Inspection device and inspection method of dielectric film, and method of manufacturing semiconductor device
Номер патента: US7017430B2
Опубликовано: 28-03-2006
Автор(ы): Jeffrey S. Cross, Mineharu Tsukada
Принадлежит: Fujitsu Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 28-03-2006
Автор(ы): Jeffrey S. Cross, Mineharu Tsukada
Принадлежит: Fujitsu Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Memory cell, method of forming the same, and semiconductor device having the same
Номер патента: US11864477B2. Автор: Tung-Ying Lee,Yu-Chao Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-01-02.