Vibration isolation table for semiconductor equipment and vibration isolation table system including the same
Номер патента: US12110938B2
Опубликовано: 08-10-2024
Автор(ы): Hyunchul Kim, Souk Kim, Younghoon Sohn
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 08-10-2024
Автор(ы): Hyunchul Kim, Souk Kim, Younghoon Sohn
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Vibration isolation table for semiconductor equipment and vibration isolation table system including the same
Номер патента: US20230079008A1. Автор: Hyunchul Kim,Younghoon Sohn,Souk Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-03-16.