Metal gates and methods of forming thereby
Номер патента: US12046519B2
Опубликовано: 23-07-2024
Автор(ы): Cheng-Lung Hung, Chi On Chui, Hsin-Yi Lee
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 23-07-2024
Автор(ы): Cheng-Lung Hung, Chi On Chui, Hsin-Yi Lee
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Self-Aligned Metal Gate for Multigate Device
Номер патента: US20240347391A1. Автор: Chih-Hao Wang,Kuo-Cheng Chiang,Kuan-Lun Cheng,Jui-Chien Huang,Ching-Wei Tsai,Shi Ning Ju,Guan-Lin Chen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-10-17.