• Главная
  • Projection exposure method and projection exposure apparatus and mask therefor

Projection exposure method and projection exposure apparatus and mask therefor

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Projection exposure apparatus and method for controlling a projection exposure apparatus

Номер патента: WO2013185919A1. Автор: Markus Deguenther,Michael Patra. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2013-12-19.

Projection exposure method, system and objective

Номер патента: US09678440B2. Автор: Dirk Juergens. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-06-13.

Exposure apparatus, exposure method using the same, and method of manufacture of circuit device

Номер патента: US20010043321A1. Автор: Kenji Nishi,Toru Kiuchi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2001-11-22.

Method for producing or setting a projection exposure apparatus

Номер патента: US20220043358A1. Автор: Rolf Freimann. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2022-02-10.

Projection exposure apparatus

Номер патента: US5317450A. Автор: Kazuya Kamon. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 1994-05-31.

Projection exposure apparatus

Номер патента: US5576801A. Автор: Kazuo Ushida,Masaomi Kameyama. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 1996-11-19.

Illumination system and polarizer for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US7408622B2. Автор: Damian Fiolka,Manfred Maul,Axel Scholz. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2008-08-05.

Illumination system and polarizer for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20080239273A1. Автор: Damian Fiolka,Manfred Maul,Axel Scholz. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2008-10-02.

Exposure method and apparatus, and device manufacturing method

Номер патента: US20020140915A1. Автор: Yoshinori Miwa. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-10-03.

Anamorphically imaging projection lens system and related optical systems, projection exposure systems and methods

Номер патента: US09568832B2. Автор: Hans-Juergen Mann. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-02-14.

Edge exposure apparatus, method of making and using the same

Номер патента: WO2024006225A2. Автор: Merritt CONNER. Владелец: Conner Merritt. Дата публикации: 2024-01-04.

Method and apparatus for projection exposure

Номер патента: US5329335A. Автор: Toshio Wada,Hiroyuki Inoue,Kouhei Eguchi. Владелец: Nippon Steel Corp. Дата публикации: 1994-07-12.

Semiconductor exposure method and method of controlling semiconductor exposure apparatus

Номер патента: US20070182948A1. Автор: Benjamin Szu-Min Lin,Sho-Shen Lee. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2007-08-09.

Multi charged particle beam exposure method and multi charged particle beam exposure apparatus

Номер патента: US10134565B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-11-20.

Multi charged particle beam exposure method and multi charged particle beam exposure apparatus

Номер патента: US20180166254A1. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-06-14.

Projection optical system and projection and light exposure apparatus using it

Номер патента: US20050002007A1. Автор: Ryoko Otomo. Владелец: Fujinon Corp. Дата публикации: 2005-01-06.

Method and apparatus for projection exposure

Номер патента: JPH10209039A. Автор: Takechika Nishi,健爾 西. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 1998-08-07.

Method and device for projection exposure

Номер патента: JPH11121322A. Автор: Minoru Onda,稔 恩田. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 1999-04-30.

Exposure method and apparatus, method of making exposure apparatus, device and device manufacturing method

Номер патента: US20030169411A1. Автор: Kazuya Ota. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2003-09-11.

Projection exposure method and projection exposure apparatus for microlithography

Номер патента: US09665006B2. Автор: Volker Graeschus,Toralf Gruner. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-05-30.

Projection exposure method and projection exposure apparatus for microlithography

Номер патента: US20190204756A1. Автор: Michael Patra. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2019-07-04.

Projection exposure method and projection exposure apparatus for microlithography

Номер патента: US20200096877A1. Автор: Michael Patra. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2020-03-26.

Projection exposure method and projection exposure apparatus

Номер патента: US09933710B2. Автор: Toralf Gruner,Johannes Ruoff,Stephan André,Daniel Golde. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2018-04-03.

Projection exposure method and apparatus

Номер патента: US20020196417A1. Автор: Hiroyoshi Kubo. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-12-26.

Module for a projection exposure apparatus, method, and projection exposure apparatus

Номер патента: WO2024153656A1. Автор: Matthias Manger. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-07-25.

Measuring an optical symmetry property on a projection exposure apparatus

Номер патента: US09703205B2. Автор: Frank Schlesener,Jens Timo NEUMANN. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-07-11.

Projection exposure apparatus for semiconductor lithography

Номер патента: US20210080841A1. Автор: Stefan Xalter,Bernhard Gellrich,Jens Kugler,Stefan Hembacher,Mark Feygin. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2021-03-18.

Projection exposure apparatus for semiconductor lithography

Номер патента: WO2021052940A1. Автор: Stefan Xalter,Bernhard Gellrich,Jens Kugler,Stefan Hembacher,Mark Feygin. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2021-03-25.

Projection exposure methods and systems

Номер патента: US09885958B2. Автор: Paul Graeupner. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2018-02-06.

Method for operating a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09665010B2. Автор: Markus Deguenther. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-05-30.

Microlithography projection exposure apparatus having at least two operating states

Номер патента: US09529276B2. Автор: Winfried Kaiser,Hans-Juergen Mann. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2016-12-27.

Projection exposure apparatus which determines the minimum number of shots to optimially expose the substrate surface

Номер патента: US5654792A. Автор: Masami Yonekawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 1997-08-05.

Catadioptric projection objective comprising deflection mirrors and projection exposure method

Номер патента: US09817220B2. Автор: Toralf Gruner,Thomas Schicketanz. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-11-14.

Projection exposure apparatus including at least one mirror

Номер патента: US09910364B2. Автор: Boris Bittner,Norbert Wabra,Sonja Schneider,Stefan Rist,Ricarda Schoemer. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2018-03-06.

Imaging optical unit for a projection exposure apparatus

Номер патента: US09459539B2. Автор: Hans-Juergen Mann,Susanne Beder,Christoph Menke. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2016-10-04.

Scanning projection exposure apparatus and aligning method therefor

Номер патента: US20010026897A1. Автор: Shinichi Shima. Владелец: Individual. Дата публикации: 2001-10-04.

Method for measuring an angularly resolved intensity distribution and projection exposure apparatus

Номер патента: US20180299787A1. Автор: Dirk Hellweg,Wolfgang Emer. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2018-10-18.

Method for measuring an angularly resolved intensity distribution and projection exposure apparatus

Номер патента: US09915871B2. Автор: Dirk Hellweg,Wolfgang Emer. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2018-03-13.

Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method

Номер патента: EP1622191A1. Автор: Hironori Ikezawa,Yasuhiro Omura,Kumiko Ishida. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2006-02-01.

Reticle transmittance measurement method, and projection exposure method using the same

Номер патента: US09733567B2. Автор: Michihiro Murata,Yutaka Gomi. Владелец: Ablic Inc. Дата публикации: 2017-08-15.

Projection exposure apparatus with optimized adjustment possibility

Номер патента: US09423696B2. Автор: Boris Bittner. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2016-08-23.

Microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: EP2198344A1. Автор: Arif Kazi,Sascha Bleidistel,Aurelian Dodoc,Olaf Conradi. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2010-06-23.

EUV microlithography projection exposure apparatus with a heat light source

Номер патента: US09588435B2. Автор: Damian Fiolka. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-03-07.

Exposure apparatus, exposure method, and method for producing device

Номер патента: US9182684B2. Автор: Hiroyuki Nagasaka,Yasufumi Nishii. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2015-11-10.

Illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09933706B2. Автор: Damian Fiolka,Markus Deguenther,Gerhard-Wilhelm Ziegler. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2018-04-03.

Arrangement for the thermal actuation of a mirror, in particular in a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09798254B2. Автор: Markus Hauf. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-10-24.

Illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09454085B2. Автор: Damian Fiolka,Markus Deguenther,Gerhard-Wilhelm Ziegler. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2016-09-27.

Projection exposure device and projection exposure method

Номер патента: US20230359126A1. Автор: Yoshiyuki Enomoto. Владелец: V Technology Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-09.

Method for distortion correction in a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US7605905B2. Автор: Hans-Jürgen Mann,Bernhard Kneer,Andreas Kirchner. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2009-10-20.

Projection exposure apparatus with at least one manipulator

Номер патента: US09927714B2. Автор: Boris Bittner,Stefan Rist. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2018-03-27.

Projection exposure apparatus having an alignment sensor for aligning a mask image with a substrate

Номер патента: US5654553A. Автор: Masahiko Okumura,Masaharu Kawakubo. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 1997-08-05.

Optical element, projection optical unit and projection exposure apparatus

Номер патента: US20240176249A1. Автор: Jens Kugler,Marwene Nefzi,Matthias Fetzer. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-05-30.

Projection aligner, exposing method and semiconductor device

Номер патента: US20020076628A1. Автор: Tetsuro Hanawa. Владелец: Semiconductor Leading Edge Technologies Inc. Дата публикации: 2002-06-20.

Reticle transmittance measurement method, projection exposure method using the same, and projection exposure device

Номер патента: US09904170B2. Автор: Michihiro Murata,Yutaka Gomi. Владелец: Ablic Inc. Дата публикации: 2018-02-27.

Optical system for a microlithographic projection exposure apparatus and microlithographic exposure method

Номер патента: US20110063597A1. Автор: Markus Mengel. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2011-03-17.

Optical system in an illumination device of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: WO2013060561A1. Автор: Ingo Sänger,Frank Schlesener. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2013-05-02.

Projection exposure apparatus and exposure method

Номер патента: US5539497A. Автор: Kenji Nishi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 1996-07-23.

Projection exposure methods and apparatus, and projection optical system

Номер патента: EP1936420A3. Автор: Yasuhiro Omura. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2008-09-10.

Projection exposure method and apparatus to determine optical performance of reticle

Номер патента: US5686984A. Автор: Akiyoshi Suzuki. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 1997-11-11.

Projection exposure apparatus with manipulators

Номер патента: WO2024110341A1. Автор: Stratis Tzoumas,Malte Langenhorst,Jonas Umlauft,Christian LUTZWEILER. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-05-30.

Projection exposure apparatus

Номер патента: US4780747A. Автор: Hideo Mizutani,Kazuaki Suzuki,Hidemi Kawai. Владелец: Nippon Kogaku KK. Дата публикации: 1988-10-25.

Measuring an optical symmetry property on a projection exposure apparatus

Номер патента: WO2014139651A1. Автор: Frank Schlesener,Jens Timo NEUMANN. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2014-09-18.

Mirror for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: EP3117257A1. Автор: Hartmut Enkisch. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-01-18.

Optical system and projection exposure apparatus

Номер патента: EP4388371A1. Автор: Boaz Pnini. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-06-26.

Mirror, in particular for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: WO2020254147A1. Автор: Toralf Gruner,Hans Michael Stiepan. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2020-12-24.

Optical system, in particular for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: WO2017102599A1. Автор: Ulrich SCHÖNHOFF. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-06-22.

Optical system and projection exposure apparatus

Номер патента: WO2024133262A1. Автор: Christian Werner,Tobias Hegele,Dietmar Duerr,Johannes Kruis,Sebastian Henseler. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-06-27.

Illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: EP2126636A2. Автор: Manfred Maul,Nils Dieckmann,Oliver Natt,Christian Hettich. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2009-12-02.

Optical assembly, optical system and projection exposure apparatus

Номер патента: WO2024179896A1. Автор: Roman Orlik. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-09-06.

Assembly, in particular in a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US12105434B2. Автор: Stefan Troeger,Thomas Gorius. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-10-01.

Facet mirror for a projection exposure apparatus

Номер патента: US09823577B2. Автор: Markus Deguenther,Michael Patra. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-11-21.

Optical system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09817317B2. Автор: Frank Schlesener,Ingo Saenger. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-11-14.

Optical system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09720327B2. Автор: Manfred Maul. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-08-01.

Method for operating an illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09703206B2. Автор: Oliver Natt,Frank Schlesener. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-07-11.

Illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09678438B2. Автор: Michael Patra,Markus Schwab. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-06-13.

Illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09671699B2. Автор: Michael Patra. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-06-06.

Illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09523923B2. Автор: Markus Deguenther. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2016-12-20.

Arrangement for thermal actuation of a mirror in a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09500957B2. Автор: Joachim Hartjes. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2016-11-22.

Illumination system for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09348232B2. Автор: Jan Horn,Christian Kempter,Wolfgang Fallot-Burghardt. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2016-05-24.

Method for operating an illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09341957B2. Автор: Oliver Natt,Frank Schlesener. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2016-05-17.

Projection optical system, method for producing the same, and projection exposure apparatus using the same

Номер патента: AU1891200A. Автор: Hiroyuki Hiraiwa,Issey Tanaka. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2000-07-24.

Projection exposure apparatus

Номер патента: US5677757A. Автор: Naomasa Shiraishi,Tetsuo Taniguchi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 1997-10-14.

Projection exposure apparatus and device manufacturing method

Номер патента: EP1355194A3. Автор: Toshihiko Tsuji. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2004-10-13.

Projection exposure apparatus and method for measuring a projection lens

Номер патента: EP3423902A1. Автор: Frank Schadt,Eugen Foca,Uwe Hempelmann,Frank Schleicher. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2019-01-09.

Component for a projection exposure apparatus for semiconductor lithography and projection exposure apparatus

Номер патента: WO2023237452A1. Автор: Michael Groiss. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2023-12-14.

Exposure apparatus with interferometer

Номер патента: US7023561B2. Автор: Eiichi Murakami,Osamu Kakuchi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2006-04-04.

Projection exposure methods and systems

Номер патента: US20090280437A1. Автор: Paul Graeupner. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2009-11-12.

Projection exposure apparatus and stage unit, and exposure method

Номер патента: US20110019170A1. Автор: Yasunaga Kayama,Dai Arai. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2011-01-27.

Reticle for exposure, exposure method and production method of semiconductor wafer

Номер патента: US20130101925A1. Автор: Hironobu Shimizu. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2013-04-25.

Method of forming photoresist pattern and projection exposure apparatus

Номер патента: US20230185201A1. Автор: Kanyu Cao. Владелец: Changxin Memory Technologies Inc. Дата публикации: 2023-06-15.

Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus

Номер патента: US9140993B2. Автор: Naomasa Shiraishi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2015-09-22.

Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus

Номер патента: EP2927935A3. Автор: Naomasa Shiraishi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2016-01-27.

Optical system, projection exposure system and method

Номер патента: US20240288784A1. Автор: Toralf Gruner,Martin Martin von Hodenberg. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-08-29.

Projection exposure apparatus

Номер патента: US4891663A. Автор: Ryusho Hirose. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 1990-01-02.

Method for measuring an angularly resolved intensity distribution and projection exposure apparatus

Номер патента: US20140009764A1. Автор: Dirk Hellweg,Wolfgang Emer. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2014-01-09.

Near-field exposure apparatus and near-field exposure method

Номер патента: WO2008047818A1. Автор: Toshiki Ito,Natsuhiko Mizutani,Yasuhisa Inao. Владелец: CANON KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2008-04-24.

Near-field exposure apparatus and near-field exposure method

Номер патента: US7871744B2. Автор: Toshiki Ito,Natsuhiko Mizutani,Yasuhisa Inao. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2011-01-18.

Method for measuring an angularly resolved intensity distribution and projection exposure apparatus

Номер патента: US20160011520A1. Автор: Dirk Hellweg,Wolfgang Emer. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2016-01-14.

Near-field exposure apparatus and near-field exposure method

Номер патента: US20090311631A1. Автор: Toshiki Ito,Natsuhiko Mizutani,Yasuhisa Inao. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2009-12-17.

Near-field exposure apparatus and near-field exposure method

Номер патента: WO2008047818A8. Автор: Toshiki Ito,Natsuhiko Mizutani,Yasuhisa Inao. Владелец: Yasuhisa Inao. Дата публикации: 2008-06-19.

Immersion type projection exposure apparatus

Номер патента: US5610683A. Автор: Kazuo Takahashi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 1997-03-11.

Method for adjusting an optical system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: WO2013135500A1. Автор: Ingo Saenger,Bastian Trauter. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2013-09-19.

Focusing device for projection exposure apparatus

Номер патента: US4952815A. Автор: Kenji Nishi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 1990-08-28.

Microlithographic Projection Exposure Apparatus

Номер патента: US20080192224A1. Автор: Markus DEGÜNTHER,Toralf Gruner,Alexander Epple. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2008-08-14.

Method for heating an optical element in a microlitho-graphic projection exposure apparatus and optical system

Номер патента: US20230350312A1. Автор: Dirk Hellweg. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2023-11-02.

Projection exposure apparatus for semiconductor lithography having a connecting element

Номер патента: US20240168396A1. Автор: Rodolfo Guglielmi Rabe,Timo Speidel. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-05-23.

Assembly for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: WO2024099636A1. Автор: Thomas Monz,Julian Zips. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-05-16.

Optical assembly, projection exposure apparatus and method

Номер патента: US20220382165A1. Автор: Johannes Lippert,Markus Raab,Andreas Raba. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2022-12-01.

Euv optics module for an euv projection exposure apparatus

Номер патента: WO2024104849A1. Автор: Udo Dinger,Moritz Becker,Stephanus Fengler. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-05-23.

Projection exposure apparatus and exposure method

Номер патента: US20020039180A1. Автор: Gerd FÜRTER. Владелец: CARL ZEISS AG. Дата публикации: 2002-04-04.

Methods and devices for driving micromirrors

Номер патента: EP2340456A1. Автор: Jan Horn,Christian Kempter. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2011-07-06.

Methods and devices for driving micromirrors

Номер патента: US20130088698A1. Автор: Jan Horn,Christian Kempter. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2013-04-11.

EUV light source for a lighting device of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09823571B2. Автор: Michael Patra. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-11-21.

Illumination optical unit for a projection exposure apparatus

Номер патента: WO2013135532A1. Автор: Ingo Sänger. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2013-09-19.

Illumination system for a microlithography projection exposure apparatus and projection exposure

Номер патента: WO2007137763A3. Автор: Alexander Kohl. Владелец: Zeiss Carl Smt Ag. Дата публикации: 2008-05-02.

Projection exposure apparatus and device manufacturing method using the same

Номер патента: US20020097758A1. Автор: Masakatsu Ota,Naoto Sano. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-07-25.

Projection exposure apparatus for semiconductor lithography

Номер патента: WO2024013177A1. Автор: Carlos Alberto Jansen,Alexander Fritzkowski,Eric van Rijen. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-01-18.

Projection exposure tool for microlithography and method for microlithographic exposure

Номер патента: WO2012041458A3. Автор: Helmut Haidner,Markus GÖPPERT,Carmen Hettich. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2012-11-08.

Projection exposure apparatus and device manufacturing method capable of controlling polarization direction

Номер патента: US5933219A. Автор: Yasuyuki Unno. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 1999-08-03.

Illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US9013680B2. Автор: Damian Fiolka,András G. MAJOR,Ralf Mueller. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2015-04-21.

Projection exposure apparatus

Номер патента: US5365371A. Автор: Kazuya Kamon. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 1994-11-15.

Illumination apparatus, projection exposure apparatus, and device fabricating method

Номер патента: US20060164622A1. Автор: Shinichi Hara. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-07-27.

Method and apparatus for characterizing a microlithographic mask

Номер патента: US20220075272A1. Автор: Thomas Frank,Holger Seitz,Ulrich Matejka,Asad Rasool. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2022-03-10.

Projection objective and projection exposure apparatus for microlithography

Номер патента: US20100085644A1. Автор: Hans-Juergen Rostalski. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2010-04-08.

Projection exposure apparatus

Номер патента: US5719704A. Автор: Yuji Kudo,Naomasa Shiraishi,Saburo Kamiya. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 1998-02-17.

Optical system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: EP1586946A3. Автор: Damian Fiolka,Manfred Maul,Olaf Dittmann,Michael Totzeck. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2007-01-17.

Projection exposure apparatus and method

Номер патента: US5751403A. Автор: Hideo Mizutani,Tohru Kawaguchi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 1998-05-12.

Projection exposure apparatus

Номер патента: US4965630A. Автор: Koichi Matsumoto,Kazuo Ushida,Kyoichi Suwa,Kinya Kato,Toshiyuki Namikawa,Koichi Ohno. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 1990-10-23.

Photomask and projection exposure mechanism using the same

Номер патента: US5441835A. Автор: Katsuhiko Harazaki. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 1995-08-15.

Optical system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20090015845A1. Автор: Toralf Gruner,Joerge Tschischgale. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2009-01-15.

Projection exposure apparatus

Номер патента: US4370054A. Автор: Hironori Yamamoto,Junji Isohata. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 1983-01-25.

Optical element, projection optical unit and projection exposure apparatus

Номер патента: EP4384874A1. Автор: Jens Kugler,Marwene Nefzi,Matthias Fetzer. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-06-19.

Projection exposure apparatus

Номер патента: US5300967A. Автор: Kazuya Kamon. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 1994-04-05.

Projection exposure apparatus having an off-axis alignment system and method of alignment therefor

Номер патента: USRE36730E. Автор: Kenji Nishi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2000-06-13.

Method for examining a wafer with regard to a contamination limit and EUV projection exposure system

Номер патента: US7955767B2. Автор: Stefan Schmidt,Andreas Dorsel. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2011-06-07.

Imaging optical unit for a projection exposure apparatus

Номер патента: WO2014019617A1. Автор: Hans-Jürgen Mann,Christoph Menke. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2014-02-06.

Optical system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: WO2014114494A1. Автор: Ingo Sänger,Christoph Hennerkes. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2014-07-31.

Optical system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US9405202B2. Автор: Christoph Hennerkes,Ingo Saenger. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2016-08-02.

Illumination system for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: WO2005103826A1. Автор: Wolfgang Singer,Johannes Wangler. Владелец: Carl Zeiss Smt Ag. Дата публикации: 2005-11-03.

Optical unit for an illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20050237623A1. Автор: Damian Fiolka,Manfred Maul. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2005-10-27.

Assembly, in particular in a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20230034958A1. Автор: Stefan Troeger,Thomas Gorius. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2023-02-02.

Bipod, optical system and projection exposure apparatus

Номер патента: WO2024061869A1. Автор: Tobias Hegele,Sonia Anaelle Bissie,Dietmar Duerr. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-03-28.

Projection exposure apparatus for semiconductor lithography

Номер патента: US20240111223A1. Автор: Klaus Rief. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-04-04.

Mirror for a projection exposure apparatus

Номер патента: WO2024012978A1. Автор: Sandro Hoffmann,Valentin Jonatan Bolsinger. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-01-18.

Projection exposure apparatus for semiconductor lithography

Номер патента: US20240012334A1. Автор: Markus Raab,Matthias Manger,Andreas Raba,Mirko Buechsenschuetz. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-01-11.

Projection exposure method and projection lens with setting of the pupil transmission

Номер патента: US11906904B2. Автор: Toralf Gruner. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-02-20.

Mirror element, in particular for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20180101002A1. Автор: Martin Hermann,Hartmut Enkisch,Christoph Nottbohm. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2018-04-12.

Mirror element, in particular for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20170176741A1. Автор: Martin Hermann,Hartmut Enkisch,Christoph Nottbohm. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-06-22.

Projection exposure method and projection lens with setting of the pupil transmission

Номер патента: US20200081350A1. Автор: Toralf Gruner. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2020-03-12.

Optical system for a lithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20240012333A1. Автор: Michael Patra. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-01-11.

Projection exposure apparatus

Номер патента: WO2012028569A9. Автор: Dirk Heinrich Ehm,Oliver Dier,Stefan-Wolfgang Schmidt. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2012-06-07.

Mirror, in particular for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20200026195A1. Автор: Johannes Lippert,Toralf Gruner,Kerstin Hild. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2020-01-23.

Optical system for a lithographic projection exposure apparatus

Номер патента: EP4314949A1. Автор: Michael Patra. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-02-07.

Method for producing a mirror of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: EP4320467A1. Автор: Erik Loopstra,Eric Eva,Christoph Zaczek. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-02-14.

Euv collector for use in an euv projection exposure apparatus

Номер патента: EP3440490A1. Автор: Johannes Zellner,Holger Kierey. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2019-02-13.

Method for producing a mirror of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20240019613A1. Автор: Erik Loopstra,Eric Eva,Christoph Zaczek. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-01-18.

Method for operating an illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20130258303A1. Автор: Oliver Natt,Frank Schlesener. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2013-10-03.

Method for aligning a mirror of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20170023865A1. Автор: Rolf Freimann,Jochen Hetzler,Bernd Doerband. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-01-26.

Euv collector for use in an euv projection exposure apparatus

Номер патента: US20190033723A1. Автор: Johannes Zellner,Holger Kierey. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2019-01-31.

Mirror, more particularly for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20180039001A1. Автор: Anastasia Gonchar. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2018-02-08.

System and projection exposure apparatus

Номер патента: US20230408934A1. Автор: Jens Kugler,Marwene Nefzi. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2023-12-21.

Mirror, in particular for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20180217507A1. Автор: Hartmut Enkisch,Oliver Dier,Kerstin Hild,Matus Kalisky. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2018-08-02.

Optical system and projection exposure apparatus

Номер патента: US20240184212A1. Автор: Boaz Pnini. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-06-06.

Method for operating an illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20160077444A1. Автор: Oliver Natt,Frank Schlesener. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2016-03-17.

Method for operating an illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20100321661A1. Автор: Oliver Natt,Frank Schlesener. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2010-12-23.

Method for operating an illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20180024439A1. Автор: Oliver Natt,Frank Schlesener. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2018-01-25.

Method for operating an illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: WO2009106217A1. Автор: Oliver Natt,Frank Schlesener. Владелец: Carl Zeiss Smt Ag. Дата публикации: 2009-09-03.

Method for operating an illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US8467033B2. Автор: Oliver Natt,Frank Schlesener. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2013-06-18.

Reticle for projection exposure apparatus and exposure method using the same

Номер патента: US20090225294A1. Автор: Daisuke Okano. Владелец: Seiko Instruments Inc. Дата публикации: 2009-09-10.

Method for aligning a mirror of a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US20190049853A1. Автор: Rolf Freimann,Jochen Hetzler,Bernd Doerband. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2019-02-14.

Projection exposure system

Номер патента: US20020075466A1. Автор: Toralf Gruner,Rudolf Von Bünau,Erwin Gaber. Владелец: Erwin Gaber. Дата публикации: 2002-06-20.

Irradiation strength distribution measuring apparatus and method of measuring

Номер патента: WO2008089898A1. Автор: Rolf Freimann. Владелец: Carl Zeiss Smt Ag. Дата публикации: 2008-07-31.

Method and apparatus to facilitate separation of a mask and a mask platform

Номер патента: US20050088639A1. Автор: Sang Lee. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2005-04-28.

Projection exposure tool for microlithography and method for microlithographic imaging

Номер патента: US09709902B2. Автор: Aksel Goehnermeier,Jochen Hetzler. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-07-18.

Mirror, in particular for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US11809085B2. Автор: Toralf Gruner,Hans Michael Stiepan. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2023-11-07.

Determining mask rule check violations and mask design

Номер патента: US20240241436A1. Автор: Rafael C. Howell,Xingyue Peng,Xiaorui CHEN,Yen Wen Lu. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-07-18.

Reticle and exposure apparatus including the same

Номер патента: US09996001B2. Автор: Seongsue Kim,Insung Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2018-06-12.

Scanning exposure apparatus, scanning exposure method and mask

Номер патента: US20020159041A1. Автор: Makoto Tsuchiya. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2002-10-31.

Method for measuring orthogonality in a stage of an exposure apparatus

Номер патента: US5995225A. Автор: Shuji Kawamura,Tsuyoshi Naraki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 1999-11-30.

Exposure apparatus, exposure method and semiconductor device fabricated with the exposure method

Номер патента: US6717652B2. Автор: Toshifumi Suganaga. Владелец: Renesas Technology Corp. Дата публикации: 2004-04-06.

Exposure apparatus, manufacturing method of flat-panel display, device manufacturing method, and exposure method

Номер патента: US20200174373A1. Автор: Yasuo Aoki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2020-06-04.

Exposure apparatus, exposure method and semiconductor device fabricated with the exposure method

Номер патента: US20020072000A1. Автор: Toshifumi Suganaga. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2002-06-13.

Exposure apparatus, exposure method, and exposure mask

Номер патента: EP1782456A4. Автор: Natsuhiko Mizutani,Ryo Kuroda,Yasuhisa Inao. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2008-07-30.

Exposure apparatus, exposure method, device manufacturing method, and carrier method

Номер патента: US09442396B2. Автор: Yuichi Shibazaki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2016-09-13.

Exposure apparatus, exposure method and semiconductor device production method

Номер патента: EP1544895A3. Автор: Shigeru Moriya. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2007-01-17.

Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US09423299B2. Автор: Kazuki Yamamoto,Tadahiro Asaishi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2016-08-23.

X-ray exposure apparatus and semiconductor-device manufacturing method

Номер патента: CA2081642A1. Автор: Ryuichi Ebinuma. Владелец: Individual. Дата публикации: 1993-05-02.

Pattern exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US20240255855A1. Автор: Masaki Kato,Yasushi Mizuno,Toshiharu Nakashima,Keisuke Hasegawa. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2024-08-01.

Exposure apparatus, exposure method, and article manufacturing method

Номер патента: EP4455793A2. Автор: Junichi Motojima. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-10-30.

Exposure apparatus, exposure method, and article manufacturing method

Номер патента: US20240361707A1. Автор: Junichi Motojima. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-10-31.

Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US09915878B2. Автор: Yuichi Shibazaki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2018-03-13.

Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US09857701B2. Автор: Yuichi Shibazaki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2018-01-02.

Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US09535339B2. Автор: Yuichi Shibazaki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2017-01-03.

Illuminating optical system for use in projecting exposure device

Номер патента: US5695274A. Автор: Hitoshi Ohashi,Yasuhiro Kamihara. Владелец: Olympus Optical Co Ltd. Дата публикации: 1997-12-09.

Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US09726981B2. Автор: Ryo Sasaki. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2017-08-08.

Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US09612538B2. Автор: Shinji Sato. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2017-04-04.

Projection exposure system

Номер патента: US5386266A. Автор: Ho-Young Kang. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 1995-01-31.

Exposure apparatus, exposure method, and device fabrication method

Номер патента: US20080291421A1. Автор: Takafumi Miyaharu. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2008-11-27.

Exposure method and apparatus

Номер патента: US20060268255A1. Автор: Yoshihiro Shiode,Seiya Miura. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-11-30.

Exposure apparatus, exposure method, and blind for exposure apparatus

Номер патента: US8842258B2. Автор: Hong-Suk Yoo,Chang-Hoon Kim,Bo-Kyoung Ahn. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2014-09-23.

Exposure apparatus, exposure method, and blind for exposure apparatus

Номер патента: US20120088196A1. Автор: Hong-Suk Yoo,Chang-Hoon Kim,Bo-Kyoung Ahn. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2012-04-12.

Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US09575413B2. Автор: Atsushi Kawahara,Shinichi Egashira,Issei Funayoshi,Takuro Tsujikawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2017-02-21.

Exposure apparatus, exposure method, and method of manufacturing article

Номер патента: US12072638B2. Автор: Yuki Saito,Kazuki Ota,Masaki Imai,Takafumi Miyaharu. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-08-27.

Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US09910371B2. Автор: Kentaro Kawanami. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2018-03-06.

Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US09753378B2. Автор: Junichi Chonan. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2017-09-05.

Mask assembly, mask apparatus and mask control method

Номер патента: US11194193B2. Автор: Guojing Ma. Владелец: Beijing BOE Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-12-07.

Mask assembly, mask apparatus and mask control method

Номер патента: US20200057344A1. Автор: Guojing Ma. Владелец: Beijing BOE Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2020-02-20.

Exposure apparatus, exposure method, and method of manufacturing article

Номер патента: US09766548B2. Автор: Bunsuke Takeshita. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2017-09-19.

Mask plate, mask exposure device and mask exposure method

Номер патента: US20170090280A1. Автор: Song Zhang,Tao Wang,Seiji Fujino,Jing Gao,Xiaobo Du. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2017-03-30.

Exposure method and exposure apparatus

Номер патента: US20120249993A1. Автор: Koichi Kajiyama,Toshinari ARAI. Владелец: V Technology Co Ltd. Дата публикации: 2012-10-04.

Mask treating apparatus and mask treating method

Номер патента: US20180173091A1. Автор: Yunsong Jeong,Hyunseok UHM,SunPyo LEE. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2018-06-21.

Determining mask rule check violations and mask design based on local feature dimension

Номер патента: WO2024013273A1. Автор: Xingyue Peng. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-01-18.

Method of mask data synthesis and mask making

Номер патента: US20190146328A1. Автор: Hsu-Ting Huang,Ru-Gun Liu,Shih-Hsiang Lo. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2019-05-16.

Exposure apparatus, exposure method, method of manufacturing device, program, and storage medium

Номер патента: US09494876B2. Автор: Shinji Sato. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2016-11-15.

Pattern exposure apparatus, device manufacturing method, and exposure apparatus

Номер патента: US20240248409A1. Автор: Masaki Kato,Yasushi Mizuno,Toshiharu Nakashima,Satoshi KAWADO. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2024-07-25.

Correction method of mask layout and mask containing corrected layout

Номер патента: US20210216008A1. Автор: Yaojun DU. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2021-07-15.

Correction method of mask layout and mask containing corrected layout

Номер патента: US11624977B2. Автор: Yaojun DU. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2023-04-11.

Exposure apparatus and prevention method and system for image offset thereof

Номер патента: US10359709B2. Автор: Chun-Bin Wen. Владелец: Chongqing HKC Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2019-07-23.

Exposure apparatus and exposure method

Номер патента: US09500955B2. Автор: CAN Wang,Jianwei Yu. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2016-11-22.

Mask treating apparatus and mask treating method

Номер патента: US20200192214A1. Автор: Yunsong Jeong,Hyunseok UHM,SunPyo LEE. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2020-06-18.

Method of designing an exposure mask, exposure method, pattern forming method and device manufacturing method

Номер патента: EP1642171B1. Автор: Takako Yamaguchi,Yasuhisa Inao. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2011-06-15.

Exposure method, exposure apparatus and cleaning method

Номер патента: US20130201460A1. Автор: Yasuhisa Tani. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2013-08-08.

Near-field exposure method and apparatus, near-field exposure mask, and device manufacturing method

Номер патента: WO2005015311A2. Автор: Natsuhiko Mizutani. Владелец: CANON KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2005-02-17.

Electronic device manufacturing method and lithography control processor

Номер патента: US20240219846A1. Автор: Koichi Fujii. Владелец: GIGAPHOTON INC. Дата публикации: 2024-07-04.

Exposure method, mask data producing method, and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: US8142960B2. Автор: Satoshi Nagai,Kazuya Fukuhara. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2012-03-27.

Fast freeform source and mask co-optimization method

Номер патента: US09953127B2. Автор: Yu Cao,Jun Ye,Luoqi Chen. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2018-04-24.

Carrier method, exposure method, carrier system and exposure apparatus, and device manufacturing method

Номер патента: US09835958B2. Автор: Yuichi Shibazaki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2017-12-05.

Mask cooling apparatus and mask cooling method

Номер патента: US20180149985A1. Автор: Xuan Liu. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2018-05-31.

[substrate exposure apparatus and method]

Номер патента: US20040165163A1. Автор: Kuo-Tso Chen. Владелец: Individual. Дата публикации: 2004-08-26.

Exposure apparatus, alignment method, and device manufacturing method

Номер патента: US09594314B2. Автор: Takashi Ogura. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2017-03-14.

Exposure method, method of manufacturing plate for flat panel display, and exposure apparatus

Номер патента: WO2008149756A1. Автор: Naomasa Shiraishi. Владелец: NIKON CORPORATION. Дата публикации: 2008-12-11.

Exposure method, exposure apparatus, and method of manufacturing article

Номер патента: US20190041759A1. Автор: Tadao Nakamura,Ryo Koizumi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2019-02-07.

Exposure apparatus and exposure method

Номер патента: US09977337B2. Автор: Akio Yamada,Masahiro Seyama,Shoji Kojima. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2018-05-22.

Exposure method, exposure apparatus and method of manufacturing article

Номер патента: US20180364607A1. Автор: Yoshio Goto. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2018-12-20.

Exposure method, exposure apparatus, and method of manufacturing device

Номер патента: US8390809B2. Автор: Nozomu Hayashi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2013-03-05.

Exposure method, exposure apparatus, and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: US20210294205A1. Автор: Manabu Takakuwa,Hayato Terai. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2021-09-23.

Exposure method, exposure apparatus, and article manufacturing method

Номер патента: US09891525B2. Автор: Nobuhiko Yabu. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2018-02-13.

Exposure method, exposure apparatus, and method of manufacturing device

Номер патента: US09541845B2. Автор: Yoshihiro Omameuda. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2017-01-10.

Exposure method, exposure apparatus, and device manufacturing method

Номер патента: US09513564B2. Автор: Kazuyoshi Ozawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2016-12-06.

Direct exposure apparatus and direct exposure method

Номер патента: US7486383B2. Автор: Takahiro Inoue,Kazunari Sekigawa,Hiroaki Samizu. Владелец: Shinko Electric Industries Co Ltd. Дата публикации: 2009-02-03.

Exposure method and exposure mask

Номер патента: US20130059234A1. Автор: Takashi Kamo. Владелец: Individual. Дата публикации: 2013-03-07.

Illumination device, exposure apparatus and exposure method

Номер патента: US20030007137A1. Автор: Takehiko Iwanaga. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2003-01-09.

Exposure apparatus and exposure method using the same

Номер патента: US09791783B2. Автор: Baek-Kyun Jeon,Jae-Weon HUR,Hong-Yeon Lee. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-10-17.

Exposure apparatus and exposure method thereof

Номер патента: US09746777B2. Автор: Chien-Li Chen,Wen-Yen Yen,Yen-Chen Liao. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-08-29.

Exposure method and exposure device

Номер патента: US09568843B2. Автор: Song WANG,Hongjiang Wu,Changgang HUANG,Jiyu Wan,Gyuhyun Lee. Владелец: Beijing BOE Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2017-02-14.

Method and device for controlling fluid flow in an optical assembly

Номер патента: US20040179174A1. Автор: Bernard Fay,Derek Coon. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2004-09-16.

Liquid recovery apparatus, exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US8854599B2. Автор: Hideaki Hara,Dai Arai,Hiroaki Takaiwa. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2014-10-07.

Exposure apparatus, device manufacturing method, maintenance method, and exposure method

Номер патента: US7557900B2. Автор: Kenichi Shiraishi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2009-07-07.

Exposure apparatus, exposure method, and method for producing device

Номер патента: US20110026005A1. Автор: Tohru Kiuchi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2011-02-03.

Exposure apparatus, exposure method, and exposure mask

Номер патента: EP1782456A1. Автор: Natsuhiko Mizutani,Ryo Kuroda,Yasuhisa Inao. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2007-05-09.

Scanning exposure apparatus, scanning exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US20020145713A1. Автор: Hiroshi Kurosawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2002-10-10.

Exposure apparatus, exposure method, and method for manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20240210839A1. Автор: Yoshio Mizuta. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2024-06-27.

Alignment system and alignment method in exposure apparatus

Номер патента: US20020024644A1. Автор: Hideki Ina,Seiji Miyata. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-02-28.

Exposure apparatus, exposing method, method for manufacturing device, program, and recording medium

Номер патента: US09915882B2. Автор: Shinji Sato. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2018-03-13.

Immersion exposure apparatus and immersion exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US7872730B2. Автор: Tohru Kiuchi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2011-01-18.

Exposure apparatus, exposure method, and method for producing device

Номер патента: US7453550B2. Автор: Soichi Owa,Hiroyuki Nagasaka,Yasugumi Nishii. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2008-11-18.

Exposure apparatus, exposure method and method for producing a device

Номер патента: EP3462241A1. Автор: Hiroyuki Nagasaka,Kenichi Shiraishi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2019-04-03.

Immersion exposure apparatus and immersion exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US8743341B2. Автор: Tohru Kiuchi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2014-06-03.

Exposure method and apparatus

Номер патента: US6163366A. Автор: Hiroki Okamoto,Masaharu Kawakubo,Shinji Mizutani. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2000-12-19.

Exposure method and exposure apparatus

Номер патента: US5025284A. Автор: Susumu Komoriya,Hiroshi Nishizuka,Shinya Nakagawa,Hisashi Maejima. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1991-06-18.

Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US20010026355A1. Автор: Soichi Owa,Takashi Aoki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2001-10-04.

Exposure apparatus, exposure method, and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: US20190271922A1. Автор: Manabu Takakuwa. Владелец: Toshiba Memory Corp. Дата публикации: 2019-09-05.

Exposure apparatus, exposure method, and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: US10921722B2. Автор: Manabu Takakuwa. Владелец: Toshiba Memory Corp. Дата публикации: 2021-02-16.

Exposure apparatus, exposure method and device manufacturing method

Номер патента: WO2009078489A1. Автор: Takahisa Kikuchi. Владелец: NIKON CORPORATION. Дата публикации: 2009-06-25.

Exposure method and exposure apparatus

Номер патента: US20040141164A1. Автор: Toshihiko Tsuji,Takaaki Kimura. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2004-07-22.

Exposure apparatus, exposure method, and flat panel display manufacturing method

Номер патента: US20240103379A1. Автор: Masaki Kato,Hitoshi Mizuno,Yasushi Mizuno. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2024-03-28.

Exposure apparatus, exposure method, and article manufacturing method

Номер патента: US20230333490A1. Автор: Jun Kawashima,Takahiro Takiguchi,Jun Moizumi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2023-10-19.

Substrate holding apparatus, exposure apparatus, and article manufacturing method

Номер патента: US20190369506A1. Автор: Akihiro Takahashi,Noboru Osaka,Shunya Sakata. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2019-12-05.

Prediction apparatus and method for optical source

Номер патента: US20240319612A1. Автор: Russell Allen BURDT,Jung Yoon SHIN. Владелец: Cymer LLC. Дата публикации: 2024-09-26.

Exposure apparatus, exposing method, method for manufacturing device, program, and recording medium

Номер патента: US09857700B2. Автор: Shinji Sato. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2018-01-02.

Light source apparatus and data processing method

Номер патента: US09841684B2. Автор: Hiroshi Tanaka,Osamu Wakabayashi,Masato Moriya,Hiroyuki Masuda,Akihiko KUROSU,Hideyuki Ochiai. Владелец: GIGAPHOTON INC. Дата публикации: 2017-12-12.

Exposure apparatus, exposing method, method for manufacturing device, program, and recording medium

Номер патента: US09507265B2. Автор: Shinji Sato. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2016-11-29.

Exposure apparatus, exposure method, and device fabrication method

Номер патента: US7932996B2. Автор: Susumu Makinouchi,Motokatsu Imai. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2011-04-26.

Exposure apparatus, exposure method, and device fabrication method

Номер патента: US8272544B2. Автор: Susumu Makinouchi,Motokatsu Imai. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2012-09-25.

Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US20060209281A1. Автор: Tatsuya Hayashi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2006-09-21.

Exposure apparatus, exposure method, method for manufacturing device

Номер патента: US20110235006A1. Автор: Yoshitomo Nagahashi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2011-09-29.

Exposure apparatus, exposure method, and method for producing device

Номер патента: EP3067749A3. Автор: Hiroyuki Nagasaka,Minoru Onda. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2016-11-16.

Exposure Apparatus, Exposure Method, Device Manufacturing Method, and System

Номер патента: US20070273852A1. Автор: Masayoshi Arai. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2007-11-29.

Exposure apparatus and exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US9772564B2. Автор: YASUSHI Yoda. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2017-09-26.

Exposure apparatus and exposure method

Номер патента: US5734462A. Автор: Fumio Sakai. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 1998-03-31.

Exposure apparatus, exposure method and article manufacturing method

Номер патента: US20240053686A1. Автор: Masaki Imai,Mamoru Kaneishi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-02-15.

Exposure apparatus, exposure method and storage medium

Номер патента: US10274843B2. Автор: Masaru Tomono,Seiji Nagahara,Gousuke Shiraishi,Nobutaka Fukunaga,Yukie MINEKAWA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-04-30.

Exposure apparatus, exposure method and article manufacturing method

Номер патента: EP4321932A1. Автор: Masaki Imai,Mamoru Kaneishi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-02-14.

Exposure apparatus, exposure method, and manufacturing method for electronic device

Номер патента: US20240111215A1. Автор: Masaki Kato,Hitoshi Mizuno,Yasushi Mizuno. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2024-04-04.

Exposure apparatus, exposure method, device manufacturing method, and device

Номер патента: EP4325294A1. Автор: Yoji Watanabe. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2024-02-21.

Exposure apparatus, exposure method, and device fabrication method

Номер патента: US20140240687A1. Автор: Takanori Sato. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2014-08-28.

Exposure apparatus, exposure method and storage medium

Номер патента: US20180143540A1. Автор: Masaru Tomono,Seiji Nagahara,Gousuke Shiraishi,Nobutaka Fukunaga,Yukie MINEKAWA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-05-24.

Exposure apparatus, exposure method, and method of manufacturing article

Номер патента: US20200409276A1. Автор: Koji Mikami,Ryo Koizumi,Jun Moizumi,Kouki Miyano. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2020-12-31.

Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US20150036112A1. Автор: Shinji Sato. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2015-02-05.

Exposure apparatus, exposure method, device manufacturing method, and device

Номер патента: US20240184214A1. Автор: Yoji Watanabe. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2024-06-06.

Exposure apparatus and method for cleaning the same

Номер патента: US20160357117A1. Автор: Jinhong Park,Sungjoo Kim,Yun Kyeong Jang,Dohyun Seo,HyunHoon LEE. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2016-12-08.

Exposure apparatus

Номер патента: WO2008072641A9. Автор: Masami Yonekawa. Владелец: Masami Yonekawa. Дата публикации: 2009-06-25.

Exposure apparatus and method of manufacturing device

Номер патента: US20090040499A1. Автор: Fumitake Kobayashi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2009-02-12.

Management system and management method of semiconductor exposure apparatuses

Номер патента: US6801825B2. Автор: Norihiko Utsunomiya. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2004-10-05.

Holographic exposure apparatuses

Номер патента: US20100208226A1. Автор: Sung Jin Lee,Sang Wook Park,Oui Serg Kim,In Bae Jang,Sang Joon Hong,Sung Hwi Cho,Kyen Hee Lee. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2010-08-19.

Support plate, exposure apparatus having the support plate, and a device manufacturing method using the exposure apparatus

Номер патента: US8045138B2. Автор: Makoto Ogusu. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2011-10-25.

Exposure apparatus and device manufacturing method

Номер патента: US20100196831A1. Автор: Osamu Tsunoda. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2010-08-05.

Exposure apparatus, exposure method, and method of manufacturing article

Номер патента: US11835869B2. Автор: Yuki Saito,Kazuki Ota,Masaki Imai,Takafumi Miyaharu. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2023-12-05.

Light exposure method, and light exposure apparatus

Номер патента: US9291919B2. Автор: Hiroaki Oizumi. Владелец: Renesas Electronics Corp. Дата публикации: 2016-03-22.

Wafer edge exposure apparatus, wafer edge exposure method and photolithography device

Номер патента: US11822261B2. Автор: Xueyu LIANG. Владелец: Changxin Memory Technologies Inc. Дата публикации: 2023-11-21.

Exposure apparatus, exposure method, and method of manufacturing article

Номер патента: US20240061350A1. Автор: Yuki Saito,Kazuki Ota,Masaki Imai,Takafumi Miyaharu. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-02-22.

Exposure apparatus and method of manufacturing article

Номер патента: US20190146359A1. Автор: Takanori Sato. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2019-05-16.

Exposure apparatus and article manufacturing method

Номер патента: EP3745206A1. Автор: Ryo Koizumi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2020-12-02.

Exposure apparatus

Номер патента: US20080133042A1. Автор: Yuichiro Samejima. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2008-06-05.

Exposure apparatus and article manufacturing method

Номер патента: EP3739390A1. Автор: Masatoshi Shimazaki,Atsushi Shigenobu,Yutoku Yoshioka. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2020-11-18.

Apparatus and method for selectively exposing photosensitive materials using a spatial light modulator

Номер патента: US20040145794A1. Автор: Xiang-Dong Mi. Владелец: Eastman Kodak Co. Дата публикации: 2004-07-29.

Exposure apparatus

Номер патента: EP1901336B1. Автор: Masayuki Shiraishi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2012-01-11.

Maskless exposure apparatus and method

Номер патента: US9052599B2. Автор: Sung Min Ahn,Sang Don Jang. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2015-06-09.

Integration of lithography apparatus and mask optimization process with multiple patterning process

Номер патента: US20140365983A1. Автор: HONG Chen,Jun Ye,Luoqi Chen. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2014-12-11.

Integration of lithography apparatus and mask optimization process with multiple patterning process

Номер патента: US8819601B2. Автор: HONG Chen,Jun Ye,Luoqi Chen. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2014-08-26.

Scanning exposure apparatus and method of manufacturing device

Номер патента: US20090147231A1. Автор: Takashi Sukegawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2009-06-11.

Coating/developing apparatus and substrate transfer method

Номер патента: US20080117390A1. Автор: Akira Miyata,Tomohiro Kaneko. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-05-22.

Exposure apparatus and method of manufacturing device

Номер патента: US20080218708A1. Автор: Atsushi Kawahara. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2008-09-11.

Exposure apparatus

Номер патента: EP4443242A1. Автор: Yi Lu,Keqiang Li,Xiaosong Liu,Zhiyang Wu. Владелец: Contemporary Amperex Technology Hong Kong Ltd. Дата публикации: 2024-10-09.

Arrangement apparatus and arrangement method

Номер патента: US12112962B2. Автор: Kohei Seyama. Владелец: Shinkawa Ltd. Дата публикации: 2024-10-08.

Movable body apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method

Номер патента: US09977345B2. Автор: Yasuo Aoki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2018-05-22.

Exposure apparatus and device fabrication method

Номер патента: US09811004B2. Автор: Shinichi Hirano. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2017-11-07.

Exposure apparatus, stage apparatus, and device fabrication method for transferring a pattern of a reticle onto a substrate

Номер патента: US09632432B2. Автор: Takashi Hayakawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2017-04-25.

Exposure apparatus including a mask holding device which holds a periphery area of a pattern area of the mask from above

Номер патента: US09575417B2. Автор: Yuichi Shibazaki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2017-02-21.

Apparatus and method of controlling chuck, and exposure apparatus and control method thereof

Номер патента: US09507272B2. Автор: Sang Don Jang,Tae Kyu Son,Ja Yul KIM. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2016-11-29.

Movable body apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method

Номер патента: US09500963B2. Автор: Yasuo Aoki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2016-11-22.

Exposure apparatus, exposing method, device manufacturing method, program, and recording medium

Номер патента: US09494870B2. Автор: Shinji Sato. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2016-11-15.

Exposure apparatus and device fabrication method

Номер патента: US09454087B2. Автор: Kenichi Kobayashi,Hitoshi Nakano,Takahito Chibana. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2016-09-27.

Exposure method and exposure apparatus

Номер патента: US5573877A. Автор: Takashi Inoue,Hiroyuki Nagano,Yoshimichi Ishii. Владелец: Matsushita Electric Industrial Co Ltd. Дата публикации: 1996-11-12.

Determination method, exposure method, and storage medium

Номер патента: US20120051622A1. Автор: Hiroyuki Ishii,Koji Mikami,Youzou Fukagawa,Yuichi Gyoda. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2012-03-01.

Method and apparatus for projection exposure

Номер патента: JPH10209030A. Автор: Tsuneo Miyai,恒夫 宮井. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 1998-08-07.

Outside exposure method of semiconductor device using mask and exposure apparatus

Номер патента: KR0167241B1. Автор: 예한수. Владелец: 문정환. Дата публикации: 1999-02-01.

Circuit pattern design method,exposure method, charged-particle beam exposure system

Номер патента: US20020010906A1. Автор: Ryoichi Inanami,Shunko Magoshi. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2002-01-24.

Projection exposure apparatus with at least one manipulator

Номер патента: US09846367B2. Автор: Boris Bittner,Norbert Wabra,Martin von Hodenberg. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-12-19.

Projection objective for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09977338B2. Автор: Norbert Wabra,Robert Eder. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2018-05-22.

Projection objective for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09588445B2. Автор: Norbert Wabra,Robert Eder. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-03-07.

Illumination system for an EUV projection lithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09851641B2. Автор: Michael Patra. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-12-26.

Method and device for mask inspection

Номер патента: WO2024132443A1. Автор: Ulrich Matejka,Lutz Brekerbohm. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-06-27.

Mirror, in particular for a microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09810993B2. Автор: Peter Huber. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-11-07.

Microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09535336B2. Автор: Severin Waldis,Florian Bach,Yim-Bun Patrick Kwan,Sascha Bleidistel,Armin Werber,Daniel Benz. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-01-03.

Projection exposure apparatus

Номер патента: US5272501A. Автор: Kenji Nishi,Naomasa Shiraishi,Saburo Kamiya. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 1993-12-21.

Circuit pattern exposure method and mask

Номер патента: US20070160918A1. Автор: Tadao Yasuzato,Nobue Kosa. Владелец: Elpida Memory Inc. Дата публикации: 2007-07-12.

Projection exposure apparatus

Номер патента: US4739373A. Автор: Kenji Nishi,Nobutaka Magome. Владелец: Nippon Kogaku KK. Дата публикации: 1988-04-19.

Projection exposure apparatus

Номер патента: US4814829A. Автор: Akiyoshi Suzuki,Masao Kosugi,Masao Totsuka,Kazuhito Outsuka,Hideki Ina,Fumio Sakai,Shigeki Ogawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 1989-03-21.

Projection exposure apparatus

Номер патента: US4758864A. Автор: Kazumasa Endo,Yasuhisa Matsumoto. Владелец: Nippon Kogaku KK. Дата публикации: 1988-07-19.

Projection exposure apparatus

Номер патента: US5323207A. Автор: Hideki Ina. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 1994-06-21.

Alignment device in an IC projection exposure apparatus

Номер патента: US4390279A. Автор: Kyoichi Suwa. Владелец: Nippon Kogaku KK. Дата публикации: 1983-06-28.

Projection Objective For a Microlithographic Projection Exposure Apparatus

Номер патента: US20080123069A1. Автор: Norbert Wabra,Robert Eder. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2008-05-29.

Projection exposure apparatus

Номер патента: US5365051A. Автор: Hiroyuki Suzuki,Osamu Furukawa. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 1994-11-15.

Illumination optical system, alignment apparatus, and projection exposure apparatus using the same

Номер патента: US5797674A. Автор: Tadashi Nagayama. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 1998-08-25.

Method for operating a projection exposure tool and control apparatus

Номер патента: WO2012031765A2. Автор: Toralf Gruner,Michael Gerhard,Bernd DÖRBRAND. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2012-03-15.

Process for projection exposure of a workpiece with back alignment marks

Номер патента: US5874190A. Автор: Yoneta Tanaka. Владелец: Ushio Denki KK. Дата публикации: 1999-02-23.

Mask blank substrate set and mask blank set

Номер патента: US8318387B2. Автор: Masaru Tanabe. Владелец: Hoya Corp. Дата публикации: 2012-11-27.

Mask blank substrate set and mask blank set

Номер патента: US20110256473A1. Автор: Masaru Tanabe. Владелец: Hoya Corp. Дата публикации: 2011-10-20.

Manufacturing method of mask for electron beam proximity exposure and mask

Номер патента: US20020071994A1. Автор: Nobuo Shimazu,Takao Utsumi. Владелец: LEEPL Corp. Дата публикации: 2002-06-13.

Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US20060279717A1. Автор: Tomohiko Hirano. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2006-12-14.

Movable body apparatus, exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US09594313B2. Автор: Yuichi Shibazaki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2017-03-14.

Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: US09507267B2. Автор: Yuichi Shibazaki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2016-11-29.

Exposure apparatus, surface position control method, exposure method, and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: US10488761B2. Автор: Yoshimitsu Kato. Владелец: Toshiba Memory Corp. Дата публикации: 2019-11-26.

Edge exposure apparatus, edge exposure method and non-transitory computer storage medium

Номер патента: US09810989B2. Автор: Hiroshi Tomita. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-11-07.

Method and apparatus for manipulating and transporting image media

Номер патента: CA1114674A. Автор: Robert M. Landsman. Владелец: Logescan Systems Inc. Дата публикации: 1981-12-22.

Method and apparatus for manipulating and transporting image media

Номер патента: US4262594A. Автор: Robert M. Landsman. Владелец: Logescan Systems Inc. Дата публикации: 1981-04-21.

Method of mask data synthesis and mask making

Номер патента: US20210191254A1. Автор: Hsu-Ting Huang,Ru-Gun Liu,Shih-Hsiang Lo. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-06-24.

Method of mask data synthesis and mask making

Номер патента: US20220373878A1. Автор: Hsu-Ting Huang,Ru-Gun Liu,Shih-Hsiang Lo. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2022-11-24.

Method and apparatus for allowing phase conflicts in phase shifting mask and chromeless phase edges

Номер патента: US20030023401A1. Автор: Hua-yu Liu. Владелец: Numerical Technologies Inc. Дата публикации: 2003-01-30.

Method And Apparatus For Producing Printed-Circuit-Board

Номер патента: US20080002165A1. Автор: Yoshiharu Sasaki. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2008-01-03.

Mask, exposure method and production method of semiconductor device

Номер патента: US7517618B2. Автор: Shigeru Moriya. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2009-04-14.

Method of mask data synthesis and mask making

Номер патента: US11947254B2. Автор: Hsu-Ting Huang,Ru-Gun Liu,Shih-Hsiang Lo. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-04-02.

Wafer edge exposure method, wafer edge exposure device and mask

Номер патента: US20220317582A1. Автор: Chi-Nan Chen. Владелец: Changxin Memory Technologies Inc. Дата публикации: 2022-10-06.

Exposure apparatus and exposing method and method of manufacturing a printed wiring board

Номер патента: US7760328B2. Автор: Hiroshi Oyama,Yoshihide Yamaguchi. Владелец: Hitachi Via Mechanics Ltd. Дата публикации: 2010-07-20.

Pattern selection for full-chip source and mask optimization

Номер патента: US9183324B2. Автор: Hua-yu Liu. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2015-11-10.

Pattern selection for full-chip source and mask optimization

Номер патента: US9934350B2. Автор: Hua-yu Liu. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2018-04-03.

Ion beam apparatus and method of modifying substrate

Номер патента: US4924104A. Автор: Gerhard Stengl,Hans Loschner. Владелец: Oesterreichische Investitionskredit AG. Дата публикации: 1990-05-08.

Manufacturing Method of Transparent Electrode and Mask Thereof

Номер патента: US20140087290A1. Автор: Cheng-Hung Chen,Zui Wang. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2014-03-27.

Exposure apparatus and exposure method

Номер патента: US20190033721A1. Автор: Asahiko Nogami. Владелец: Dexerials Corp. Дата публикации: 2019-01-31.

Method and device for application of nano-pattern on large area

Номер патента: RU2488188C2. Автор: Борис КОБРИН,Игорь ЛАНДАУ,Борис ВОЛЬФ. Владелец: Ролит, Инк.. Дата публикации: 2013-07-20.

Method for controlling the electronic beam exposure of wafers and masks using proximity correction

Номер патента: US20120293787A1. Автор: Reinhard Galler. Владелец: EQUICON SOFTWARE GMBH JENA. Дата публикации: 2012-11-22.

Step-and-repeat alignment and exposure method and apparatus

Номер патента: US4910679A. Автор: Kazuo Takahashi,Masao Kosugi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 1990-03-20.

Measuring method, stage apparatus, and exposure apparatus

Номер патента: US09804506B2. Автор: Dai Arai. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2017-10-31.

Measuring method, stage apparatus, and exposure apparatus

Номер патента: US09372410B2. Автор: Dai Arai. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2016-06-21.

Exposure apparatus, exposure method, and article manufacturing method

Номер патента: US11841614B2. Автор: Kanji Suzuki,Manabu Hakko. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2023-12-12.

Exposure apparatus

Номер патента: EP1930777A3. Автор: Shinichi Egashira. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2012-08-01.

Exposure apparatus, method of controlling the same, and alignment method for exposure

Номер патента: US09437818B2. Автор: Seok-Joo Lee,Jin-Hong Jeun,Jung-Hun Yeon. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2016-09-06.

Method and device for removing developing liquid

Номер патента: US3722994A. Автор: T Saito,H Tanaka,T Takahashi,H Katayama,S Tsukada. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 1973-03-27.

Projection exposure method

Номер патента: US20090244504A1. Автор: Masaki Satake,Kazuya Fukuhara,Yosuke Kitamura,Shoji Mimotogi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2009-10-01.

Microlithographic projection exposure apparatus

Номер патента: US09767068B2. Автор: Christian Kempter. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-09-19.

Exposure apparatus, exposure method, and method for manufacturing semiconductor apparatus

Номер патента: US11747737B2. Автор: Kazuhiro Takahashi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2023-09-05.

Exposure apparatus, exposure method, and method for manufacturing semiconductor apparatus

Номер патента: EP3964894A3. Автор: Kazuhiro Takahashi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2022-07-27.

Exposure apparatus, exposure method, and method for manufacturing semiconductor apparatus

Номер патента: US20220066326A1. Автор: Kazuhiro Takahashi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2022-03-03.

Exposure apparatus, exposure method, and method for manufacturing semiconductor apparatus

Номер патента: EP3964894A2. Автор: Kazuhiro Takahashi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2022-03-09.

Exposure apparatus, exposure method, and manufacturing method for product

Номер патента: US12105430B2. Автор: Yuhei Sumiyoshi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-10-01.

Exposure apparatus, image forming apparatus, exposure apparatus manufacturing method and image forming method

Номер патента: US20080232855A1. Автор: Yoshihiro Yamamoto. Владелец: Fuji Xerox Co Ltd. Дата публикации: 2008-09-25.

Exposure apparatus, image forming apparatus, exposure apparatus manufacturing method and image forming method

Номер патента: US7932918B2. Автор: Yoshihiro Yamamoto. Владелец: Fuji Xerox Co Ltd. Дата публикации: 2011-04-26.

Display device and projection type display device

Номер патента: US11809032B2. Автор: Tadashi Aizawa. Владелец: JVCKenwood Corp. Дата публикации: 2023-11-07.

Display device and projection type display device

Номер патента: US20220334428A1. Автор: Tadashi Aizawa. Владелец: JVCKenwood Corp. Дата публикации: 2022-10-20.

Overhead projection transparency pockets and masks

Номер патента: GB2320585A. Автор: John Bunzl. Владелец: MARTIN BUNZL MARKETING Ltd. Дата публикации: 1998-06-24.

Film mount and mask for a pair of panoramic stereoscopic images

Номер патента: US3723904A. Автор: R Bernier. Владелец: TRW Inc. Дата публикации: 1973-03-27.

Image forming apparatus, exposure apparatus and image forming method

Номер патента: US20080232844A1. Автор: Yukihiro Matsushita,Youji Houki,Yoshihiko Taira. Владелец: Fuji Xerox Co Ltd. Дата публикации: 2008-09-25.

Exposure apparatus, exposure method and device manufacturing method

Номер патента: EP2801864A2. Автор: Yuichi Shibazaki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2014-11-12.

Editing area setting method and editing area setting apparatus in an image forming apparatus

Номер патента: US4914475A. Автор: Masashi Matsumoto,Yoshio Sugishima. Владелец: Mita Industrial Co Ltd. Дата публикации: 1990-04-03.

Exposure apparatus, exposure method, and manufacturing method for product

Номер патента: US11835863B2. Автор: Yuhei Sumiyoshi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2023-12-05.

Exposure apparatus, exposure method, and manufacturing method for product

Номер патента: EP4109179A2. Автор: Yuhei Sumiyoshi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2022-12-28.

Exposure apparatus, exposure method, and manufacturing method for product

Номер патента: US20240077806A1. Автор: Yuhei Sumiyoshi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-03-07.

Exposure apparatus, exposure method, and manufacturing method for semiconductor device

Номер патента: US20230101647A1. Автор: Kazuhiro Takahashi,Rika Hoshino. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2023-03-30.

Exposure apparatus and image-forming apparatus

Номер патента: US20240345501A1. Автор: Yasutomo FURUTA. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-10-17.

Exposure apparatus and image-forming apparatus

Номер патента: US20240337964A1. Автор: Yasutomo FURUTA. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-10-10.

Control method and control system for image scanning, electronic apparatus, and storage medium

Номер патента: US20240148343A1. Автор: Kuo-Yue Liu. Владелец: Shanghai United Imaging Healthcare Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-09.

Method and system enabling co-operating of web apparatus and flash apparatus

Номер патента: CA2773784C. Автор: Bijian Guo,Chaoxing Huang,Xinqi Zhu. Владелец: Tencent Technology Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2015-10-13.

Method and device for combining cell cores, electronic apparatus and storage medium

Номер патента: EP4246763A1. Автор: Li Yu. Владелец: Guangzhou Xiaopeng Motors Technology Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-20.

Data processing method and system for cloud platform, and electronic apparatus and storage medium

Номер патента: US11960506B2. Автор: Lianfa Zhang. Владелец: Suzhou Wave Intelligent Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-16.

Method and system for inventorying items, robot control apparatus and robot

Номер патента: US20240046202A1. Автор: Hongwei Wang,Yami CHEN,Wenming ZHE. Владелец: Beijing Jingdong Qianshi Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-08.

Touch sensing apparatus and touch sensing method

Номер патента: EP4455847A1. Автор: Young Eun Lee,Sang Min Choi,Gyu Min GIL,Nu Ri Kim. Владелец: LX Semicon Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-30.

Load measurement method and apparatus, railcar provided with load measurement apparatus, and load management system

Номер патента: US09476802B2. Автор: Yoshi SATO. Владелец: Kawasaki Jukogyo KK. Дата публикации: 2016-10-25.

Method and Apparatus for Processing Access Request, Storage Apparatus, and Storage Medium

Номер патента: US20240241639A1. Автор: Shuai Wang,Yi Jiang. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-18.

Method and apparatus for processing image, ultrasound diagnosis apparatus, and medical imaging system

Номер патента: US20130070993A1. Автор: Ji-hye Baek. Владелец: Samsung Medison Co Ltd. Дата публикации: 2013-03-21.

An exposure apparatus, apparatus and method for producing a three-dimensional object

Номер патента: DE102015226523A1. Автор: Hannes Horst. Владелец: EOS GmbH. Дата публикации: 2017-06-22.

Method and apparatus for processing image, ultrasound diagnosis apparatus, and medical imaging system

Номер патента: EP2570081B1. Автор: Ji-hye Baek. Владелец: Samsung Medison Co Ltd. Дата публикации: 2015-09-09.

Battery management apparatus and method using non-destructive resistance analysis

Номер патента: US11955828B2. Автор: Young-Deok Kim,Dae-Soo Kim,Su-Won JEE. Владелец: LG Energy Solution Ltd. Дата публикации: 2024-04-09.

Method and device for controlling photographing function, ar apparatus and storage medium

Номер патента: US20240171850A1. Автор: Xiaofeng Guo,Qinghe Yang,Xudong QIU. Владелец: Goertek Inc. Дата публикации: 2024-05-23.

Control method and update method of electronic ink display apparatus, and related devices and system

Номер патента: US20220368143A1. Автор: Xin Li,Xiaohong Wang. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2022-11-17.

METHOD AND DEVICE FOR ENHANCING IMAGE CONTRAST, DISPLAY APPARATUS, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20200043148A1. Автор: YANG Jinglin. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-06.

METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING A HAIR TRIMMING APPARATUS AND HAIR TRIMMING APPARATUS

Номер патента: US20190126500A1. Автор: WU Ke. Владелец: BEIJING XIAOMI MOBILE SOFTWARE CO., LTD.. Дата публикации: 2019-05-02.

POST-PROCESSING METHOD AND DEVICE BASED ON COPYRIGHT REGISTRATION INFORMATION, APPARATUS, AND MEDIUM

Номер патента: US20210182871A1. Автор: Zhang Yan,HUANG Haitao,HUANG Xinjie,WANG Xiaohao. Владелец: . Дата публикации: 2021-06-17.

MOVING METHOD AND DEVICE FOR A ROBOT, ROBOT, ELECTRONIC APPARATUS AND READABLE MEDIUM

Номер патента: US20200147796A1. Автор: LI Lianzhong. Владелец: . Дата публикации: 2020-05-14.

METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING TRAJECTORY, AND METHOD, APPARATUS AND SYSTEM FOR RECOMMENDING TIME

Номер патента: US20210224941A1. Автор: LIU XU,Cheng Ruihua,LIU Renmin. Владелец: . Дата публикации: 2021-07-22.

METHOD AND SYSTEM FOR CHROMATIC GAMUT EXTENSION, CORRESPONDING APPARATUS AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT

Номер патента: US20150221281A1. Автор: Naccari Filippo,BOSCO Angelo,GUARNERA Mirko. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-06.

LOAD MEASUREMENT METHOD AND APPARATUS, RAILCAR PROVIDED WITH LOAD MEASUREMENT APPARATUS, AND LOAD MANAGEMENT SYSTEM

Номер патента: US20150247782A1. Автор: SATO Yoshi. Владелец: . Дата публикации: 2015-09-03.

METHOD AND DEVICE FOR TOUCH SCREEN SENSING, CORRESPONDING APPARATUS AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT

Номер патента: US20160259448A1. Автор: GUARNERI Nunziata Ivana. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-08.

Driving method and driving device for driving a display apparatus, and display apparatus

Номер патента: US20190348005A1. Автор: Yu-Jen Chen. Владелец: Chongqing HKC Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2019-11-14.

Method and device for touch screen sensing, corresponding apparatus and computer program product

Номер патента: CN105938404A. Автор: N·谷亚尔内里. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2016-09-14.

Method and device for controlling database operation, computer apparatus and storage medium

Номер патента: WO2020168755A1. Автор: 帅宇. Владелец: 平安科技(深圳)有限公司. Дата публикации: 2020-08-27.

Apparatus, method and system to control communication between host apparatus and USB apparatus

Номер патента: KR101357162B1. Автор: 임진호,이태헌. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2014-02-04.

Method and system enabling co-operating of web apparatus and flash apparatus

Номер патента: CA2773784A1. Автор: Bijian Guo,Chaoxing Huang,Xinqi Zhu. Владелец: Tencent Technology Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2011-03-24.

Method and apparatus for processing image, ultrasound diagnosis apparatus, and medical imaging system

Номер патента: US9002087B2. Автор: Ji-hye Baek. Владелец: Samsung Medison Co Ltd. Дата публикации: 2015-04-07.

Image printing apparatus, image printing method, and image processing apparatus

Номер патента: US9205689B2. Автор: Takayuki Ushiyama,Hitoshi Tsuboi,Yoshitomo Marumoto. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2015-12-08.

Method and device for determining potentially visible set, apparatus, and storage medium

Номер патента: EP3832605B1. Автор: Haiquan Li,Guixiong LAI. Владелец: Tencent Technology Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-17.

Method and device for determining potentially visible set, apparatus, and storage medium

Номер патента: EP3832605C0. Автор: Haiquan Li,Guixiong LAI. Владелец: Tencent Technology Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-17.

Multi charged particle beam exposure method, and multi charged particle beam exposure apparatus

Номер патента: US20170352520A1. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-12-07.

Method and apparatus for determining fault of heating apparatus, and electric water heater

Номер патента: US20240200831A1. Автор: Qiang Huang,Xing Liu,Ran TAO. Владелец: AO Smith China Water Heater Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-20.

Scheduling Method and Apparatus for MU-MIMO System, Electronic Apparatus and Storage Medium

Номер патента: US20240250785A1. Автор: Kai Li,Gang Liang,Weiqiao WANG,Yanchun BIAN. Владелец: Bti Wireless Ltd. Дата публикации: 2024-07-25.

Method and device for using sidelink bandwidth part, apparatus, and storage medium

Номер патента: EP4044632A1. Автор: QUN ZHAO. Владелец: Beijing Xiaomi Mobile Software Co Ltd. Дата публикации: 2022-08-17.

Method and C-arm system for acquisition of a two-dimensional, X-ray projection image

Номер патента: US09427204B2. Автор: Rainer Graumann. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 2016-08-30.

Projection optical system and projection exposure device which uses same

Номер патента: US6813088B2. Автор: Ryoko Otomo. Владелец: Fuji Photo Optical Co Ltd. Дата публикации: 2004-11-02.

Method and apparatus for generating three-dimensional model, device, and storage medium

Номер патента: CA3114650A1. Автор: Xiaobo ZHAO,Tengfei Jiang. Владелец: Shining3d Tech Co Ltd. Дата публикации: 2020-04-02.

Method and apparatus for generating three-dimensional model, device, and storage medium

Номер патента: AU2019345828B2. Автор: Xiaobo ZHAO,Tengfei Jiang. Владелец: Shining3d Tech Co Ltd. Дата публикации: 2022-10-13.

Method and apparatus for generating three-dimensional model, device, and storage medium

Номер патента: AU2019345828A1. Автор: Xiaobo ZHAO,Tengfei Jiang. Владелец: Shining3d Tech Co Ltd. Дата публикации: 2021-05-13.

Method and apparatus for generating three-dimensional model, device, and storage medium

Номер патента: US11978157B2. Автор: Xiaobo ZHAO,Tengfei Jiang. Владелец: Shining 3D Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-07.

Pixel electrode layer structure of tft-lcd, method for manufacturing the same and mask therefor

Номер патента: US20120092607A1. Автор: Guanbao HUI. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2012-04-19.

Apparatus, method, and computer program for human detection

Номер патента: US12131569B2. Автор: Masayuki Yamazaki. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-10-29.

Mask inspection apparatus and mask inspection method

Номер патента: US20170235031A1. Автор: Kiwamu Takehisa,Hiroki MIYAI. Владелец: Lasertec Corp. Дата публикации: 2017-08-17.

Feature detection and masking in images based on color distributions

Номер патента: US09864901B2. Автор: Jason Chang. Владелец: Google LLC. Дата публикации: 2018-01-09.

Method and apparatus for natural hand visualization

Номер патента: US20190066362A1. Автор: Tal Tamir,Kfir Viente,Itamar Gilad,Alexandra Manevitch,Konstantin Lazarev. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2019-02-28.

Method and apparatus for improved computer load and store operations

Номер патента: US20080040577A1. Автор: Narendra Sankar,Mario Nemirovsky,Enrique Musoll,Stephen Melvin. Владелец: MIPS Technologies Inc. Дата публикации: 2008-02-14.

Method and system of predicting pregnancy outcomes and quality grades in mammalian embryos

Номер патента: US20240331150A1. Автор: Bruno Valente Sanches,Tasha GRUHOT. Владелец: Vytelle Llc. Дата публикации: 2024-10-03.

Method and system of predicting pregnancy outcomes and quality grades in mammalian embryos

Номер патента: WO2024206665A2. Автор: Bruno Valente Sanches,Tasha GRUHOT. Владелец: Vytelle Llc. Дата публикации: 2024-10-03.

Apparatus and method for combining video frame and graphics frame

Номер патента: US09466089B2. Автор: Chung-Yen Lu. Владелец: Aspeed Technology Inc. Дата публикации: 2016-10-11.

Apparatus, method, and non-transitory computer-readable storage medium

Номер патента: US20240144449A1. Автор: Takashi Sasaki. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-05-02.

Methods and modles for identifying breast lesions

Номер патента: US20240242845A1. Автор: Jia-Ching Wang,Yi-Chiung Hsu,Bach-Tung PHAM,Phuong-Thi LE,Po-Sheng YANG. Владелец: MACKAY MEMORIAL HOSPITAL. Дата публикации: 2024-07-18.

Method and device for displaying floating window

Номер патента: US20190025988A1. Автор: Ming Liu,Le Wang,Baolin WANG. Владелец: Beijing Xiaomi Mobile Software Co Ltd. Дата публикации: 2019-01-24.

Method and device for data transmission between register files

Номер патента: US09501278B2. Автор: Hui Ren,Lihuang LI,Chunyu TIAN. Владелец: ZTE Corp. Дата публикации: 2016-11-22.

Prewoven bit-wire memory matrix apparatus and methods of fabrication

Номер патента: GB1079898A. Автор: . Владелец: Bunker Ramo Corp. Дата публикации: 1967-08-16.

Methods and apparatus to generate masked images based on selective privacy and/or location tracking

Номер патента: EP3857436A1. Автор: David Moloney. Владелец: Movidius Ltd Netherland. Дата публикации: 2021-08-04.

Methods and apparatus to generate masked images based on selective privacy and/or location tracking

Номер патента: WO2020064326A1. Автор: David Moloney. Владелец: Movidius Ltd.. Дата публикации: 2020-04-02.

Non-Emulsion Methods And Masked Biomolecules

Номер патента: US20140349887A1. Автор: Steven Gordon,Daniel Stetson. Владелец: Intelligent Bio Systems Inc. Дата публикации: 2014-11-27.

Non-Emulsion Methods and Masked Biomolecules

Номер патента: US20130137606A1. Автор: Steven Gordon,Daniel Stetson. Владелец: Intelligent Bio Systems Inc. Дата публикации: 2013-05-30.

Method and Apparatus for Generating Three-Dimensional Model, Device, and Storage Medium

Номер патента: US20210375043A1. Автор: Xiaobo ZHAO,Tengfei Jiang. Владелец: Shining 3D Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-12-02.

Method and apparatus for generating three-dimensional model, device, and storage medium

Номер патента: CA3114650C. Автор: Xiaobo ZHAO,Tengfei Jiang. Владелец: Shining3d Tech Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-22.

A novel highly-integrated flash memory and mask rom array architecture

Номер патента: WO2004070730A1. Автор: Fu-Chang Hsu,Peter W. Lee. Владелец: APLUS FLASH TECHNOLOGY, INC.. Дата публикации: 2004-08-19.

Image exposure method and device, unmanned aerial vehicle

Номер патента: US12069376B2. Автор: Zhaozao Li. Владелец: Autel Robotics Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-20.

Shipbuilding station of pulse and masking interference

Номер патента: RU2673251C1. Автор: Игорь Георгиевич Дорух. Владелец: Игорь Георгиевич Дорух. Дата публикации: 2018-11-23.

Method And Systems for Dynamic Spectrum Sharing With A Spectrum Management Firewall

Номер патента: US20240195786A1. Автор: John Arpee. Владелец: Rivada Networks LLC. Дата публикации: 2024-06-13.

Scan register and flip-flop alternately receiving SDI and mask data

Номер патента: US8522098B2. Автор: Lee D. Whetsel. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2013-08-27.

Capability exposure method and device

Номер патента: EP3866385A1. Автор: Xinmiao Chang,Xiaona Zhao,Sishan WANG. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2021-08-18.

Exposure apparatus and exposure method using the same

Номер патента: US09733523B2. Автор: Tae-Jin Kim,Min-Soo Kim,Yeon-Jae LEE,Hee-Chang YANG,Eun-Ho JUNG. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-08-15.

Display driving apparatus and method for driving display panel

Номер патента: US20130176197A1. Автор: Jen-Chieh Hu. Владелец: NOVATEK MICROELECTRONICS CORP. Дата публикации: 2013-07-11.

Systems, methods and computer program products for automatically extracting information from a flowchart image

Номер патента: US20210365679A1. Автор: Kaushik Raha,Atul KAKRANA. Владелец: Elsevier Inc. Дата публикации: 2021-11-25.

Transparent Image Processing Method and System

Номер патента: US20080024810A1. Автор: Raymond Edward Clark,Robert Lawrence Cook,Ning Ren,Martin Geoffrey Rivers. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-01-31.

Method and apparatus for detecting near-field object, and medium and electronic device

Номер патента: EP4274215A1. Автор: Yang Yu,Zhen Wu. Владелец: Beijing Roborock Innovation Technology Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-08.

Method and apparatus for detecting near-field object, and medium and electronic device

Номер патента: US20240071023A1. Автор: Yang Yu,Zhen Wu. Владелец: Beijing Roborock Innovation Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-29.

Method and device for controlling laundry treatment device, and laundry treatment device and medium

Номер патента: EP3964622A1. Автор: Jianjun Yao. Владелец: Wuxi Little Swan Electric Co Ltd. Дата публикации: 2022-03-09.

Power conservation method and device, terminal, access network apparatus, and readable storage medium

Номер патента: EP4007376A1. Автор: Yanhua Li. Владелец: Beijing Xiaomi Mobile Software Co Ltd. Дата публикации: 2022-06-01.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE METHOD AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE APPARATUS

Номер патента: US20180166254A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2018-06-14.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE METHOD, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE APPARATUS

Номер патента: US20170352520A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2017-12-07.

Relay apparatus and method of controlling relay apparatus

Номер патента: US09859969B2. Автор: Nobuhiko Arashin,Akira Yamasaki. Владелец: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd. Дата публикации: 2018-01-02.

Document conveying method and apparatus

Номер патента: CA1256466A. Автор: Callie R. Thompson. Владелец: Bell and Howell Co. Дата публикации: 1989-06-27.

Document conveying method and apparatus

Номер патента: CA1242466A. Автор: Callie R. Thompson,Marvin B. Clause, Jr.. Владелец: Bell and Howell Co. Дата публикации: 1988-09-27.

Method and apparatus for epitaxial solidification

Номер патента: CA1142839A. Автор: Bruce E. Terkelsen. Владелец: United Technologies Corp. Дата публикации: 1983-03-15.

Mold method and apparatus for multi-color plastic shells

Номер патента: CA1234470A. Автор: John D Gray. Владелец: Ex-Cell-O Corp. Дата публикации: 1988-03-29.

Apparatus and method for pouch molding

Номер патента: EP4316776A1. Автор: Chung Hee Lee,Dong Hyeuk PARK,Yong Nam Kim,Beom Su KIM. Владелец: LG Energy Solution Ltd. Дата публикации: 2024-02-07.

Method and apparatus for image formation, capturing apparatus and electronic device

Номер патента: WO2019183833A1. Автор: Xiaobo Wang,Guangyu Wang. Владелец: Sony Mobile Communications (China) Co., Ltd. Дата публикации: 2019-10-03.

Intelligent error checking method and mechanism

Номер патента: US20060005108A1. Автор: Tzueng-Yau Lin. Владелец: MediaTek Inc. Дата публикации: 2006-01-05.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20230392262A1. Автор: Tae-Kwang Kim. Владелец: Tes Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-07.

Heating method and device for atomizer, computer apparatus, and storage medium

Номер патента: EP4079175A1. Автор: Weiming FANG,Changwen Sun. Владелец: Shenzhen Smoore Technology Ltd. Дата публикации: 2022-10-26.

Method and device for charging terminal apparatus, terminal apparatus and storage medium

Номер патента: US20240146087A1. Автор: Min Li. Владелец: Beijing Xiaomi Mobile Software Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-02.

Method and device for charging terminal apparatus, terminal apparatus and storage medium

Номер патента: EP4362268A1. Автор: Min Li. Владелец: Beijing Xiaomi Mobile Software Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-01.

METHOD AND DEVICE FOR GENERATING VIDEO FILE, COMPUTER APPARATUS, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20220286218A1. Автор: Pandya Chintan. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-08.

METHOD AND APPARATUS FOR CONSTRUCTING CODEBOOK, AND METHOD, APPARATUS AND SYSTEM FOR PRECODING

Номер патента: US20140241452A1. Автор: Li Dong,Yang Hongwei,Wu Keying. Владелец: ALCATEL LUCENT. Дата публикации: 2014-08-28.

METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING AN ELECTROSURGICAL HF APPARATUS AND HF APPARATUS

Номер патента: US20160220299A1. Автор: Keller Anton,Eick Stefan,Maser Thomas,Reichle Heiko. Владелец: . Дата публикации: 2016-08-04.

METHOD AND SYSTEM FOR ENCODING DIGITAL IMAGES, CORRESPONDING APPARATUS AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT

Номер патента: US20150264357A1. Автор: ALFONSO Daniele. Владелец: . Дата публикации: 2015-09-17.

Method and device for transmitting reference signal, network apparatus and user equipment unit

Номер патента: EP3457612A1. Автор: Ting Wang,Yuanjie Li. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2019-03-20.

Method and apparatus for constructing codebook, and method, apparatus and system for precoding

Номер патента: US9124322B2. Автор: Dong Li,Hongwei Yang,Keying Wu. Владелец: Alcatel Lucent SAS. Дата публикации: 2015-09-01.

Method and system for an integrated air filtering apparatus and thermal solar system using aspect ratio

Номер патента: US8273157B1. Автор: John James Dyreby. Владелец: PVT Solar Inc. Дата публикации: 2012-09-25.

Method and device for processing data request, computer apparatus, and storage medium

Номер патента: WO2019095577A1. Автор: 兰东平. Владелец: 平安科技(深圳)有限公司. Дата публикации: 2019-05-23.

Method and apparatus for producing mixed gas, and apparatus and method for producing epoxy compound

Номер патента: US20100204494A1. Автор: Ryo Hatano. Владелец: Sumitomo Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2010-08-12.

Method and device for establishing service path, electronic apparatus, and readable storage medium

Номер патента: WO2021052364A1. Автор: 韩玉芳,喻敬海. Владелец: 中兴通讯股份有限公司. Дата публикации: 2021-03-25.

Preliminary forming apparatus, preliminary forming method and main forming method that use the apparatus, and film with picture

Номер патента: HK1087062A1. Автор: Kunio Imai. Владелец: Kunio Imai. Дата публикации: 2006-10-06.

Method and device for establishing service path, electronic apparatus, and readable storage medium

Номер патента: EP4033703A4. Автор: Jinghai YU,Yufang HAN. Владелец: ZTE Corp. Дата публикации: 2023-10-18.

Charged-particle-beam projection-exposure method exhibiting aberration reduction through multiple deflector use

Номер патента: US6027841A. Автор: Shohei Suzuki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2000-02-22.

Plating method and apparatus, and strip obtained by this method

Номер патента: WO2012085682A8. Автор: Damien COMTE. Владелец: FCI. Дата публикации: 2014-01-03.

Tile design erosion method and apparatus

Номер патента: US11701753B2. Автор: Bruce Lonnecker. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-07-18.

Semiconductor apparatus and method for manufacturing the same

Номер патента: US7833841B2. Автор: Isao Sakama,Hidehiko Kando. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2010-11-16.

Semiconductor apparatus and method for manufacturing the same

Номер патента: US20090159881A1. Автор: Isao Sakama,Hidehiko Kando. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2009-06-25.

Microball mounting method and mounting device

Номер патента: WO2008076955A3. Автор: Masakazu Hakuno. Владелец: Masakazu Hakuno. Дата публикации: 2008-08-28.

Mask cleaning apparatus and mask cleaning method

Номер патента: US09636718B2. Автор: Peng Zhang,Kelvin CHIANG. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2017-05-02.

Error rate measurement apparatus and error rate measurement method

Номер патента: US20240322953A1. Автор: Hisao Kidokoro. Владелец: Anritsu Corp. Дата публикации: 2024-09-26.

Image frames multiplexing method and system

Номер патента: EP2946551A1. Автор: Steven Charles Read,Matthew O'dor,Weining Tan. Владелец: Imax Corp. Дата публикации: 2015-11-25.

High volume crystal plating apparatus and method

Номер патента: WO1988009223A1. Автор: Alan S. Kaplan,Samuel E. Robertson,Alfred E. Maskrey,Augustino Matteo, Jr.. Владелец: Emkay Manufacturing Company. Дата публикации: 1988-12-01.

Nebulizer device and mask of inhalation solution

Номер патента: RU2671075C2. Автор: Георг НАОУМ. Владелец: Георг НАОУМ. Дата публикации: 2018-10-29.

Mask package and mask carrying system

Номер патента: US20240294321A1. Автор: Cheng-Wei Lin. Владелец: Darwin Precisions Corp. Дата публикации: 2024-09-05.

Communication device integrally formed with antenna and mask

Номер патента: US09455490B2. Автор: Ching-Lin Chu,Chung-Yen Hsiao,Yuan-Heng Huang. Владелец: Sercomm Corp. Дата публикации: 2016-09-27.

Semiconductor structure formation method and mask

Номер патента: US11810787B2. Автор: JISONG Jin. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2023-11-07.

Image recording method and image recording apparatus

Номер патента: US20070273722A1. Автор: Katsuto Sumi,Issei Suzuki. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2007-11-29.

Powder feeding apparatus with a filling shoe and mask

Номер патента: CA2421604C. Автор: Michael Thomas Silbermann. Владелец: DORST Technologies GmbH and Co KG. Дата публикации: 2007-04-24.

Combined hand fan and mask

Номер патента: CA3080207A1. Автор: Carrie L. Drake. Владелец: Individual. Дата публикации: 2021-11-04.

High-dynamic-range image automatic exposure method and unmanned aerial vehicle

Номер патента: US12126914B2. Автор: Zhaozao Li. Владелец: Autel Robotics Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-22.

Safety Garment And Mask Assembly

Номер патента: US20230380519A1. Автор: Brenton Iverson. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-11-30.

Display panel, display apparatus and mask

Номер патента: US20220293696A1. Автор: Yu Xin,Yuantao WU. Владелец: Wuhan Tianma Microelectronics Co Ltd. Дата публикации: 2022-09-15.

Method for Detecting and Masking Bad Frames in Coded Speech Signals

Номер патента: CA2090284A1. Автор: Huan-Yu Su. Владелец: Northern Telecom Ltd. Дата публикации: 1993-12-27.

Methods for selecting binders by phage display and masked selection

Номер патента: US09605257B2. Автор: Daniel Baty,Patrick Chames. Владелец: Institut Jean Paoli and Irene Calmettes. Дата публикации: 2017-03-28.

Apparatus and method for imaging an eye

Номер патента: US09521950B2. Автор: Steven Roger Verdooner. Владелец: Neurovision Imaging Inc. Дата публикации: 2016-12-20.

Substrate and mask aligning apparatus

Номер патента: US20090030640A1. Автор: Hideaki Sakaguchi,Yukiharu Takeuchi. Владелец: Shinko Electric Industries Co Ltd. Дата публикации: 2009-01-29.

Substrate and mask aligning apparatus

Номер патента: EP2019545A3. Автор: Hideaki Sakaguchi,Yukiharu Takeuchi. Владелец: Shinko Electric Industries Co Ltd. Дата публикации: 2009-12-16.

Substrate and mask aligning apparatus

Номер патента: US7788061B2. Автор: Hideaki Sakaguchi,Yukiharu Takeuchi. Владелец: Shinko Electric Industries Co Ltd. Дата публикации: 2010-08-31.

Photographing exposure method and apparatus for self-walking device

Номер патента: US20240314445A1. Автор: Zhen Wu,Jiabo Chen. Владелец: Beijing Roborock Innovation Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-19.

Exposure apparatus and exposure method

Номер патента: US09859099B2. Автор: Akio Yamada,Masahiro Seyama,Hideki Nasuno. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2018-01-02.

Photographing exposure method and apparatus for self-walking device

Номер патента: EP4297395A1. Автор: Yang Yu,Zhen Wu,Jiabo Chen. Владелец: Beijing Roborock Innovation Technology Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-27.

Method for detecting and masking bad frames in coded speech signals

Номер патента: CA2090284C. Автор: Huan-Yu Su. Владелец: Northern Telecom Ltd. Дата публикации: 1998-07-07.

Display substrate, manufacturing method, display apparatus and mask

Номер патента: US20230354668A1. Автор: Lujiang Huangfu,Shanshan BAI,Yansong Li. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-02.

Virtual visualization, occupant supports, vortex fire, and masks for viral control

Номер патента: EP4208389A1. Автор: Arjuna Indraeswaran Rajasinham. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-07-12.

Method and apparatus for use of associated memory with large key spaces

Номер патента: US5860136A. Автор: Peter R. Fenner. Владелец: Fenner; Peter R.. Дата публикации: 1999-01-12.

Exposure method and apparatus for picture tube

Номер патента: US6091191A. Автор: Masaru Togawa. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2000-07-18.

Camera system, control method thereof, device manufacturing apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method

Номер патента: US7154537B2. Автор: Hiroshi Tanaka. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2006-12-26.

Image exposure apparatus

Номер патента: US20030234853A1. Автор: Yusuke Kimura. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2003-12-25.

Charged-particle beam exposure apparatus and method of manufacturing article

Номер патента: US20120126136A1. Автор: Hirohito Ito. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2012-05-24.

Magnetic shunt assembly for an exposure apparatus

Номер патента: US20030102438A1. Автор: Michael Sogard. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2003-06-05.

Method and device for projection exposure

Номер патента: JPH113856A. Автор: Hideo Haneda,英夫 羽田. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 1999-01-06.

RGBW DISPLAY APPARATUS AND CONTROL METHOD THEREOF

Номер патента: US20120001947A1. Автор: Cheng Sheng-Wen,CHU-KE Hui. Владелец: AU OPTRONICS CORP.. Дата публикации: 2012-01-05.

IMAGE RECORDING APPARATUS AND IMAGE RECORDING METHOD

Номер патента: US20120002078A1. Автор: NAKAMURA Satoshi,Watanabe Mikio. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Ultrasonic diagnosis apparatus and ultrasonic diagnosis method

Номер патента: US20120004550A1. Автор: KATSUYAMA Kimito. Владелец: FUJIFILM Corporation. Дата публикации: 2012-01-05.

Ultrasonic diagnosis apparatus and ultrasonic diagnosis method

Номер патента: US20120004551A1. Автор: KATSUYAMA Kimito. Владелец: FUJIFILM Corporation. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD AND APPARATUS FOR CONTROL BATTERY AND SPECIFICATION DETERMINING METHOD OF BATTERY

Номер патента: US20120004787A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Calculation method, adjustment method, exposure method, image forming state adjustment system, and exposure apparatus

Номер патента: JP4793683B2. Автор: 裕二 芝,太郎 尾形. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2011-10-12.

METHOD AND APPARATUS FOR CONSTRUCTING CODEBOOK, AND METHOD, APPARATUS AND SYSTEM FOR PRECODING

Номер патента: US20120147992A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-06-14.

METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING IMAGE, ULTRASOUND DIAGNOSIS APPARATUS, AND MEDICAL IMAGING SYSTEM

Номер патента: US20130070993A1. Автор: Baek Ji-Hye. Владелец: . Дата публикации: 2013-03-21.

Method and device for switching on x-ray apparatus and the like receivers

Номер патента: SU58244A1. Автор: В.А. Петров. Владелец: В.А. Петров. Дата публикации: 1939-11-30.

Method and device for connecting water surface floating apparatus and ship

Номер патента: CN101837821B. Автор: 侯解民,门洪林,门慧. Владелец: Individual. Дата публикации: 2013-04-17.

MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS

Номер патента: US20120002185A1. Автор: . Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2012-01-05.

ILLUMINATION SYSTEM OF A MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS

Номер патента: US20120002184A1. Автор: . Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2012-01-05.

LOCAL EXPOSURE APPARATUS, LOCAL EXPOSURE METHOD AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20120002183A1. Автор: Tanaka Shigeki,Matsumura Yuki,Ota Yoshiharu,MORIYAMA Shigeru. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-01-05.

PROJECTION OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE APPARATUS, AND EXPOSURE METHOD

Номер патента: US20120002186A1. Автор: Omura Yasuhiro,Okada Takaya,Nagasaka Hiroyuki. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

APPARATUS AND METHODS FOR ADMINISTRATION OF POSITIVE AIRWAY PRESSURE THERAPIES

Номер патента: US20120000463A1. Автор: Bordewick Steven S.,Bowman Bruce,Baser Joseph A.. Владелец: SOMNETICS GLOBAL PTE. LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

Improvements relating to Gauges and Masks for use in Photographic Printing.

Номер патента: GB190413774A. Автор: Frederick Charles White. Владелец: Individual. Дата публикации: 1904-08-25.

METHOD AND DEVICE FOR DRYING A FIBROUS WEB

Номер патента: US20120000089A1. Автор: Boechat Joao V.,Scherb Thomas. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Method and Device for Drying Goods

Номер патента: US20120000090A1. Автор: Mühlherr Christian,Lieberherr Kurt. Владелец: Buhler AG. Дата публикации: 2012-01-05.

ADVERTISING APPARATUS AND METHOD

Номер патента: US20120000102A1. Автор: Bruce Shad E.. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Method and apparatus for solar-greenhouse production and harvesting of micro-algae

Номер патента: US20120000126A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD AND APPARATUS FOR DISPENSING MOIST SMOKELESS TOBACCO

Номер патента: US20120000165A1. Автор: Williams Dwight D.. Владелец: ALTRIA CLIENT SERVICES, INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

Method and Device for Manufacturing a Three-Layer Cord of the Type Rubberized in Situ

Номер патента: US20120000174A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD AND SYSTEM FOR THE CONTINUOUS OR SEMI-CONTINUOUS PRODUCTION OF FLAVORED ICE

Номер патента: US20120000206A1. Автор: Erbs Daryl G.,Pierskalla Cary J.,Myers John P.. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

APPARATUS AND METHOD FOR DISPENSING ICE FROM A BOTTOM MOUNT REFRIGERATOR

Номер патента: US20120000234A1. Автор: . Владелец: MAYTAG CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

Method and apparatus for reducing tin oxide in float glass production

Номер патента: US20120000248A1. Автор: Nelson Douglas M.. Владелец: Pilkington Group Limited. Дата публикации: 2012-01-05.

Method and device for providing blood constituents

Номер патента: US20120000299A1. Автор: . Владелец: ROCHE DIAGNOSTICS OPERATIONS, INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

Method and Device for Controlling Vibrations of a Metallurgical Vessel

Номер патента: US20120000315A1. Автор: Fleischanderl Alexander,Hiebler Martin,Staudinger Guenther,Wimmer Peter. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

APPARATUSES AND METHODS FOR CUTTING POROUS SUBSTRATES

Номер патента: US20120000330A1. Автор: Griffin Weston Blaine. Владелец: GENERAL ELECTRIC COMPANY. Дата публикации: 2012-01-05.

Apparatus and Method for Biogas Purification

Номер патента: US20120000357A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

SPINDLE MOTOR TRAY ADHESIVE DISPENSING METHOD AND SUPPLEMENTARY APPARATUS

Номер патента: US20120000418A1. Автор: Huang David. Владелец: TRICORE CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

Method and Control Apparatus for Controlling a High-Pressure Fuel Supply Pump

Номер патента: US20120000445A1. Автор: Tokuo Kenichiro,Watanabe Masanori,BORG Jonathan. Владелец: Hitachi, Ltd.. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD AND SYSTEM FOR FORMING A PHOTOVOLTAIC CELL AND A PHOTOVOLTAIC CELL

Номер патента: US20120000529A1. Автор: . Владелец: PRIMESTAR SOLAR. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD AND DEVICE FOR ACTIVELY SUPPRESSING PRESSURE OSCILLATIONS IN A HYDRAULIC SYSTEM

Номер патента: US20120000543A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

PAPER MACHINE BELT CONDITIONING SYSTEM, APPARATUS AND METHOD

Номер патента: US20120000622A1. Автор: WEINSTEIN David I.,Perry Peter E.,Rivard James P.,Cirocki Pawel. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHODS AND APPARATUS FOR IMPROVED CEMENT PLUG PLACEMENT

Номер патента: US20120000650A1. Автор: Rondeau Joel,Daccord Gerard,Samuel Mathew,Montgomery Michael,James Simon,Piot Bernard,Rolovic Radovan. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

HIGH SOLIDS CONTENT SLURRY METHODS AND SYSTEMS

Номер патента: US20120000653A1. Автор: . Владелец: SCHLUMBERGER TECHNOLOGY CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

Method and arrangement for sealing a subsea oil wellhead

Номер патента: US20120000666A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Motorized Litter Transport Kits, Methods and Devices Relating Thereto

Номер патента: US20120000718A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Method and an Apparatus for Grouping Discrete Laminar Articles Into Batches of Predetermined Count

Номер патента: US20120000748A1. Автор: Chauhan Vijay. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHODS AND APPARATUS OF ARC PREVENTION DURING RF SPUTTERING OF A THIN FILM ON A SUBSTRATE

Номер патента: US20120000767A1. Автор: Halloran Sean Timothy. Владелец: PRIMESTAR SOLAR, INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

POWER SUPPLY FOR ANODIZING, ANODIZING METHOD, AND ANODIZED FILM

Номер патента: US20120000784A1. Автор: . Владелец: KOST CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

PLASMA-ARC-THROUGH APPARATUS AND PROCESS FOR SUBMERGED ELECTRIC ARCS

Номер патента: US20120000787A1. Автор: . Владелец: MAGNEGAS CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

METHODS AND SYSTEMS FOR HOLDING SURGICAL INSTRUMENT COUNT SHEETS

Номер патента: US20120000804A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Method and Composition for Environmental Clean Up

Номер патента: US20120000856A1. Автор: Yancy Donald Lane. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

APPARATUS AND METHOD FOR DISINFECTING WATER

Номер патента: US20120000862A1. Автор: Belluati Mario,Colombi Giorgio,Danesi Enrico,Donnini Nicola,Petrucci Giuseppe,Rosellini Massimiliano,Giuseppina Peri. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

MANURE SEPARATION FOR DIGESTER METHOD AND APPARATUS

Номер патента: US20120000863A9. Автор: DeWaard David C.. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHODS AND APPARATUS FOR RADIO FREQUENCY (RF) PLASMA PROCESSING

Номер патента: US20120000888A1. Автор: . Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-01-05.

METHODS AND APPARATUS FOR APPLYING METALLIC CLADDING TO INTERIOR SURFACES OF PIPE ELBOWS

Номер патента: US20120000966A1. Автор: GREENWALL Norman Alexander. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

APPARATUS AND METHODS FOR USE IN FLASH DETECTION

Номер патента: US20120001071A1. Автор: SNIDER Robin Terry,MCGEE Jeffrey Dykes,PERRY Michael Dale. Владелец: General Atomics. Дата публикации: 2012-01-05.

APPARATUS AND METHOD FOR EXTRACTION OR ADDITION OF SUBSTANCES FROM OR TO A BODY OF LIQUID

Номер патента: US20120001112A1. Автор: Alkemade Patrick William,Shellcot Brent. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Polishing method, polishing apparatus and GaN wafer

Номер патента: US20120001193A1. Автор: YAMAUCHI Kazuto,Sano Yasuhisa,MURATA Junji,YAGI Keita,Sadakuni Shun. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD AND SYSTEM FOR ALIGNMENT OF INTEGRATED CIRCUITS

Номер патента: US20120001340A1. Автор: . Владелец: GENERAL ELECTRIC COMPANY. Дата публикации: 2012-01-05.

SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE METHOD AND SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20120001344A1. Автор: IDANI Naoki,TAKESAKO Satoshi. Владелец: FUJITSU SEMICONDUCTOR LIMITED. Дата публикации: 2012-01-05.

IMAGE FORMING APPARATUS, SHEET FEED CONTROL METHOD, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20120001377A1. Автор: Miyahara Nobuaki. Владелец: CANON KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD AND APPARATUS FOR ENERGY GENERATION

Номер патента: US20120001431A1. Автор: SMITH George. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD AND APPARATUS FOR GENERATION OF FREE-SURFACE WAVES USING CAVITY RESONATOR

Номер патента: US20120001434A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

MANUFACTURING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD FOR SPARK PLUGS

Номер патента: US20120001532A1. Автор: Kyuno Jiro,Kure Keisuke. Владелец: NGK SPARK PLUG CO., LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

TUNABLE WHITE COLOR METHODS AND USES THEREOF

Номер патента: US20120001555A1. Автор: Leung Wa-Hing,Tu Qifei. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

POWER SUPPLY APPARATUS, POWER SUPPLY SYSTEM, CONTROL METHOD, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20120001591A1. Автор: Fukaya Yudai. Владелец: CANON KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2012-01-05.

POWER SUPPLY APPARATUS, POWER SUPPLY SYSTEM, CONTROL METHOD, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20120001592A1. Автор: . Владелец: CANON KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2012-01-05.

Method and Circuitry to Recover Energy from Discharge Signals of a Charging Operation of a Battery/Cell

Номер патента: US20120001594A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD AND SYSTEM FOR CHARGING MULTI-CELL LITHIUM-BASED BATTERIES

Номер патента: US20120001596A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

HARD PARTICLE CONCENTRATION DETECTING METHOD, PARTICLE CONCENTRATION DETECTING METHOD, AND DEVICE THEREFOR

Номер патента: US20120001619A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Method And Apparatus For Measuring The Thickness Of A Metal Layer Provided On A Metal Object

Номер патента: US20120001624A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Method and apparatus for obtaining spatial information and measuring the dielectric constant of an object

Номер патента: US20120001628A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

MAGNETIC RESONANCE IMAGING APPARATUS AND MAGNETIC RESONANCE IMAGING METHOD OF CONTROLLING IMAGE CONTRAST

Номер патента: US20120001632A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

MAGNETIC RESONANCE IMAGING APPARATUS AND MAGNETIC RESONANCE IMAGING METHOD

Номер патента: US20120001635A1. Автор: Ookawa Masashi. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHODS AND APPARATUS FOR TESTING ISFET ARRAYS

Номер патента: US20120001646A1. Автор: . Владелец: LIFE TECHNOLOGIES CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

APPARATUSES AND METHODS TO REDUCE POWER CONSUMPTION IN DIGITAL CIRCUITS

Номер патента: US20120001682A1. Автор: VENKATA HARISH N.. Владелец: MICRON TECHNOLOGY, INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

INFORMATION PROCESSING APPARATUS, INFORMATION PROCESSING METHOD, AND PROGRAM

Номер патента: US20120001733A1. Автор: Kousaka Satoshi,Abeno Takashi. Владелец: SONY CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

Method and apparatus for efficiently querying and identifying multiple items on a communication channel

Номер патента: US20120001736A1. Автор: Hulvey Robert. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Method and Apparatus for Generating Mood-Based Haptic Feedback

Номер патента: US20120001749A1. Автор: . Владелец: IMMERSION CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

SYSTEM, METHOD, AND APPARATUS FOR TRIGGERING AN ALARM

Номер патента: US20120001756A1. Автор: Eckert Lee H.,MERCIER MICHAEL,SHAFER Gary Mark. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHODS AND SYSTEMS TO SIMPLIFY POPULATION OF MODULAR COMPONENTS IN AN INFORMATION HANDLING SYSTEM

Номер патента: US20120001763A1. Автор: Billick Stephen,Bassman Robert. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Method and Device for Determining Aspect Angle Progression

Номер патента: US20120001796A1. Автор: Berens Patrick,Holzner Juergen,Gebhardt Ulrich. Владелец: EADS DEUTSCHLAND GmbH. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD AND DEVICE FOR CALIBRATING AN ARRAY ANTENNA

Номер патента: US20120001810A1. Автор: Soualle Francis,Wolf Helmut. Владелец: Astrium GmbH. Дата публикации: 2012-01-05.

Method and Apparatus for Implementing a Multiple Display Mode

Номер патента: US20120001829A1. Автор: JUNG Younghee,Anttila Akseli,Tanaka Yumiko. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

INFORMATION PROCESSOR, INFORMATION PROCESSING METHOD, AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT

Номер патента: US20120001858A1. Автор: Matsuda Kyohei,Suda Yukihiro,NAGAO Yoji. Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD AND APPARATUS FOR CALCULATING A POWER CONSUMPTION SEGMENT AND DISPLAYING A POWER CONSUMPTION INDICATOR

Номер патента: US20120001883A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

GAME MACHINE, DISPLAY CONTROL METHOD, AND DISPLAY CONTROL PROGRAM

Номер патента: US20120001900A1. Автор: MICHIGUCHI Takuro. Владелец: Kyoraku Industrial Co., Ltd.. Дата публикации: 2012-01-05.

APPARATUS AND METHOD FOR PROVIDING 3D AUGMENTED REALITY

Номер патента: US20120001901A1. Автор: PARK Sun-Hyung. Владелец: Pantech Co., Ltd.. Дата публикации: 2012-01-05.

METHODS AND SYSTEMS FOR 3D ANIMATION

Номер патента: US20120001906A1. Автор: Wilkinson James. Владелец: BLUE SKY STUDIOS, INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

METHODS AND SYSTEMS FOR 3D ANIMATION

Номер патента: US20120001907A1. Автор: Wilkinson James. Владелец: BLUE SKY STUDIOS, INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD AND DEVICE FOR FORMING SURFACE PROCESSED DATA

Номер патента: US20120001908A1. Автор: Takahashi Kenji,Kikuta Mamoru,Miura Kenjiro,Uzuyama Daijiro. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

INTEGRATED GRAPHICS PROCESSOR DATA COPY ELIMINATION METHOD AND APPARATUS WHEN USING SYSTEM MEMORY

Номер патента: US20120001927A1. Автор: . Владелец: Advanced Micro Devices, Inc.. Дата публикации: 2012-01-05.

Method and system for identifying and defining geofences

Номер патента: US20120001928A1. Автор: Sheha Michael A.,Sheha Angie. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

INFORMATION PROCESSING SYSTEM, INFORMATION PROCESSING APPARATUS, AND INFORMATION PROCESSING METHOD

Номер патента: US20120001937A1. Автор: . Владелец: CANON KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2012-01-05.

METHODS, APPARATUSES AND COMPUTER PROGRAM PRODUCTS FOR PROVIDING A CONSTANT LEVEL OF INFORMATION IN AUGMENTED REALITY

Номер патента: US20120001938A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHODS, APPARATUSES AND COMPUTER PROGRAM PRODUCTS FOR AUTOMATICALLY GENERATING SUGGESTED INFORMATION LAYERS IN AUGMENTED REALITY

Номер патента: US20120001939A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Image display and storage apparatus, method and medium

Номер патента: US20120001941A1. Автор: . Владелец: SAMSUNG ELECTRONIC CO., LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

Brightness Controller, Brightness Control Method, and Computer Program Product

Номер патента: US20120001949A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD AND APPARATUS FOR ENCODING/DECODING VIDEO DATA TO IMPLEMENT LOCAL THREE-DIMENSIONAL VIDEO

Номер патента: US20120002006A1. Автор: . Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

VIDEO SIGNAL PROCESSING APPARATUS AND VIDEO SIGNAL PROCESSING METHOD

Номер патента: US20120002009A1. Автор: . Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2012-01-05.

MULTIPLE VIEWPOINT IMAGING CONTROL DEVICE, MULTIPLE VIEWPOINT IMAGING CONTROL METHOD AND CONPUTER READABLE MEDIUM

Номер патента: US20120002019A1. Автор: Hashimoto Takashi. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

IMAGE DISPLAY APPARATUS, IMAGE DISPLAY METHOD, AND COMPUTER PROGRAM

Номер патента: US20120002026A1. Автор: . Владелец: OLYMPUS CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

IMAGE PROCESSING APPARATUS AND METHOD

Номер патента: US20120002071A1. Автор: Nishiyama Tomohiro. Владелец: CANON KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2012-01-05.

IMAGING APPARATUS, IMAGE EDITING METHOD AND PROGRAM

Номер патента: US20120002072A1. Автор: OGAWA Katsunori. Владелец: SONY CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

IMAGE PROCESSING APPARATUS, SIGNAL PROCESSING APPARATUS, AND PROGRAM

Номер патента: US20120002074A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

IMAGING CONTROL APPARATUS, IMAGING CONTROL METHOD, AND PROGRAM

Номер патента: US20120002075A1. Автор: Shiga Akira,Yoshizumi Shingo,Kirisawa Tsukasa. Владелец: SONY CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

METHODS AND APPARATUS FOR PROVIDING PORTABLE PHOTOGRAPHIC IMAGES

Номер патента: US20120002095A1. Автор: Lehrman Mikel A.. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

IMAGE DISPLAY DEVICE, IMAGE DISPLAY METHOD, AND PROGRAM

Номер патента: US20120002106A1. Автор: INOUE Yasuo,Mori Hideto. Владелец: SONY CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD AND SYSTEM FOR REPAIRING FLAT PANEL DISPLAY

Номер патента: US20120002155A1. Автор: . Владелец: INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE. Дата публикации: 2012-01-05.

Method and Apparatus Using Volume Holographic Wavelength Blockers

Номер патента: US20120002197A1. Автор: MOSER Christophe,HAVERMEYER Frank. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

PRINT SHOP MANAGEMENT METHOD AND PROGRAM FOR PRINTING MIXED COLOR AND BLACK AND WHITE DOCUMENTS

Номер патента: US20120002219A1. Автор: . Владелец: KONICA MINOLTA SYSTEMS LABORATORY, INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD AND PROGRAM FOR CUSTOM SPOOL PAGE PRINTING

Номер патента: US20120002229A1. Автор: TRAN John Phuong. Владелец: KONICA MINOLTA SYSTEMS LABORATORY, INC.. Дата публикации: 2012-01-05.