Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines optischen Elements sowie Lithografiesystem
Номер патента: DE102023206428A1
Опубликовано: 11-07-2024
Автор(ы): Philipp Bartsch, Thomas Monz
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-07-2024
Автор(ы): Philipp Bartsch, Thomas Monz
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Verfahren zur Herstellung eines Grundkörpers einer Komponente, optisches Element und optische Anordnung
Номер патента: DE102023205947A1. Автор: Eduard SCHWEIGERT,Thomas Monz,Michael KLASNA,Philipp Bartsch,Cristian GLEASON GONZALEZ,Christoph Traxinger,Julian Zips. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-05-02.