Laser light source device with non-polarized beam
Номер патента: US20190271909A1
Опубликовано: 05-09-2019
Автор(ы): Chun-hsien Cho
Принадлежит: Hon Hai Precision Industry Co Ltd, Hongfujin Precision Industry Wuhan Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-09-2019
Автор(ы): Chun-hsien Cho
Принадлежит: Hon Hai Precision Industry Co Ltd, Hongfujin Precision Industry Wuhan Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Seed light generation device, light source device, adjustment method thereof, light irradiation device, exposure device, and device manufacturing method
Номер патента: US20110211184A1. Автор: Naoto Inaba,Akira Tokuhisa. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2011-09-01.