シートプラズマを利用したイオン打込み方法
Номер патента: JPS5947381A
Опубликовано: 17-03-1984
Автор(ы): Joshin Uramoto, 上進 浦本
Принадлежит: Individual
Опубликовано: 17-03-1984
Автор(ы): Joshin Uramoto, 上進 浦本
Принадлежит: Individual
Реферат: (57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた め要約のデータは記録されません。
Device for plasma-immersion ion implantation at low pressure
Номер патента: RU2615161C2. Автор: Франк ТОРРЕГРОСА,Лорен РУ. Владелец: Ион Бим Сервисез. Дата публикации: 2017-04-04.