Method of dry-etching a multi-layer film material
Номер патента: TW200425330A
Опубликовано: 16-11-2004
Автор(ы): Kenji Kawai
Принадлежит: Renesas Tech Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-11-2004
Автор(ы): Kenji Kawai
Принадлежит: Renesas Tech Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of dry-etching a multi-layer film material
Номер патента: TWI245342B. Автор: Kenji Kawai. Владелец: Renesas Tech Corp. Дата публикации: 2005-12-11.