Method for process monitoring with optical inspections
Номер патента: US20210035282A1
Опубликовано: 04-02-2021
Автор(ы): Martin Plihal, Prasanti Uppaluri, Saravanan Paramasivam
Принадлежит: KLA Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-02-2021
Автор(ы): Martin Plihal, Prasanti Uppaluri, Saravanan Paramasivam
Принадлежит: KLA Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for optical inspection of a matt surface and apparatus for applying this method
Номер патента: WO2009000689A1. Автор: Oliver Stier. Владелец: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT. Дата публикации: 2008-12-31.