Method of forming gate structures or semiconductor devices
Номер патента: TW201025430A
Опубликовано: 01-07-2010
Автор(ы): Chi-Chun Chen, Chien-Hao Chen, Donald Y Chao, Kuo-Bin Huang, Matt Yeh, Ryan Chia-Jen Chen, Shun-Wu Lin, Yi-Hsing Chen
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Mfg
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-07-2010
Автор(ы): Chi-Chun Chen, Chien-Hao Chen, Donald Y Chao, Kuo-Bin Huang, Matt Yeh, Ryan Chia-Jen Chen, Shun-Wu Lin, Yi-Hsing Chen
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Mfg
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods of forming spacer patterns using assist layer for high density semiconductor devices
Номер патента: WO2008089153A3. Автор: Tuan Duc Pham,James Kai,Takashi Orimoto,Masaaki Higashitani,George Metamis. Владелец: George Metamis. Дата публикации: 2008-09-12.