Methods for processing side storage pods, equipment front end modules, and substrates
Номер патента: KR102360024B1
Опубликовано: 08-02-2022
Автор(ы): 데벤드라 찬나파 홀레아나바르, 딘 씨. 흐루제크, 마이클 알. 라이스, 산데시 도다메인 라마파, 제프리 에이. 브로딘
Принадлежит: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Опубликовано: 08-02-2022
Автор(ы): 데벤드라 찬나파 홀레아나바르, 딘 씨. 흐루제크, 마이클 알. 라이스, 산데시 도다메인 라마파, 제프리 에이. 브로딘
Принадлежит: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Equipment front end module, operating method thereof, and substrate processing apparatus including same
Номер патента: US20230411186A1. Автор: Duk Hyun SON. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-21.