Multiple Column Per Channel CCD Sensor Architecture For Inspection And Metrology
Номер патента: US20190313044A1
Опубликовано: 10-10-2019
Автор(ы): David L. Brown, Devis CONTARATO, Jingjing Zhang, John Fielden, Sharon Zamek, Yung-Ho Alex Chuang
Принадлежит: KLA Tencor Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 10-10-2019
Автор(ы): David L. Brown, Devis CONTARATO, Jingjing Zhang, John Fielden, Sharon Zamek, Yung-Ho Alex Chuang
Принадлежит: KLA Tencor Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Inspection and cosmetic grading system and method
Номер патента: EP3852559A1. Автор: Deepak Anand,Amit Anil Mahajan,Samir Shriram Bagalkote,Ameya Anil JATHAR,Vidula Premanth ALHAT,Nikhil Subhash WAROKAR. Владелец: Individual. Дата публикации: 2021-07-28.