光束扫描装置、激光加工装置、测试方法和激光加工方法
Номер патента: CN101587241A
Опубликовано: 25-11-2009
Автор(ы): 上田伸治
Принадлежит: Canon Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-11-2009
Автор(ы): 上田伸治
Принадлежит: Canon Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
METHOD AND DEVICE FOR LASER MACHINING A SUBSTRATE WITH MULTIPLE LASER RADIATION DEFLECTION
Номер патента: US20170021450A1. Автор: OSTHOLT Roman,Ambrosius Norbert,Schulz-Ruhtenberg Malte,Buenting Udo. Владелец: . Дата публикации: 2017-01-26.