemical mechanical polishing pads

Номер патента: WO2023244740A1. Автор: Ping Huang. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2023-12-21.

Dual-cure resin for preparing chemical mechanical polishing pads

Номер патента: US20230405765A1. Автор: Chen-Chih Tsai. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2023-12-21.

Improved low dielectric loss materials with substantially reduced magnesium compounds and higher clay content

Номер патента: GB783997A. Автор: . Владелец: WALTER EDUARD HERBERT BLOCH. Дата публикации: 1957-10-02.

Ceramic insulating material of low dielectric loss and great mechanical strength

Номер патента: GB649936A. Автор: . Владелец: WALTER EDUARD HERBERT BLOCH. Дата публикации: 1951-02-07.

Chemical-mechanical starch conversion

Номер патента: CA1117107A. Автор: Thomas L. Small,Richard D. Harvey,Thomas L. Gallaher,Raymond L. Mullikin. Владелец: Grain Processing Corp. Дата публикации: 1982-01-26.

Cmp pad having polishing layer of low specific gravity

Номер патента: US20230390889A1. Автор: Nan-Rong Chiou. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2023-12-07.

Composite pad for chemical mechanical polishing

Номер патента: US20230339067A1. Автор: Zhan Liu,Michael E. Mills,Nan-Rong Chiou. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2023-10-26.

High-dielectric constant zwitterionic liquids

Номер патента: WO2023225050A1. Автор: Ralph H. Colby,Robert J. Hickey,Wenwen MEI. Владелец: THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION. Дата публикации: 2023-11-23.

Rubber resin material with high dielectric constant

Номер патента: US11920036B2. Автор: Hung-Yi Chang,Te-Chao Liao,Chia-Lin Liu,Chien-Kai Wei. Владелец: Nan Ya Plastics Corp. Дата публикации: 2024-03-05.

Low-dielectric rubber resin material and low-dielectric metal substrate

Номер патента: US11859083B2. Автор: Hung-Yi Chang,Te-Chao Liao,Chia-Lin Liu,Chien-Kai Wei. Владелец: Nan Ya Plastics Corp. Дата публикации: 2024-01-02.

Low-dielectric rubber resin material and low-dielectric metal substrate

Номер патента: US20230046004A1. Автор: Hung-Yi Chang,Te-Chao Liao,Chia-Lin Liu,Chien-Kai Wei. Владелец: Nan Ya Plastics Corp. Дата публикации: 2023-02-16.

Low dielectric resin substrate

Номер патента: US11802192B2. Автор: Toshio Shiobara,Yusuke Taguchi,Hajime Itokawa. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-31.

Low dielectric resin substrate

Номер патента: US20210403672A1. Автор: Toshio Shiobara,Yusuke Taguchi,Hajime Itokawa. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2021-12-30.

Process for manufacturing a hose of low fuel permeation

Номер патента: EP1065039A3. Автор: Kazuhiro Kato,Atsuo Miyajima,Takahiro Nishiyama. Владелец: Sumitomo Riko Co Ltd. Дата публикации: 2002-05-08.

Method for the formation of low-substituted hydroxypropyl cellulose particles

Номер патента: US20010009961A1. Автор: Hiroshi Umezawa,Naosuke Maruyama. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2001-07-26.

Process for the desulphurization of low-medium rank coal

Номер патента: EP2449066A1. Автор: Elisabetta Fois,Agata Pistis,Antonio Anedda. Владелец: Carbosulcis SpA. Дата публикации: 2012-05-09.

A preparation method of low-chloride magnesium oxide

Номер патента: ZA202310347B. Автор: Sun Wei,Liu Weiping,Cheng Junfeng,LIN Shangyong. Владелец: Univ Central South. Дата публикации: 2024-05-30.

Electrostatic suction cup device for wafer chemical mechanical polishing

Номер патента: US20240286244A1. Автор: Yao-Sung Wei. Владелец: Shoxproof Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-29.

A method and device for realizing primary-backup protective of low order cross apparatus

Номер патента: EP2017968B1. Автор: Longbing Ran. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2012-05-16.

Co-existence of low latency and latency tolerant downlink communication

Номер патента: WO2018036524A1. Автор: Kelvin Kar Kin AU,Mohammadhadi Baligh,Toufiqul Islam. Владелец: Huawei Technologies Co., Ltd.. Дата публикации: 2018-03-01.

Detection method of low frequency handshaking signal

Номер патента: US8854050B2. Автор: Jiun-Cheng Hsieh. Владелец: Genesys Logic Inc. Дата публикации: 2014-10-07.

Carbon Graphene Compound Additive to Eliminate ESD and EMI, and Also Manipulate Dielectric Constant

Номер патента: US20230117613A1. Автор: Ving Dee Pu. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-04-20.

Customized polish pads for chemical mechanical planarization

Номер патента: US20100273398A1. Автор: Pradip K. Roy,Sudhanshu Misra. Владелец: Individual. Дата публикации: 2010-10-28.

Chip customized polish pads for chemical mechanical planarization (cmp)

Номер патента: EP1610929A1. Автор: Pradip K. Roy. Владелец: Neopad Technologies Corp. Дата публикации: 2006-01-04.

Seal for use with a chemical mechanical planarization apparatus

Номер патента: US20020086626A1. Автор: Andrew Yednak,Phillip Rayer. Владелец: Speedfam IPEC Corp. Дата публикации: 2002-07-04.

Chemical mechanical planarization tool

Номер патента: US12030159B2. Автор: Kei-Wei Chen,Tung-Kai Chen,Hui-Chi Huang,Wan-Chun Pan,Shang-Yu Wang,Zink Wei. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-07-09.

Multi-action chemical mechanical planarization device and method

Номер патента: US6514129B1. Автор: David G. Halley. Владелец: Strasbaugh Inc. Дата публикации: 2003-02-04.

Apertured conditioning brush for chemical mechanical planarization systems

Номер патента: WO2007047996A3. Автор: Stephen J Benner. Владелец: Tbw Ind Inc. Дата публикации: 2007-10-04.

An apparatus for and method of polishing a semiconductor wafer using chemical mechanical planarization

Номер патента: WO2008023288A2. Автор: Eoin O'dea. Владелец: Eoin O'dea. Дата публикации: 2008-02-28.

Optical coupler hub for chemical-mechanical-planarization polishing pads with an integrated optical waveguide.

Номер патента: US20030190866A1. Автор: Stephan Wolf. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-10-09.

Slurry recycling for chemical mechanical planarization system

Номер патента: US20230256563A1. Автор: Wen-Kuei Liu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-08-17.

End-point detection system for chemical mechanical polishing applications

Номер патента: US20020061713A1. Автор: Yehiel Gotkis,Mike Ravkin,Katrina Mikhaylich. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2002-05-23.

Methods to clean chemical mechanical polishing systems

Номер патента: US11850704B2. Автор: Kei-Wei Chen,Yen-Ting Chen,Chih-Chieh Chang,Hui-Chi Huang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-12-26.

Temperature control of chemical mechanical polishing

Номер патента: WO2010126902A4. Автор: Thomas H. Osterheld,Stephen Jew,Kun Xu,Jimin Zhang. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2011-03-31.

Chemical mechanical polishing apparatus with stable signals

Номер патента: US6568988B1. Автор: Chun-Chieh Lee,Hua-Jen Tseng,Dong-Tay Tsai,Yi-Hua Chin. Владелец: Mosel Vitelic Inc. Дата публикации: 2003-05-27.

Apparatus and system of chemical mechanical polishing

Номер патента: US20020132567A1. Автор: Hai-Ching Chen. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-09-19.

Process for chemical mechanical polishing

Номер патента: US20030064594A1. Автор: Alfred Kersch,Johannes Baumgartl,Stephanie Delage. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2003-04-03.

Controlling chemical mechanical polishing pad stiffness by adjusting wetting in the backing layer

Номер патента: WO2020176460A1. Автор: Kevin H. Song,Benedict W. Pang. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2020-09-03.

Chemical-mechanical polishing aid

Номер патента: GB9828786D0. Автор: . Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 1999-02-17.

Conditioner and chemical mechanical polishing apparatus including the same

Номер патента: US20190358772A1. Автор: Yong-Hee Lee,Jong-hwi SEO,Seung-Chul Han,Hui-Gwan LEE. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2019-11-28.

Chemical mechanical polishing apparatus

Номер патента: US20020142711A1. Автор: Hsin-Chuan Tsai,Shan-Chang Wang. Владелец: Nanya Technology Corp. Дата публикации: 2002-10-03.

Retaining ring with trigger for chemical mechanical polishing apparatus

Номер патента: US20050014452A1. Автор: Peter Khuu. Владелец: Khuus Inc. Дата публикации: 2005-01-20.

Chemical mechanical polishing slurry pump monitoring system and method

Номер патента: US20050101223A1. Автор: Daniel Caldwell,Thomas Kiez. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2005-05-12.

Wafer carrier structure for chemical-mechanical polisher

Номер патента: US20020173253A1. Автор: Chi-Feng Cheng. Владелец: Macronix International Co Ltd. Дата публикации: 2002-11-21.

Chemical mechanical polishing apparatus

Номер патента: US6761624B2. Автор: Hsin-Chuan Tsai,Shan-Chang Wang. Владелец: Nanya Technology Corp. Дата публикации: 2004-07-13.

Retainiing ring with trigger for chemical mechanical polishing apparatus

Номер патента: WO2005009679A2. Автор: Peter Khuu. Владелец: Khuu's Inc., Dba Kamet. Дата публикации: 2005-02-03.

Chemical mechanical polishing

Номер патента: GB2345257A. Автор: Juan-Yuan Wu,Chien-Hsin Lai,Juen-Kuen Lin,Daniel Chiu,Chih-Chiang Yang,Peng-Yih Peng,Kun-Lin Wu,Hao-Kuang Chiu. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2000-07-05.

Slurry recycling for chemical mechanical polishing system

Номер патента: US20220355441A1. Автор: Wen-Kuei Liu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2022-11-10.

Resonant system and method of determining a dielectric constant of a sample

Номер патента: US09841448B2. Автор: Jeffrey Barber,James C. Weatherall,Barry T. Smith. Владелец: Battelle Memorial Institute Inc. Дата публикации: 2017-12-12.

Method for producing chemical mechanical polishing pad

Номер патента: US20090104856A1. Автор: Yukio Hosaka,Rikimaru Kuwabara. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2009-04-23.

Chemical mechanical polishing apparatus and a method for planarizing/polishing a surface

Номер патента: US20070026769A1. Автор: Eugene Davis,Kyle Hunt,Daniel Caldwell. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2007-02-01.

Chemical mechanical polishing apparatus for polishing workpiece

Номер патента: US20190262968A1. Автор: Hitoshi Morinaga,Kenya Ito,Hiroshi Asano,Kazusei Tamai,Yu Ishii,Shingo OHTSUKI. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2019-08-29.

Chemical mechanical polishing system

Номер патента: US20050095963A1. Автор: David Stark,Christopher Schutte. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2005-05-05.

Chemical-mechanical contouring (CMC) method for forming a contoured surface

Номер патента: US5940956A. Автор: Stephen G. Jordan. Владелец: Aiwa Co Ltd. Дата публикации: 1999-08-24.

A chemical mechanical polishing semiconductor device and mehhod for preventing scratch

Номер патента: KR100568031B1. Автор: 심상철. Владелец: 동부아남반도체 주식회사. Дата публикации: 2006-04-05.

Apparatus and method for in-situ endpoint detection for chemical mechanical polishing operations

Номер патента: US6676717B1. Автор: Manoocher Birang,Allan Gleason. Владелец: Individual. Дата публикации: 2004-01-13.

Chemical-mechanical polishing apparatus

Номер патента: US6010395A. Автор: Hideharu Nakajima. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2000-01-04.

Chemical mechanical polishing pad with controlled polish rate

Номер патента: US6054017A. Автор: Bih-Tiao Lin,Fu-Liang Yang. Владелец: Vanguard International Semiconductor Corp. Дата публикации: 2000-04-25.

Polisher for chemical mechanical polishing process

Номер патента: KR20020053941A. Автор: 한동원. Владелец: 박종섭. Дата публикации: 2002-07-06.

Retainer for chemical mechanical polishing carrier head

Номер патента: US11344991B2. Автор: Steven M. Zuniga,Andrew J. Nagengast. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2022-05-31.

Retaining ring for chemical mechanical polishing

Номер патента: US8556684B2. Автор: William B. Sather,Adam W. Manzonie. Владелец: SPM Technology Inc. Дата публикации: 2013-10-15.

Carrier head with layer of conformable material for a chemical mechanical polishing system

Номер патента: US6036587A. Автор: Robert D. Tolles,John Prince,Tsungan Cheng. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2000-03-14.

Apparatus and method for chemical mechanical polishing of substrates

Номер патента: EP1307320A1. Автор: Jason Melvin,Hilario L. Oh,Nam P. Suh. Владелец: ASML US Inc. Дата публикации: 2003-05-07.

Chemical-mechanical-polishing system with continuous filtration

Номер патента: US6244929B1. Автор: Daniel Thomas,Richard D. Russ. Владелец: VLSI Technology Inc. Дата публикации: 2001-06-12.

Carrier head for chemical mechanical polishing

Номер патента: US6165058A. Автор: Hung Chen,Steven Zuniga. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2000-12-26.

Controlled retention of slurry in chemical mechanical polishing

Номер патента: US6019665A. Автор: Solomon I. Beilin,Michael G. Lee. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2000-02-01.

Installation for improving chemical-mechanical polishing operation

Номер патента: US6062955A. Автор: Ying-Chih Liu. Владелец: Worldwide Semiconductor Manufacturing Corp. Дата публикации: 2000-05-16.

Chemical mechanical polishing optical endpoint detection

Номер патента: US20050075055A1. Автор: Brian ZINN,Barry Lanier. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2005-04-07.

Retaining ring for use in chemical mechanical polishing

Номер патента: US6821192B1. Автор: Timothy J. Donohue. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2004-11-23.

Retaining ring for holding semiconductor wafers in a chemical mechanical polishing apparatus

Номер патента: US20040261945A1. Автор: Wilfried Ensinger. Владелец: Ensinger Kunststofftechnologie GbR. Дата публикации: 2004-12-30.

A chemical mechanical polishing semiconductor device and mehhod for preventing scratch

Номер патента: KR20050014350A. Автор: 심상철. Владелец: 동부아남반도체 주식회사. Дата публикации: 2005-02-07.

Groove cleaning device for chemical-mechanical polishing

Номер патента: US6135868A. Автор: Madhavi Chandrachood,Brian J. Brown,Robert Tolles,Doyle Bennett,James C. Nystrom. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2000-10-24.

Retainer ring, chemical mechanical polishing apparatus, and substrate polishing method

Номер патента: US20240091902A1. Автор: Younghun Kim,Sangyun Lee. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-03-21.

Modular chemical mechanical polisher with simultaneous polishing and pad treatment

Номер патента: US20240075582A1. Автор: Steven M. Zuniga,Jay Gurusamy. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-03-07.

Clamping retainer for chemical mechanical polishing

Номер патента: US20230381917A1. Автор: Steven M. Zuniga,Andrew J. Nagengast,Jeonghoon Oh. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-11-30.

Dual membrane carrier head for chemical mechanical polishing

Номер патента: US20240042574A1. Автор: Steven M. Zuniga,Andrew J. Nagengast,Jay Gurusamy. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-02-08.

Chemical-mechanical polishing subpad having porogens with polymeric shells

Номер патента: EP4267342A1. Автор: Chen-Chih Tsai,Dustin Miller,Paul Andre Lefevre,Aaron Peterson. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2023-11-01.

Apparatus and method for chemically mechanically polishing

Номер патента: US20200306929A1. Автор: Bo-I Lee. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-10-01.

Control of platen shape in chemical mechanical polishing

Номер патента: WO2024006213A1. Автор: Steven M. Zuniga,Jay Gurusamy,Jeonghoon Oh. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-01-04.

Retainer for chemical mechanical polishing carrier head

Номер патента: WO2024049890A1. Автор: Steven M. Zuniga,Andrew J. Nagengast,Jeonghoon Oh,Eric Lau,Kuen-Hsiang Chen. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-03-07.

Dual membrane carrier head for chemical mechanical polishing

Номер патента: US11945073B2. Автор: Steven M. Zuniga,Andrew J. Nagengast,Jay Gurusamy. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-04-02.

Control of platen shape in chemical mechanical polishing

Номер патента: US20230415295A1. Автор: Steven M. Zuniga,Jay Gurusamy,Jeonghoon Oh. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-12-28.

Monitoring of polishing pad texture in chemical mechanical polishing

Номер патента: US20230321788A1. Автор: Thomas H. Osterheld,Benjamin Cherian. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-10-12.

Retainer for chemical mechanical polishing carrier head

Номер патента: US20240075584A1. Автор: Steven M. Zuniga,Andrew J. Nagengast,Jeonghoon Oh,Eric Lau,Kuen-Hsiang Chen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-03-07.

Chemical mechanical polishing device and polishing method

Номер патента: US20240131655A1. Автор: Kai-Yao Shih,Ming-Hsiang Chen,Shih-Ci Yen. Владелец: Powerchip Semiconductor Manufacturing Corp. Дата публикации: 2024-04-25.

Modular chemical mechanical polisher with simultaneous polishing and pad treatment

Номер патента: WO2024049642A1. Автор: Steven M. Zuniga,Jay Gurusamy. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-03-07.

Chemical mechanical plishing pad with window

Номер патента: US20160263721A1. Автор: Joseph So,Bainian Qian,Janet Tesfai. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2016-09-15.

Clamping retainer for chemical mechanical polishing and method of operation

Номер патента: WO2023229658A1. Автор: Steven M. Zuniga,Andrew J. Nagengast,Jeonghoon Oh. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-11-30.

Chemical mechanical polishing apparatus

Номер патента: US20240173815A1. Автор: Donghoon Kwon. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-05-30.

Single drive system for a bi-directional linear chemical mechanical polishing apparatus

Номер патента: US20030022607A1. Автор: Douglas Young,Bernard Frey,Mark Henderson. Владелец: ASM Nutool Inc. Дата публикации: 2003-01-30.

Method and apparatus for distributing fluid to a polishing surface during chemical mechanical polishing

Номер патента: WO2003002302A1. Автор: Robert A. Eaton. Владелец: Speedfam-Ipec Corporation. Дата публикации: 2003-01-09.

Method and system for reconstructing high resolution versions of low resolution images of a cine loop sequence

Номер патента: US12039697B2. Автор: Jaehyeok Choi. Владелец: GE Precision Healthcare LLC. Дата публикации: 2024-07-16.

Electronic devices and corresponding hybrid methods of low light image enhancement

Номер патента: US12079973B2. Автор: Hong Zhao,Chao Ma,Zhicheng FU,Yunming Wang,Joseph Nasti. Владелец: MOTOROLA MOBILITY LLC. Дата публикации: 2024-09-03.

Method for measuring complex dielectric constant of micron powder

Номер патента: LU500723B1. Автор: Xiang Wang,JIN Wang,Hua Zhao,Jia Zhao,Chao Fu,Qing LV,Xiancong Wu,Chungang Liu. Владелец: Univ Hebei Normal. Дата публикации: 2022-04-12.

Detection of low gas pressure without pressure sensors

Номер патента: AU2021250855A1. Автор: Mark K. Cornwall,James Lee Kann,Peter CLEVENGER. Владелец: Itron Inc. Дата публикации: 2022-07-07.

Improvements in or relating to apparatus for measuring the dielectric constant of a layer of material such as a film or sheet

Номер патента: GB985428A. Автор: . Владелец: WAYNE KERR LAB Ltd. Дата публикации: 1965-03-10.

Determination of complex dielectric constants from electromagnetic propagation measurements

Номер патента: US20100324826A1. Автор: Martin G. Luling. Владелец: Schlumberger Technology Corp. Дата публикации: 2010-12-23.

Determination of complex dielectric constants from electromagnetic propagation measurements

Номер патента: WO2009083114A2. Автор: Martin G. Luling. Владелец: Schlumberger Holdings Limited. Дата публикации: 2009-07-09.

Passive radar system for detection of low-profile low altitude targets

Номер патента: US20240230874A9. Автор: Pavlo Anatoliyovich Molchanov. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-07-11.

Determining Dielectric Constant and Resistivity with Induction Measurement

Номер патента: US20190353819A1. Автор: John Rasmus,Dean Homan,Gong Li Wang. Владелец: Schlumberger Technology Corp. Дата публикации: 2019-11-21.

Measurement of complex dielectric constant and permeability

Номер патента: US09952269B2. Автор: Kerim Akel. Владелец: Individual. Дата публикации: 2018-04-24.

High frequency induction log for determining resistivity and dielectric constant of the earth

Номер патента: US4278941A. Автор: Robert Freedman. Владелец: Shell Oil Co. Дата публикации: 1981-07-14.

Motor bogie of low-floor railway car

Номер патента: RU2694991C2. Автор: Ален РОДЕ. Владелец: Альстом Транспорт Текнолоджис. Дата публикации: 2019-07-18.

Secondary field dielectric constant well logging system and method

Номер патента: CA1228397A. Автор: Donald L. Johnson,Theodore W. Nussbaum,Percy T. Cox,Wayne F. Warren. Владелец: Texaco Development Corp. Дата публикации: 1987-10-20.

Apparatus for detecting fuel dielectric constant

Номер патента: US5313168A. Автор: Kenji Ogawa. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 1994-05-17.

Denoising depth data of low-signal pixels

Номер патента: EP4392926A1. Автор: Sergio ORTIZ EGEA,Augustine CHA. Владелец: Microsoft Technology Licensing LLC. Дата публикации: 2024-07-03.

Systems and methods for improving the detection of low-electromagnetic- profile objects by vehicles

Номер патента: WO2020053650A1. Автор: Ben Zion Beiski. Владелец: Ben Zion Beiski. Дата публикации: 2020-03-19.

Systems and methods for improving the detection of low-electromagnetic- profile objects by vehicles

Номер патента: EP3850395A1. Автор: Ben Zion Beiski. Владелец: Individual. Дата публикации: 2021-07-21.

Methods for aseptic packaging of low-acid foods

Номер патента: MY187032A. Автор: Rosanne P Batema. Владелец: MJN US Holdings LLC. Дата публикации: 2021-08-26.

Methods for aseptic packaging of low-acid foods

Номер патента: PH12016501331B1. Автор: Rosanne P Batema. Владелец: MJN US Holdings LLC. Дата публикации: 2016-08-15.

Systems and methods for improving the detection of low-electromagnetic-profile objects by vehicles

Номер патента: CA3095703A1. Автор: Ben Zion Beiski. Владелец: Individual. Дата публикации: 2020-03-19.

Method and apparatus for obtaining spatial information and measuring the dielectric constant of an object

Номер патента: US20120001628A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Dicationic polymer and copolymer and their use for chemical mechanical planarization

Номер патента: WO2024129383A1. Автор: Gregor Larbig,Sana MA. Владелец: Versum Materials US, LLC. Дата публикации: 2024-06-20.

COMPOSITION FOR ADVANCED NODE FRONT-AND BACK-END OF LINE CHEMICAL MECHANICAL POLISHING

Номер патента: US20120003901A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Chemical mechanical polishing pad having holes and/or grooves

Номер патента: MY137114A. Автор: KIM Jaeseok,KWON Tae-Kyoung,Park Inha. Владелец: SKC Co Ltd. Дата публикации: 2008-12-31.

Chemical mechanical polishing pad having wave-shaped grooves

Номер патента: MY137105A. Автор: KIM Jaeseok,KWON Tae-Kyoung,Park Inha,Hwang In-Ju. Владелец: SKC Co Ltd. Дата публикации: 2008-12-31.

HIGH RESOLUTION COMPLEX STRUCTURE AND ALLOSTERIC EFFECTS OF LOW MOLECULAR WEIGHT ACTIVATORS ON THE PROTEIN KINASE PDK1

Номер патента: US20120003668A1. Автор: . Владелец: UNIVERSITAET DES SAARLANDES. Дата публикации: 2012-01-05.

Tire Comprising Carcass Reinforcing Cords of Low Permeability and Textile Threads Associated with the Carcass Reinforcement

Номер патента: US20120000590A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Heat treatment method of welded joints of low carbon ferrite-pearlite steels

Номер патента: RU2299252C1. Автор: Сергей Николаевич Галяткин,Валерий Васильевич Рыбин,Наталья Борисовна Щербинина,Герман Николаевич Филимонов,Михаил Иванович Оленин,Николай Георгиевич Быковский,Александр Илларионович Кучеров,Юрий Юрьевич Носов,Надежда Степановна Евдокимова,Наталья Юрьевна Воробьева,Татьяна Михайловна Гусельникова,Виталий Сергеевич Скутин,Наталь Борисовна Щербинина,ткин Сергей Николаевич Гал,Наталь Юрьевна Воробьева,Роман Александрович Подкорытов,Тать на Васильевна Лазарева,Татьяна Васильевна Лазарева,Тать на Михайловна Гусельникова,Сергей Семенович Галка,Сергей Юрьевич Сурин. Владелец: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ "ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "СЕВЕРНОЕ МАШИНОСТРОИТЕЛЬНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ" (ФГУП "ПО "Севмаш"). Дата публикации: 2007-05-20.

Improvements in Methods of Obtaining Light from Gases of Low Calorific Value

Номер патента: GB190113191A. Автор: John Chamberlain. Владелец: Individual. Дата публикации: 1902-06-25.