Sample inspection apparatus
Номер патента: US20060255290A1
Опубликовано: 16-11-2006
Автор(ы): Daniel Turner, Ian Barkshire, Santokh Bhadare
Принадлежит: Oxford Instruments Analytical Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-11-2006
Автор(ы): Daniel Turner, Ian Barkshire, Santokh Bhadare
Принадлежит: Oxford Instruments Analytical Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and system for fine focusing secondary beam spots on detector for multi-beam inspection apparatus
Номер патента: WO2024013145A1. Автор: Xuedong Liu,Weiming Ren,Xuerang Hu,Oleg Krupin,Xiaoyu JI,Zizhou GONG. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-01-18.