Side wall pore sealing for low-k dielectrics
Номер патента: EP1864322B1
Опубликовано: 01-06-2011
Автор(ы): Willem F.A. Société Civile SPID BESLING
Принадлежит: NXP BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-06-2011
Автор(ы): Willem F.A. Société Civile SPID BESLING
Принадлежит: NXP BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Side wall pore sealing for low-k dielectrics
Номер патента: WO2006100632A1. Автор: Willem Frederik Adrianus Besling. Владелец: NXP B.V.. Дата публикации: 2006-09-28.