METHOD OF SLIMMING RADIATION-SENSITIVE MATERIAL LINES IN LITHOGRAPHIC APPLICATIONS
Номер патента: US20130107237A1
Опубликовано: 02-05-2013
Автор(ы): Carcasi Michael A., Rathsack Benjamen M., Somervell Mark H.
Принадлежит: TOKYO ELECTRON LIMITED
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-05-2013
Автор(ы): Carcasi Michael A., Rathsack Benjamen M., Somervell Mark H.
Принадлежит: TOKYO ELECTRON LIMITED
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of slimming radiation-sensitive material lines in lithographic applications
Номер патента: TW201209881A. Автор: Mark Somervell,Michael A Carcasi,Benjamin M Rathsack. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-03-01.