Wafer backside coating process with pulsed uv light source
Номер патента: WO2011156221A2
Опубликовано: 15-12-2011
Автор(ы): Dung Nghi Phan, Jeffrey Gasa, Jeffrey Leon, Sharad Hajela, Shengqian Kong
Принадлежит: Henkel Corporation
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 15-12-2011
Автор(ы): Dung Nghi Phan, Jeffrey Gasa, Jeffrey Leon, Sharad Hajela, Shengqian Kong
Принадлежит: Henkel Corporation
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Wafer backside coating process with pulsed uv light source
Номер патента: EP2580777A2. Автор: Jeffrey Leon,Shengqian Kong,Sharad Hajela,Jeffrey Gasa,Dung Nghi Phan. Владелец: Henkel Corp. Дата публикации: 2013-04-17.