Projection exposure method and projection exposure apparatus and mask therefor
Номер патента: SG32430A1
Опубликовано: 13-08-1996
Автор(ы): Cheol-Hong Kim, Ho-Young Kang
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Опубликовано: 13-08-1996
Автор(ы): Cheol-Hong Kim, Ho-Young Kang
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Projection exposure apparatus and method for controlling a projection exposure apparatus
Номер патента: WO2013185919A1. Автор: Markus Deguenther,Michael Patra. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2013-12-19.