Chuck assembly with tiltable chuck and semiconductor fabrication system including the same
Номер патента: US20170069526A1
Опубликовано: 09-03-2017
Автор(ы): Jong-Kyu Kim, Jongchul Park, Jongsoon Park, Jung-Ik Oh, Sang-Kuk Kim
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-03-2017
Автор(ы): Jong-Kyu Kim, Jongchul Park, Jongsoon Park, Jung-Ik Oh, Sang-Kuk Kim
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Field-effect transistor including localized halo ion regions, and semiconductor memory, memory card, and system including the same
Номер патента: US7816734B2. Автор: Hyuck-Chai Jung,June-Hee LIM. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2010-10-19.